一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构制造技术

本发明专利技术提供了一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，包括多光谱硫化锌基底、设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜和设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜，正面的六层薄膜从里到外依次为第一层NiCr膜，第2层Au膜，第3层Ta2O5膜，第4层SiO2膜，第5层Ta2O5膜和第6层SiO2膜；背面的三层薄膜从里到外依次为第1层ITO膜，第2层Ta2O5膜和第3层SiO2膜。本发明专利技术所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构具有对在0

【技术实现步骤摘要】
一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构


[0001]本专利技术属于光学薄膜
，具体涉及一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构。

技术介绍

[0002]多光谱硫化锌红外光窗是机载红外搜索跟踪系统产品的关键部件，应用在超音速机载环境，使用中除满足传输激光、截止长波红外波段与屏蔽雷达波段作用外，还要承受高速气流、雨蚀和砂尘等恶劣环境的作用。因此，硫化锌光窗表面须涂覆一种能在高速气流、雨蚀和砂尘等恶劣环境下，满足传输激光、截止长波红外波段与屏蔽雷达波段作用的同时还能具有足够高的强度对光窗进行保护的膜系结构。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案，提供一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，所述膜系结构包括多光谱硫化锌基底、设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜和设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜，
[0005]设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜从里到外依次为第一层NiCr膜，第2层Au膜，第3层Ta2O5膜，第4层SiO2膜，第5层Ta2O5膜和第6层SiO2膜；
[0006]设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜从里到外依次为第1层ITO膜，第2层Ta2O5膜和第3层SiO2膜，
[0007]所述各膜层厚度为：
[0008]膜层数膜层材料膜层厚度/nm6层SiO2192.40～193.55层Ta2O5219.01～2204层SiO231.49～32.503层Ta2O5170.43～171.432层Au100～1011层NiCr30～31.1 多光谱硫化锌基底 1层ITO280～2812层Ta2O595.91～973层SiO2181.14～182.25
[0009]。
[0010]本专利技术所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，还具有这样的特征，所述各膜层厚度为：
[0011][0012][0013]本专利技术所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，还具有这样的特征，所述各膜层厚度为：
[0014]膜层数膜层材料膜层厚度/nm6层SiO2192.455层Ta2O5219.54层SiO2323层Ta2O5170.82层Au100.21层NiCr30.5 多光谱硫化锌基底 1层ITO280.32层Ta2O595.983层SiO2181.35
[0015]。
[0016]本专利技术所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，还具有这样的特征，所述各膜层厚度为：
[0017]膜层数膜层材料膜层厚度/nm6层SiO2192.45
5层Ta2O5219.714层SiO231.873层Ta2O5171.202层Au100.51层NiCr30.1 多光谱硫化锌基底 1层ITO280.802层Ta2O5973层SiO2182
[0018]。
[0019]本专利技术所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，还具有这样的特征，所述各膜层厚度为：
[0020][0021][0022]有益效果
[0023]本专利技术所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构具有对在0
°
测试1.064μm激光波长透射率大于86％、7.7μm～11μm长波红外波段透过率平均设计值小于10％、且对雷达波高效屏蔽功能。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025]图1为本专利技术实施例所提供的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构示意图；
[0026]图2为本专利技术实施例1在0
°
测试1.064μm激光波长透射率曲线图；
[0027]图3为本专利技术实施例1在7.7μm～11μm长波红外波段透过率曲线图；
[0028]图4为本专利技术实施例2在0
°
测试1.064μm激光波长透射率曲线图；
[0029]图5为本专利技术实施例2在7.7μm～11μm长波红外波段透过率曲线图；
[0030]图6为本专利技术实施例3在0
°
测试1.064μm激光波长透射率曲线图；
[0031]图7为本专利技术实施例3在7.7μm～11μm长波红外波段透过率曲线图；
[0032]图8为本专利技术实施例4在0
°
测试1.064μm激光波长透射率曲线图；
[0033]图9为本专利技术实施例4在7.7μm～11μm长波红外波段透过率曲线图。
具体实施方式
[0034]下面结合附图与实施例对本专利技术作进一步的详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本专利技术的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本专利技术的保护范围之内。
[0035]在本专利技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术创造的限制。
[0036]此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0037]术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术创造中的具体含义。
[0038]如图1所示，本实施例提供了一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，所述膜系结构包括多光谱硫化锌基底、设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜和设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜，
[0039]设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜从里到外依次为第一层NiCr膜，第2层Au膜，第3层Ta2O5膜，第4层SiO2膜，第5层Ta2O5膜和第6层SiO2膜；
[0040]设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜从里到外依次为第1层ITO膜，第2层Ta2O5膜和第3层SiO2膜，
[0041]所述各本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构，其特征在于，所述膜系结构包括多光谱硫化锌基底、设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜和设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜，设置在多光谱硫化锌基底正面的六层薄膜从里到外依次为第一层NiCr膜，第2层Au膜，第3层Ta2O5膜，第4层SiO2膜，第5层Ta2O5膜和第6层SiO2膜；设置在多光谱硫化锌基底背面的三层薄膜从里到外依次为第1层ITO膜，第2层Ta2O5膜和第3层SiO2膜，所述各膜层厚度为：膜层数膜层材料膜层厚度/nm6层SiO2192.40～193.55层Ta2O5219.01～2204层SiO231.49～32.503层Ta2O5170.43～171.432层Au100～1011层NiCr30～31.1多光谱硫化锌基底1层ITO280～2812层Ta2O595.91～973层SiO2181.14～182.25。2.根据权利要求1所述的激光透射长波红外截止及雷达电磁波屏蔽的膜系结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，李继朋，刘楚，吕一帆，陈志航，刘旺海，张鹏飞，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所，
类型：发明
国别省市：