【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电容式传声器芯片,包括基底、绝缘层、导电层、内悬梁支撑,外悬梁支撑、振膜、内悬梁、外悬梁及内悬梁边框、外悬梁边框,下电极、上电极;其特征在于: 基底、绝缘层中心有贯通孔,为背腔; 基底上表面固连有绝缘层,绝缘层之上固接导电层,导电层包括背极、电极引线、支撑隔离以及周边层,导电层的中间区域为背极,背极中心区域正对背腔上开口区域,形成一个悬浮区,悬浮区上有多数个声孔,背腔以外的背极与绝缘层固结;背极与电极引线相连,背极通过隔离槽与支撑隔离电隔离,背极通过隔离槽与周边层电隔离;导电层中的背极为电容结构的一个电极板; 导电层之上固结内悬梁支撑、外悬梁支撑,内悬梁支撑固接于支撑隔离之上,内悬梁支撑之上固结内悬梁边框;外悬梁支撑固结于周边层之上,在外悬梁支撑一侧有贯通孔,贯通孔内径不小于电极引线边缘,在外悬梁支撑之上固结外悬梁边框;在贯通孔内电极引线上表面设有下电极; 振膜与背极形状相对应,上下正对,振膜与背极之间有2-4um的间隙,形成平板电容结构;振膜边缘部分有多数个小孔,小孔分布于声孔在振膜上的投影范围之外;振膜位于外支撑边框之内,内支撑边框之外,振膜通过多数个内 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宋青林,陶永春,庞胜利,
申请(专利权)人:歌尔声学股份有限公司,
类型:发明
国别省市:37[中国|山东]
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