一种防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种防护装置，涉及半导体设备技术领域，所述防护装置包括：防护罩，所述防护罩上分别设有用于工件流入的第二自动门和工件流出的第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新沿缺口展开至原位。本实用新型专利技术通过自动门本体的翻转及折叠门的折叠，能够在满足工位内工件进出和遮挡需求的同时，避免与相邻工位的器件形成碰撞。碰撞。碰撞。

【技术实现步骤摘要】
一种防护装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种防护装置。

技术介绍

[0002]目前，用于半导体器件加工的设备，受制于设备自身结构布局及其工艺制程的需要，会在工位上加装防护罩，工件加工过程中通过防护罩上的升降门进出防护罩，以此对工位形成遮挡。而实际中，工件进出的升降门通常会与相邻工位的结构器件形成碰撞和干涉，影响工件正常加工。

技术实现思路

[0003](一)要解决的技术问题
[0004]本技术旨在提出一种防护装置，能够在满足工位内工件进出和遮挡需求的同时，避免与相邻工位的器件形成碰撞。
[0005](二)技术方案
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种防护装置，防护罩，所述防护罩上分别设有用于工件流入的第二自动门和工件流出第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；
[0007]当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新展开至原位。
[0008]根据本技术一种优选实施方式，所述自动门本体的相对两侧分别设置有第一气缸，所述第一气缸的两端分别与所述自动门本体及所述防护罩转动连接。
[0009]根据本技术一种优选实施方式，所述折叠门相对两侧分别安装有第二气缸，所述第二气缸的一端与所述折叠门下端紧固，所述第二气缸的另一端与所述自动门本体紧固。
>[0010]根据本技术一种优选实施方式，所述缺口的相对两侧分别设置有与所述折叠门两侧边相匹配的第一滑动组件。
[0011]根据本技术一种优选实施方式，所述折叠门包括：多个并排设置且相互铰接的门扇，每个所述门扇相对两端分别设置有与所述第一滑动组件相匹配的第二滑动组件。
[0012]根据本技术一种优选实施方式，所述第一滑动组件设置为滑槽，所述第二滑动组件设置为滚轮，所述滚轮分别枢接于所述门扇的相对两端并与所述滑槽相配合。
[0013]根据本技术一种优选实施方式，所述自动门本体的顶部与防护罩通过铰链相铰接。
[0014]根据本技术一种优选实施方式，所述第二自动门为升降式自动门。
[0015]根据本技术一种优选实施方式，所述第一气缸的一端通过连接杆与所述自动门本体转动连接，所述第一气缸的另一端与所述防护罩上的连接杆转动连接。
[0016]根据本技术一种优选实施方式，所述第二气缸的驱动端与外延于所述折叠门下端的延伸杆紧固，所述第二气缸的另一端固定于自动门本体。
[0017](三)有益效果
[0018]本技术提供的防护装置，将第一自动门设置为可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口，通过缺口与相邻工位上的器件形成避让，从而避免与相邻工位的器件形成碰撞或干涉；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新展开至原位，对工位重新形成遮挡。因此，本技术通过自动门本体的翻转及折叠门的折叠，能够在满足工位内工件进出和遮挡需求的同时，避免与相邻工位的器件形成碰撞。
附图说明
[0019]图1是本技术防护装置的结构示意图；
[0020]图2是本本技术防护装置自动门本体向上翻转同时折叠门向上折叠收起的状态示意图；
[0021]图3是本技术第一自动门的结构示意图。
[0022]其中：1
‑
防护罩，2
‑
自动门本体，21
‑
第一气缸，22
‑
折叠门，220
‑
延伸杆，221
‑
第二气缸，222
‑
门扇，3
‑
第二自动门。
具体实施方式
[0023]在对于具体实施例的介绍过程中，对结构、性能、效果或者其他特征的细节描述是为了使本领域的技术人员对实施例能够充分理解。但是，并不排除本领域技术人员可以在特定情况下，以不含有上述结构、性能、效果或者其他特征的技术方案来实施本技术。
[0024]附图中的框图一般表示的是功能实体，并不一定必然与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理单元装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
[0025]各附图中相同的附图标记表示相同或类似的元件、组件或部分，因而下文中可能省略了对相同或类似的元件、组件或部分的重复描述。还应理解，虽然本文中可能使用第一、第二、第三等表示编号的定语来描述各种器件、元件、组件或部分，但是这些器件、元件、组件或部分不应受这些定语的限制。也就是说，这些定语仅是用来将一者与另一者区分。例如，第一器件亦可称为第二器件，但不偏离本技术实质的技术方案。此外，术语“和/或”、“及/或”是指包括所列出项目中的任一个或多个的所有组合。
[0026]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术作进一步的详细说明。
[0027]图1是本技术提出的一种防护装置，如图1所示，该防护装置包括：防护罩1，所述防护罩1上分别设有用于工件流入的第二自动门3和工件流出的第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩1外面向上翻转的自动门本体2，和开设于所述自动门本体2上的折叠门22；如图2，当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体2向上翻转，同时折叠门22向上
折叠收起并在自动门本体2上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体2向下翻转至原位，同时折叠门22重新展开至原位。即自动门本体2与折叠门22均复位至图1的状态，对工位形成遮挡。
[0028]为了方便自动门本体2的翻转，所述自动门本体2相对两侧分别设置有第一气缸21，所述第一气缸21的一端与所述自动门本体2转动连接，所述第一气缸21的另一端与所述防护罩1转动连接。具体的，参见图2和图3，第一气缸21的一端通过第一连接杆与所述自动门本体2转动连接，第一气缸21的另一端与所述防护罩1上的连接杆转动连接，从而通过第一气缸21驱动自动门本体2向上翻转。
[0029]为了方便折叠门22的折叠，折叠门22相对两侧分别安装有第二气缸221，所述第二气缸221的驱动端与外延于折叠门22下端的延伸杆220紧固，所述第二气缸221的另一端固定于自动门本体2。具体的，参见图3，第二气缸221的驱动端与外延于折叠门22下端的延伸杆220紧固，第二气缸221的另一端通过可伸缩的驱动杆固定于自动门本体2上。通过第二气缸221驱动所述驱动杆伸缩，使折叠门22沿缺口长度方向折叠。
[0030]进一步的，为了方便本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防护装置，其特征在于，包括：防护罩，所述防护罩上分别设有用于工件流入的第二自动门和工件流出第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新展开至原位。2.如权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述自动门本体的相对两侧分别设置有第一气缸，所述第一气缸的两端分别与所述自动门本体及所述防护罩转动连接。3.如权利要求2所述的防护装置，其特征在于，所述折叠门相对两侧分别安装有第二气缸，所述第二气缸的一端与所述折叠门下端紧固，所述第二气缸的另一端与所述自动门本体紧固。4.如权利要求3所述的防护装置，其特征在于，所述缺口的相对两侧分别设置有与所述折叠门两侧边相匹配...

【专利技术属性】
技术研发人员：娄飞，
申请(专利权)人：深圳市雕拓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：