一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统制造方法及图纸

本申请公开了一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统，涉及太阳能电池领域，用于提供一种实现提高方阻的稳定性的技术方案。工艺环境参数值确定方法包括：获取当前移栽硅片进入扩散装置的时间段内的当前环境湿度值。获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系。基于环境湿度数据和方阻数据的对应关系，确定当前环境湿度值对应的当前方阻值。在当前方阻值和目标方阻值不匹配时，基于目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值，确定当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值。艺环境参数值。艺环境参数值。

【技术实现步骤摘要】
一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统


[0001]本申请涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统。

技术介绍

[0002]当前时期，晶体硅太阳能电池主要采用氮气携带掺杂源进入一个提前将移栽硅片装载完成的扩散装置中，通过热扩散过程制造PN结。并且，通常采用方阻来表征PN结的性能参数。
[0003]制作PN结的生产过程中，方阻受到通入的掺杂源的量、温度、时间和压力等诸多因素影响，目前是通过上一扩散周期得到的方阻和目标方阻进行比较，然后结合行业经验对下一周期的工艺参数进行调整来控制方阻稳定性，但是该工艺参数的调整具有滞后性，且主观判断也会带来较大的方阻波动。为了更准确的控制方阻，提高方阻的稳定性，在每个生产循环过程中，必须改变工艺参数进行补偿调整。
[0004]因此，亟需一种可以准确快速的进行工艺参数补偿调整，避免调整不及时造成批量不良品，进一步提高产能与良率，降低晶硅电池生产成本的工艺环境参数值确定方法。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统，用于提供一种高效提高方阻稳定性，降低晶硅电池生产成本的技术方案。
[0006]第一方面，本申请提供了一种工艺环境参数值确定方法。该工艺环境参数值确定方法包括：
[0007]获取当前移栽硅片进入扩散装置的时间段内的当前环境湿度值。
[0008]获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系。
[0009]基于环境湿度数据和方阻数据的对应关系，确定当前环境湿度值对应的当前方阻值。
[0010]在当前方阻值和目标方阻值不匹配时，基于目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值，确定当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值。
[0011]采用上述技术方案的情况下，降低了移栽硅片进行扩散处理的过程中环境湿度对经扩散处理后移栽硅片的方阻稳定性的影响程度。基于此，在对当前移栽硅片进行扩散处理前，预先获取了在当前移栽硅片进入扩散装置的时间段内的当前环境湿度值，以便于根据该当前环境湿度值对当前移栽硅片进行扩散处理时的工艺环境参数值进行相应调整。另外，还获取了同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系，并基于该对应关系确定了在当前环境湿度值下，若采用上述预设工艺环境参数值对当前移栽硅片进行扩散处理，则经扩散处理后当前移栽硅片的方阻
大小为当前方阻值。其中，在当前方阻值与满足工作要求的目标方阻值不匹配时，需要基于目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值，可以确定当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值。在此情况下，在实际的应用过程中，在当前环境湿度值下，并基于上述确定的补偿后的工艺环境参数值对当前移栽硅片进行扩散处理，可以使得经扩散处理后当前移栽硅片的实际方阻值和目标方阻值匹配，有效改善环境湿度变化对进舟前高热环境下形成的热氧化层厚度的影响的同时，还可以实现工艺环境参数值的自动化确定，解决了现有技术中因单纯通过人工调整工艺环境参数值而导致经扩散处理后移栽硅片的方阻波动较大的问题，提高经扩散处理后当前移栽硅片实际方阻值的稳定性，进一步提高基于该当前移栽硅片所制造的太阳能电池的良率。
[0012]在一种可能的实现方式中，上述基于目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值，确定当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值，包括：
[0013]对目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析，确定目标方阻值下的环境湿度参数和工艺环境参数值之间的拟合关系式。
[0014]基于拟合关系式和当前环境湿度值，确定当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值。
[0015]采用上述技术方案的情况下，上述拟合关系式是通过对目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析所获得，其用于表征目标方阻值下环境湿度参数和工艺环境参数值之间的关系。在此情况下，基于该拟合关系式和当前环境湿度值，能够准确的确定目标方阻值下当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值，提高所确定的补偿后的工艺环境参数值的准确性，确保在实际的应用过程中，能够在当前环境湿度值下，并基于上述确定的补偿后的工艺环境参数值对当前移栽硅片进行扩散处理后，当前移栽硅片的实际方阻值和目标方阻值匹配，进一步提高经扩散处理后当前移栽硅片实际方阻值的稳定性。
[0016]在一种可能的实现方式中，上述多个预存环境湿度值包括：环境湿度数据中的一个第一预存环境湿度值、以及环境湿度数据中的至少两个第二预存环境湿度值。上述多个预存工艺环境参数值包括：第一预存环境湿度值对应的第一预存工艺环境参数值、以及每个第二预存环境湿度值对应的第二预存工艺环境参数值。第一预存工艺环境参数值为预设工艺环境参数值。
[0017]上述获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系后，对目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析，确定目标方阻值下的环境湿度参数和工艺环境参数值之间的拟合关系式前，工艺环境参数值确定方法还包括：
[0018]获取同一预设环境湿度值下，方阻数据与工艺环境数据的对应关系。
[0019]基于环境湿度数据和方阻数据的对应关系、以及方阻数据与工艺环境数据的对应关系，确定环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系。
[0020]确定第一预存环境湿度值分别与至少两个第二预存环境湿度值之间的环境湿度差值。
[0021]基于环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系，确定每个环境湿度差值对应的第二预存工艺环境参数值。
