一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座制造技术

本发明专利技术提供一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座，包括顶板、支杆A、活塞和刚度调整装置，所述刚度调整装置包括腔室，所述腔室一侧安装有进气管，所述活塞插入刚度调整装置内部，所述活塞与刚度调整装置顶部之间安装有隔膜，所述腔室内部底部中间安装有位置触感器，所述活塞顶部两端分别安装有速度传感器，所述活塞顶部还安装有控制器。本发明专利技术可满足大型精密仪器的隔振要求，刚度可调，适用范围广，系统隔振带宽，定位精确，对0.2Hz~250Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。干扰具有较好的隔振效果。干扰具有较好的隔振效果。

【技术实现步骤摘要】
一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座


[0001]本专利技术涉及隔振装置
，具体是一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。超精密测量仪器和超精密加工制造装备产生干扰的振动频率主要在0. 8～100Hz内的低频振动。被动隔振器从原理上依靠降低其固有频率，滤掉来自外界的振动，隔振效果取决于其固有频率的大小。但是固有频率与隔振器刚度算术平方根成正比，即固有频率越小刚度越小。对于负载带来的扰动振源被动隔振器是无法抑制的。主动控制的隔振系统对于解决超低频微幅隔振非常有效，同时选择合适的结构和控制策本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座，包括顶板、支杆A、活塞和刚度调整装置，其特征在于，所述支杆A安装在顶板底部中间，所述支杆A下端垂直穿入支柱A内部，所述支柱A顶部内侧、支杆A下端外侧与支柱A内侧之间套装有金属弹簧A，所述金属弹簧A底部与支柱A底部内侧之间安装有金属橡胶A，所述支柱A上部左右两侧分别垂直连接有侧杆A，所述侧杆A两端顶部分别安装有永磁铁A，所述永磁铁A垂直上方、活塞顶部内侧安装有电磁铁A，所述侧杆A两端底部分别安装有永磁铁B，所述永磁铁B垂直下方安装有电磁铁B，所述电磁铁B 分别安装在与活塞内侧壁垂直连接的支撑板A顶部，所述支柱A下部左右两侧分别垂直连接有侧杆B，所述侧杆B左侧端连接有球形铰链A，所述球形铰链A与活塞内侧壁之间安装有气腔，所述侧杆B右侧端安装有永磁铁C，所述永磁铁C水平方向上、活塞内侧壁安装有电磁铁C，所述侧杆B下方、活塞内侧壁垂直连接有支撑板B，所述支撑板B底部、活塞内侧壁安装有环形气腔，所述支柱A底部连接有球形铰链B，所述球形铰链B底部连接有支柱B，所述支柱B中间左右两侧分别垂直连接有侧杆C，所述侧杆C两端顶部分别安装有永磁铁D，所述永磁铁D垂直上方安装有电磁铁D，所述电磁铁D 分别安装在与活塞内侧壁垂直连接的支撑板C底部，所述侧杆C底部分别安装有音圈电机，所述音圈电机底部安装在与活塞内侧壁垂直连接的支撑板D顶部，所述支柱B底部连接有支杆B，所述支杆B下端垂直穿入支柱C内部，所述支柱C顶部内侧、支杆B下端外侧与支柱C内侧之间套装有金属弹簧B，所述金属弹簧B底部与支柱C底部内侧之间安装有金属橡胶B，所述支柱C底部安装在活塞底...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，赵小江，胡振军，尹波，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：