单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置制造方法及图纸

技术编号:36737189 阅读:28 留言:0更新日期:2023-03-04 10:09
本实用新型专利技术公开了一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置,包括用于对沉积气体进行驱动的驱动管,驱动管两端设有驱动端孔和出气端孔,驱动端孔向出气端孔孔径逐渐缩小,驱动管上设有用于对沉积气体进行进气的进气管道,进气管道嵌设在驱动管内部,驱动管靠近进气管道的位置设有用于对沉积气体进行过滤加热的控温单元,驱动管在驱动端孔和出气端孔两侧分别设有用于对沉积气体进行驱动的驱动单元和用于对沉积气体缓冲镀膜的缓冲单元,旨在对沉积气体传输管路进行温度调控,在管路不同位置进行加热,避免气体遇冷凝固结晶,设置缓冲管路,对沉积气体进行防冲。对沉积气体进行防冲。对沉积气体进行防冲。

【技术实现步骤摘要】
单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置


[0001]本技术涉及电池片领域,具体是一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置。

技术介绍

[0002]钝化定义为在氧化条件下通过强阳极极化使得金属材料表面形成一层非常薄的保护层达到了阻碍腐蚀的一种状态,这就是钝化。金属表面的薄膜就是钝化膜。一些金属或合金在活化电位处或者在弱阳极极化情况下出现一层简单阻碍层从而降低了腐蚀速率,
[0003]金属钝化是一种界面现象,因为它没有改变金属本身的性能,只是使金属表面在介质中的稳定性发生变化。金属由活性状态转变为钝态是一个比较复杂的过程,由于阳极反应受到阻碍而使金属耐腐蚀性能提高,这种现象称为钝化。有化学钝化和电化学钝化。化学钝化是指金属表面因化学作用生成某些极薄的“保护膜”使金属本身与外界介质隔绝,不再受到腐蚀。
[0004]PECVD就是化学气相沉积法,是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。
[0005]利用强电场或磁场使所需的气体源分子电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置,其特征在于:所述装置包括用于对沉积气体进行驱动的驱动管(1),驱动管(1)两端设有驱动端孔和出气端孔,驱动端孔向出气端孔孔径逐渐缩小,驱动管(1)上设有用于对沉积气体进行进气的进气管道(2),进气管道(2)嵌设在驱动管(1)内部,驱动管(1)靠近进气管道(2)的位置设有用于对沉积气体进行过滤加热的控温单元,驱动管(1)在驱动端孔和出气端孔两侧分别设有用于对沉积气体进行驱动的驱动单元和用于对沉积气体缓冲镀膜的缓冲单元。2.根据权利要求1所述的单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置,其特征在于:所述控温单元包括用于对沉积气体进行控温的控温管(4),控温管(4)内部设有若干用于将沉积气体导入控温管(4)内的流动通口,控温管(4)靠近若干流动通口的位置设有用于对沉积气体进行过滤的过滤筛板(5),过滤筛板(5)嵌设在控温管(4)内部,控温管(4)底部设有用于对沉积气体进行加热的发热丝(6),过滤筛板(5)内部设有通槽,通槽内部设有发热丝(6)。3.根据权利要求1所述的单晶PERC电池片减反射钝化膜层沉积气体驱动装置,其特征在于:所述驱动单元包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:江顺钦崔晓龙蔡晶晶
申请(专利权)人:江苏龙恒新能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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