测定系统和测定方法技术方案

测定系统(100)是用于测定对检查对象的状态变化进行检测的多个传感器(9)各自的检测位置(P)的间隔的系统。多个传感器(9)包括第一传感器(9a)和第二传感器(9b)。测定系统(100)具有状态变化部(2)和移动部(3)。状态变化部(2)包括在第一方向上隔开第一间隔配置的第一状态变化部(21)和第二状态变化部(22)。状态变化部(2)通过多个传感器(9)检测状态的变化。移动部(3)使状态变化部(2)和多个传感器(9)相对地移动。移动。移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测定系统和测定方法


[0001]本专利技术涉及测定系统和测定方法。

技术介绍

[0002]为了使用多个传感器来检查检查对象的状态的变化，需要预先正确地测量多个传感器各自的检测位置的位置关系。在日本公开公报特开2001
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157951号公报中，公开了测量从两个激光位移计射出的激光束的位置关系的装置。具体而言，日本公开公报特开2001
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157951号公报的测定装置测定两条激光束的光斑的中心位置的间隔。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本公开公报：特开2001
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157951号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0004]但是，日本公开公报特开2001
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157951号公报的测定装置使用CCD或摄像机求出激光束的光斑的中心位置。因此，装置结构变得复杂。
[0005]本专利技术是鉴于上述课题而完成的。本专利技术的目的在于提供一种能够通过更简单的装置结构来测定两个传感器的检测位置的间隔的测定系统以及测定方法。解决技术问题所采用的技术方案
[0006]本专利技术的示例性的测定系统是用于测定对检查对象的状态变化进行检测的多个传感器各自的检测位置的间隔的系统。所述多个传感器包括第一传感器和第二传感器。所述测定系统包括状态变化部和移动部。所述状态变化部包括在第一方向上隔开第一间隔配置的第一状态变化部和第二状态变化部。所述状态变化部由所述多个传感器检测状态的变化。所述移动部使所述状态变化部和所述多个传感器相对地移动。
[0007]本专利技术的示例性的测定方法是用于使用状态变化部来测定多个传感器各自的检测位置的间隔的方法，所述状态变化部通过检测检查对象的状态变化的所述多个传感器来检测状态变化。所述状态变化部包括在规定方向上隔开规定间隔配置的第一状态变化部和第二状态变化部。所述多个传感器包括第一传感器和第二传感器。所述测定方法包含：使所述状态变化部和所述多个传感器向所述规定方向相对移动，使所述第一传感器或所述第二传感器检测到所述第一状态变化部或所述第二状态变化部的工序；使所述状态变化部和所述多个传感器向所述规定方向相对移动，使所述第二传感器或所述第一传感器检测到所述第二状态变化部或所述第一状态变化部的工序；以及基于移动量和所述规定间隔，测定作为所述第一传感器的检测位置的第一检测位置和作为所述第二传感器的检测位置的第二检测位置在所述规定方向上的间隔的工序，其中，所述移动量是在所述第一传感器或所述第二传感器检测到所述第一状态变化部或所述第二状态变化部、所述第二传感器或所述第一传感器检测到所述第二状态变化部或所述第一状态变化部之前的期间，所述状态变化部
和所述多个传感器向所述规定方向相对移动的移动量。专利技术效果
[0008]根据示例性的本专利技术，能够通过更简单的装置结构来测定两个传感器的检测位置的间隔。
附图说明
[0009]图1是示出实施方式1所涉及的测定系统的图。图2是移动部的俯视图。图3A是示出夹具的剖面的图。图3B是示出第一检测工序后的夹具与检测位置的位置关系的图。图3C是示出第二检测工序后的夹具与检测位置的位置关系的图。图4A是示出第一传感器的结构的图。图4B是示出向第一槽的底面照射第一激光时的受光位置的图。图5A是示出夹具的变形例1的立体图。图5B是示出夹具的变形例1的剖视图。图6A是示出夹具的变形例2的立体图。图6B是示出夹具的变形例2的剖视图。图7A是示出夹具的变形例3的立体图。图7B是示出夹具的变形例3的剖视图。图8A是示出夹具的变形例4的立体图。图8B是示出夹具的变形例4的剖视图。图9是示出实施方式1所涉及的测定系统的变形例的图。图10A是示出实施方式2的测定系统所具备的夹具的剖面的图。图10B是示出第一检测工序后的夹具与检测位置的位置关系的图。图10C是示出第二检测工序后的夹具与检测位置的位置关系的图。图11A是示出实施方式3所涉及的测定系统的图。图11B是示出使夹具向+Z方向移动后的测定系统的图。图12是示出实施方式4所涉及的测定系统的图。图13A是示出夹具的剖面的图。图13B是示出第一检测工序后的夹具与检测位置的位置关系的图。图13C是示出第二检测工序后的夹具与检测位置的位置关系的图。图14是示出用于四个传感器的测定系统的图。图15是示出实施方式4所涉及的测定系统的变形例的图。图16是示出实施方式5所涉及的测定系统的图。图17是示出实施方式5所涉及的测定系统的结构的框图。图18是示出处理部执行的处理的流程图。
