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本实用新型公开一种防护装置，涉及半导体设备技术领域，所述防护装置包括：防护罩，所述防护罩上分别设有用于工件流入的第二自动门和工件流出的第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；当工...
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