本实用新型专利技术公开了一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，包括用于对沉积气体进行驱动的驱动管，驱动管两端设有驱动端孔和出气端孔，驱动端孔向出气端孔孔径逐渐缩小，驱动管上设有用于对沉积气体进行进气的进气管道，进气管道嵌设在驱动管内部，驱动管靠近进气管道的位置设有用于对沉积气体进行过滤加热的控温单元，驱动管在驱动端孔和出气端孔两侧分别设有用于对沉积气体进行驱动的驱动单元和用于对沉积气体缓冲镀膜的缓冲单元，旨在对沉积气体传输管路进行温度调控，在管路不同位置进行加热，避免气体遇冷凝固结晶，设置缓冲管路，对沉积气体进行防冲。对沉积气体进行防冲。对沉积气体进行防冲。
【技术实现步骤摘要】
单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置
[0001]本技术涉及电池片领域，具体是一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置。
技术介绍
[0002]钝化定义为在氧化条件下通过强阳极极化使得金属材料表面形成一层非常薄的保护层达到了阻碍腐蚀的一种状态，这就是钝化。金属表面的薄膜就是钝化膜。一些金属或合金在活化电位处或者在弱阳极极化情况下出现一层简单阻碍层从而降低了腐蚀速率，
[0003]金属钝化是一种界面现象，因为它没有改变金属本身的性能，只是使金属表面在介质中的稳定性发生变化。金属由活性状态转变为钝态是一个比较复杂的过程，由于阳极反应受到阻碍而使金属耐腐蚀性能提高，这种现象称为钝化。有化学钝化和电化学钝化。化学钝化是指金属表面因化学作用生成某些极薄的“保护膜”使金属本身与外界介质隔绝，不再受到腐蚀。
[0004]PECVD就是化学气相沉积法，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。
[0005]利用强电场或磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。
[0006]主要作用是在太阳能电池及硅晶片的表面镀一层SiN薄膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率。它还具有良好的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的掩蔽金属和水离子扩散的能力，化学稳定性良好。
[0007]目前，镀膜沉积是通过将有机气体导入镀膜炉中，但有机气体在温度过低的情况下，容易在管路上凝固，导致管路进行堵塞，进而使得管路报废，而且有机气体直接导入镀膜炉中，会对待镀膜的硅片进行冲撞，导致硅片碰撞破损，本申请旨在对沉积气体传输管路进行温度调控，在管路不同位置进行加热，避免气体遇冷凝固结晶，设置缓冲管路，对沉积气体进行防冲。
技术实现思路
[0008]本技术的目的在于一种提供单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，以解决现有技术中的问题。
[0009]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0010]一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，装置包括用于对沉积气体进行驱动的驱动管，驱动管两端设有驱动端孔和出气端孔，驱动端孔向出气端孔孔径逐渐缩小，驱动管上设有用于对沉积气体进行进气的进气管道，进气管道嵌设在驱动管内部，驱动管靠近进气管道的位置设有用于对沉积气体进行过滤加热的控温单元，驱动管在驱动端孔和出气端孔两侧分别设有用于对沉积气体进行驱动的驱动单元和用于对沉积气体缓
冲镀膜的缓冲单元。
[0011]通过采用上述技术方案：驱动管用于对沉积气体进行传输，驱动端孔和出气端孔用于将沉积气体导入镀膜炉内部，进气管道用于将有机气体导入驱动管，控温单元用于对沉积气体进行控温，避免沉积气体在传输管路内部遇冷结晶，驱动单元用于对沉积气体进行驱动，缓冲单元用于对沉积气体进行缓冲，避免冲撞硅片。
[0012]进一步设置：控温单元包括用于对沉积气体进行控温的控温管，控温管内部设有若干用于将沉积气体导入控温管内的流动通口，控温管靠近若干流动通口的位置设有用于对沉积气体进行过滤的过滤筛板，过滤筛板嵌设在控温管内部，控温管底部设有用于对沉积气体进行加热的发热丝，过滤筛板内部设有通槽，通槽内部设有发热丝。
[0013]通过采用上述技术方案：控温管用于对沉积气体进行控温，过滤筛板能够对气体内部的杂质进行多重过滤，发热丝用于对沉积气体进行加热，避免沉积气体遇冷。
[0014]进一步设置：驱动单元包括驱动活塞，驱动管上设有用于对驱动管进行支撑的支撑架，支撑架上设有套环，套环套设在驱动管上进行支撑，支撑架上设有支撑支板，驱动活塞靠近支撑支板的一侧设有带动驱动活塞驱动的推移杆，支撑支板上设有带动推移杆移动的气缸，气缸与支撑支板可拆卸连接。