[0022]采用上述技术方案的情况下，可以首先通过确定环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系，进一步的，通过确定第一预存环境湿度值分别与至少两个第二预存环境湿度值之间的环境湿度差值，接着基于环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系，确定每个环境湿度差值对应的第二预存工艺环境参数值，可以使得较为准确的确定目标方阻值下的多个预存环境湿度值，以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值。
[0023]在一种可能的实现方式中，上述基于环境湿度数据和方阻数据的对应关系、以及方阻数据与工艺环境数据的对应关系，确定环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系，包括：
[0024]基于环境湿度数据和方阻数据的对应关系，确定环境湿度增量和方阻增量的对应关系。
[0025]基于方阻数据与工艺环境数据的对应关系，确定工艺环境参数增量和方阻增量的对应关系。
[0026]基于环境湿度增量和方阻增量的对应关系，以及工艺环境参数增量和方阻增量的对应关系，确定环境湿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺环境参数值确定方法，其特征在于，包括：获取当前移栽硅片进入扩散装置的时间段内的当前环境湿度值；获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入所述扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系；基于所述环境湿度数据和方阻数据的对应关系，确定所述当前环境湿度值对应的当前方阻值；在所述当前方阻值和目标方阻值不匹配时，基于所述目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值，确定所述当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值。2.根据权利要求1所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，所述基于所述目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值，确定所述当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值，包括：对所述目标方阻值下的多个所述预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析，确定所述目标方阻值下的环境湿度参数和工艺环境参数值之间的拟合关系式；基于所述拟合关系式和所述当前环境湿度值，确定所述当前环境湿度值对应的所述补偿后的工艺环境参数值。3.根据权利要求2所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，多个所述预存环境湿度值包括：所述环境湿度数据中的一个第一预存环境湿度值、以及所述环境湿度数据中的至少两个第二预存环境湿度值；多个所述预存工艺环境参数值包括：所述第一预存环境湿度值对应的第一预存工艺环境参数值、以及每个所述第二预存环境湿度值对应的第二预存工艺环境参数值；所述第一预存工艺环境参数值为所述预设工艺环境参数值；所述获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系后，所述对所述目标方阻值下的多个所述预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析，确定所述目标方阻值下的环境湿度参数和工艺环境参数值之间的拟合关系式前，所述工艺环境参数值确定方法还包括：获取同一预设环境湿度值下，方阻数据与工艺环境数据的对应关系；基于所述环境湿度数据和方阻数据的对应关系、以及所述方阻数据与工艺环境数据的对应关系，确定环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系；确定所述第一预存环境湿度值分别与至少两个所述第二预存环境湿度值之间的环境湿度差值；基于所述环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系，确定每个所述环境湿度差值对应的所述第二预存工艺环境参数值。4.根据权利要求3所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，所述基于所述环境湿度数据和方阻数据的对应关系、以及所述方阻数据与工艺环境数据的对应关系，确定环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系，包括：基于所述环境湿度数据和方阻数据的对应关系，确定所述环境湿度增量和方阻增量的
对应关系；基于所述方阻数据与工艺环境数据的对应关系，确定所述工艺环境参数增量和方阻增量的对应关系；基于所述环境湿度增量和方阻增量的对应关系，以及所述工艺环境参数增量和方阻增量的对应关系，确定所述环境湿度增量和工艺环境参数增量的对应关系。5.根据权利要求2所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，所述对所述目标方阻值下的多个所述预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析，确定所述目标方阻值下的环境湿度参数和工艺环境参数值之间的拟合关系式前，所述工艺环境参数值确定方法还包括：获取所述目标方阻值下多个所述预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的所述预存工艺环境参数值。6.根据权利要求1～5任一项所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，所述工艺环境参数值包括所述扩散装置内的温度值、所述扩散装置内的气体流量值和所述扩散装置内的压力值中的一个或多个。7.根据权利要求2～5任一项所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，多个所述预存环境湿度值包括：所述环境湿度数据中的一个第一预存环境湿度值；多个所述预存工艺环境参数值包括：所述第一预存环境湿度值对应的所述预设工艺环境参数值；在所述工艺环境参数值为所述扩散装置内的温度值的情况下，所述拟合关系式包括：T＝A
×
(R
‑
R0)2+B
×
(R
‑
R0)+T0；其中，所述T为所述工艺环境参数值，所述T0为所述预设工艺环境参数值，所述R为所述环境湿度参数，所述R0为所述第一预存环境湿度值，所述A和B均为所述环境湿度参数与所述工艺环境参数值的拟合系数。8.根据权利要求1～5任一项所述的工艺环境参数值确定方法，其特征在于，所述获取当前移栽硅片进入所述扩散装置的时间段内的当前环境湿度值，包括：获取所述当前移栽硅片进入扩...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩晓辉，赵赞良，王肖肖，王武林，史晨燕，
申请(专利权)人：宁夏隆基乐叶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：