具体实施方式
[0010]下面参照附图(图1至图18)描述根据本专利技术的测定系统和测定方法的示例性实施
方式。但是，本专利技术并不限定于以下的实施方式。另外，对于说明重复的部分，有时适当省略说明。另外，在图中，对相同或相当的部分标注相同的参照符号，不重复说明。
[0011]在本说明书中，为了容易理解，有时记载相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。典型地，X轴和Y轴平行于水平方向，Z轴平行于铅垂方向。
[0012][实施方式1]参照图1～图9说明本专利技术的实施方式1。首先，参照图1说明本实施方式的测定系统100。图1是示出本实施方式的测定系统100的图。如图1所示，测定系统100用于测定多个传感器9各自的检测位置P之间的间隔。具体而言，测定系统100用于测定两个传感器9的检测位置P之间的间隔。
[0013]多个传感器9用于检测检查对象的状态的变化。检测位置P示出传感器9检测检查对象的状态的变化的位置。在本实施方式中，多个传感器9包括第一传感器9a和第二传感器9b。以下，有时将第一传感器9a的检测位置P记载为"第一检测位置P1"。另外，有时将第二传感器9b的检测位置P记载为"第二检测位置P2"。
[0014]在本实施方式中，传感器9是激光位移传感器。因此，传感器9发射激光La。激光位移传感器测定检查对象的表面的位移。激光位移传感器的测定方式是应用了三角测量的原理的测定方式。以下，有时将从第一传感器9a射出的激光La记载为"第一激光La1"。另外，有时将从第二传感器9b射出的激光La记载为"第二激光La2"。
[0015]第一检测位置P1示出照射第一激光La1而形成第一激光La1的光斑的位置。第二检测位置P2示出照射第二激光La2而形成第二激光La2的光斑的位置。在本实施方式中，多个传感器9配置在规定的位置，在俯视时，多个检测位置P是固定的。
[0016]根据本实施方式的测定系统100，能够测定两个激光位移传感器的检测位置P之间的间隔。具体而言，能够测定形成第一激光La1的光斑的位置与形成第二激光La2的光斑的位置之间的间隔。另外，能够测定第一激光La1的光轴与第二激光La2的光轴之间的间隔。
[0017]如图1所示，测定系统100具备夹具1和移动部3。本实施方式的测定系统100还具有测定部5和显示部7。
[0018]夹具1配置在由多个传感器9检测的位置。具体而言，夹具1配置在第一激光La1和第二激光La2所照射的位置。第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测定系统，用于测定多个传感器各自的检测位置的间隔，其中，所述多个传感器对检查对象的状态变化进行检测，其特征在于，所述多个传感器包括第一传感器和第二传感器，所述测定系统包括：状态变化部，其包括在第一方向上隔开第一间隔配置的第一状态变化部和第二状态变化部，由所述多个传感器检测该状态变化部的状态变化；以及移动部，其使所述状态变化部和所述多个传感器相对移动。2.根据权利要求1所述的测定系统，其特征在于，所述移动部使所述状态变化部和所述多个传感器相对移动，直到所述第一传感器或所述第二传感器检测到所述第一状态变化部或所述第二状态变化部，并且所述第二传感器或所述第一传感器检测到所述第二状态变化部或所述第一状态变化部为止。3.根据权利要求1或2所述的测定系统，其特征在于，所述第一间隔小于作为所述第一传感器的检测位置的第一检测位置与作为所述第二传感器的检测位置的第二检测位置在所述第一方向上的间隔。4.根据权利要求1至3中任一项所述的测定系统，其特征在于，所述测定系统还包括测定部，该测定部基于移动量和所述第一间隔，测定作为所述第一传感器的检测位置的第一检测位置和作为所述第二传感器的检测位置的第二检测位置在所述第一方向上的间隔，其中，所述移动量是在所述第一传感器或所述第二传感器检测到所述第一状态变化部或所述第二状态变化部、所述第二传感器或所述第一传感器检测到所述第二状态变化部或所述第一状态变化部之前的期间，所述移动部使所述状态变化部和所述多个传感器向所述第一方向相对移动的移动量。5.根据权利要求4所述的测定系统，其特征在于，所述测定部通过将所述移动量及所述第一间隔作为变量而包含的运算式，算出所述第一方向上的所述第一检测位置与所述第二检测位置之间的间隔。6.根据权利要求1至5中任一项所述的测定系统，其特征在于，还包括具有所述状态变化部的夹具，所述移动部具有载置所述夹具的载物台。7.根据权利要求6所述的测定系统，其特征在于，所述载物台具有载置所述夹具的平坦面，所述移动部使所述载物台和所述多个传感器沿着与所述平坦面平行的假想平面相对移动。8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智彦，牧野修之，橘高昂志，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：