测定系统和测定方法技术方案

测定系统(100)是用于测定对检查对象的状态变化进行检测的多个传感器(9)各自的检测位置(P)的间隔的系统。多个传感器(9)包括第一传感器(9a)和第二传感器(9b)。测定系统(100)具有状态变化部(2)和移动部(3)。状态变化部(2)包括在第一方向上隔开第一间隔配置的第一状态变化部(21)和第二状态变化部(22)。状态变化部(2)通过多个传感器(9)检测状态的变化。移动部(3)使状态变化部(2)和多个传感器(9)相对地移动。移动。移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测定系统和测定方法


[0001]本专利技术涉及测定系统和测定方法。

技术介绍

[0002]为了使用多个传感器来检查检查对象的状态的变化，需要预先正确地测量多个传感器各自的检测位置的位置关系。在日本公开公报特开2001
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157951号公报中，公开了测量从两个激光位移计射出的激光束的位置关系的装置。具体而言，日本公开公报特开2001
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157951号公报的测定装置测定两条激光束的光斑的中心位置的间隔。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本公开公报：特开2001
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157951号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0004]但是，日本公开公报特开2001
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157951号公报的测定装置使用CCD或摄像机求出激光束的光斑的中心位置。因此，装置结构变得复杂。
[0005]本专利技术是鉴于上述课题而完成的。本专利技术的目的在于提供一种能够通过更简单的装置结构来测定两个传感器的检测位置的间隔的测定系统以及测定方法。解决技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测定系统，用于测定多个传感器各自的检测位置的间隔，其中，所述多个传感器对检查对象的状态变化进行检测，其特征在于，所述多个传感器包括第一传感器和第二传感器，所述测定系统包括：状态变化部，其包括在第一方向上隔开第一间隔配置的第一状态变化部和第二状态变化部，由所述多个传感器检测该状态变化部的状态变化；以及移动部，其使所述状态变化部和所述多个传感器相对移动。2.根据权利要求1所述的测定系统，其特征在于，所述移动部使所述状态变化部和所述多个传感器相对移动，直到所述第一传感器或所述第二传感器检测到所述第一状态变化部或所述第二状态变化部，并且所述第二传感器或所述第一传感器检测到所述第二状态变化部或所述第一状态变化部为止。3.根据权利要求1或2所述的测定系统，其特征在于，所述第一间隔小于作为所述第一传感器的检测位置的第一检测位置与作为所述第二传感器的检测位置的第二检测位置在所述第一方向上的间隔。4.根据权利要求1至3中任一项所述的测定系统，其特征在于，所述测定系统还包括测定部，该测定部基于移动量和所述第一间隔，测定作为所述第一传感器的检测位置的第一检测位置和作为所述第二传感器的检测位置的第二检测位置在所述第一方向上的间隔，其中，所述移动量是在所述第一传感器或所述第二传感器检测到所述第一状态变化部或所述第二状态变化部、所述第二传感器或所述第一传感器检测到所述第二状态变化部或所述第一状态变化部之前的期间，所述移动部使所述状态变化部和所述多个传感器向所述第一方向相对移动的移动量。5.根据权利要求4所述的测定系统，其特征在于，所述测定部通过将所述移动量及所述第一间隔作为变量而包含的运算式，算出所述第一方向上的所述第一检测位置与所述第二检测位置之间的间隔。6.根据权利要求1至5中任一项所述的测定系统，其特征在于，还包括具有所述状态变化部的夹具，所述移动部具有载置所述夹具的载物台。7.根据权利要求6所述的测定系统，其特征在于，所述载物台具有载置所述夹具的平坦面，所述移动部使所述载物台和所述多个传感器沿着与所述平坦面平行的假想平面相对移动。8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智彦，牧野修之，橘高昂志，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：