[0015]通过采用上述技术方案：气缸能够带动推移杆进行推动驱动活塞在驱动管内部滑移，从而对沉积气体进行驱动，支撑架能够对驱动管进行支撑。
[0016]进一步设置：缓冲单元包括缓冲管，缓冲管呈半圆状，缓冲管设有两个防冲出气口，驱动管嵌设在缓冲管内部，缓冲管靠近驱动管的位置设有用于对沉积气体进行缓冲的缓冲台，缓冲台呈弧形。
[0017]通过采用上述技术方案：缓冲管能够对沉积气体进行分散出气，避免沉积气体猛冲，缓冲台避免气体过冲，导致缓冲管磨损。
[0018]进一步设置：缓冲台外部包覆缓冲棉垫，缓冲台内部设有用于避免沉积气体降温的发热丝。
[0019]通过采用上述技术方案：发热丝能够在缓冲管内部对沉积气体进行加热。
[0020]进一步设置：进气管道上设有用于对沉积气体的加压泵，加压泵上设有用于感应沉积气体的压力传感器。
[0021]通过采用上述技术方案：加压泵能够对沉积气体进行加压，压力传感器能够感应沉积气体，智能化开启加压泵。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术旨在对沉积气体传输管路进行温度调控，在管路不同位置进行加热，避免气体遇冷凝固结晶，设置缓冲管路，对沉积气体进行防冲。
附图说明
[0023]为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明。
[0024]图1为本技术单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置的结构示意图；
[0025]图2为本技术单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置的局部图；
[0026]图3为本技术单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置的整体剖视图。
[0027]图中，1、驱动管；2、进气管道；3、加压泵；4、控温管；5、过滤筛板；6、发热丝；7、驱动活塞；8、支撑架；9、套环；10、推移杆；11、缓冲管；12、缓冲台。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]请参阅图1～3，本技术实施例中，单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，装置包括用于对沉积气体进行驱动的驱动管1，驱动管1两端设有驱动端孔和出气端孔，驱动端孔向出气端孔孔径逐渐缩小，驱动管1上设有用于对沉积气体进行进气的进气管道2，进气管道2嵌设在驱动管1内部，进气管道2上设有用于对沉积气体的加压泵3，加压泵3上设有用于感应沉积气体的压力传感器，加压泵3能够对沉积气体进行加压，压力传感器能够感应沉积气体，智能化开启加压泵3。
[0030]驱动管1靠近进气管道2的位置设有用于对沉积气体进行过滤加热的控温单元，驱动管1在驱动端孔和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，其特征在于：所述装置包括用于对沉积气体进行驱动的驱动管(1)，驱动管(1)两端设有驱动端孔和出气端孔，驱动端孔向出气端孔孔径逐渐缩小，驱动管(1)上设有用于对沉积气体进行进气的进气管道(2)，进气管道(2)嵌设在驱动管(1)内部，驱动管(1)靠近进气管道(2)的位置设有用于对沉积气体进行过滤加热的控温单元，驱动管(1)在驱动端孔和出气端孔两侧分别设有用于对沉积气体进行驱动的驱动单元和用于对沉积气体缓冲镀膜的缓冲单元。2.根据权利要求1所述的单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，其特征在于：所述控温单元包括用于对沉积气体进行控温的控温管(4)，控温管(4)内部设有若干用于将沉积气体导入控温管(4)内的流动通口，控温管(4)靠近若干流动通口的位置设有用于对沉积气体进行过滤的过滤筛板(5)，过滤筛板(5)嵌设在控温管(4)内部，控温管(4)底部设有用于对沉积气体进行加热的发热丝(6)，过滤筛板(5)内部设有通槽，通槽内部设有发热丝(6)。3.根据权利要求1所述的单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置，其特征在于:所述驱动单元包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：江顺钦，崔晓龙，蔡晶晶，
申请(专利权)人：江苏龙恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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