【技术实现步骤摘要】
一种基于磁流变体的混合防微振装置
[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种基于磁流变体的混合防微振装置。
技术介绍
[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]磁流体具有体积小、结构简单、刚度可变、响应时间短等特点，磁流变体在没有磁场时就像橡胶一样，然而在有磁场时磁流变体的刚度和阻尼可以根据磁场强度变化。磁流变体的工作原理是通过改变线圈中的电流来改变磁场，从而调节磁流变体的刚度和阻尼，来抵抗不同的振动频率。
[0004]但是磁流变体可变刚度区间较小，即隔振频域窄，当遇到超过其自身可控刚度的振动时，减振效果较差，且极易损坏磁流变体，影响系统稳定性，同时系统定位精确度较难控制，对复杂振动变化的隔振能力较差。
技术实现思路
[0005]技术的目的在于提供一种基于磁流变体的混合防微振装置，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于磁流变体的混合防微振装置，包括上连接板、下连接板、底座和外壳，其特征在于，所述上连接板底部中间连接有顶板，所述顶板下部连接有三层横向剪切磁流变体，所述横向剪切磁流变体之间连接有支撑层，所述下连接板顶部中间连接有底板，所述底板顶部安装有竖向压缩磁流变体，所述竖向压缩磁流变体与横向剪切磁流变体之间安装有连接层，所述竖向压缩磁流变体的外侧安装有骨架，所述骨架上安装有线圈，所述下连接板底部中间连接有压电驱动器A，所述压电驱动器A底部与底座顶部中间连接，所述底座顶部周边安装外壳，所述外壳内侧与上连接板的侧壁外侧之间安装有压电驱动器B，所述上连接板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。2.根据权利要求1所述的一种基于磁流变体的混合防微振装置，其特征在于，所述压电驱动器A与下连接板之间还连接有橡胶垫块A。3.根据权利要求1所述的一种基于磁流变体的混合防微振装置，其特征在于，所述压电驱动器B与上连接板之间还连接有橡胶垫块B。4.根据权利要求1所述的一种基于磁流变体的混...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵小江，于超，祁长厚，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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