【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池及控制方法与系统，属于太阳能电池。
技术介绍
1、现有的太阳能电池片，越来越追求其发电效率，而发电效率的优良来源于太阳能电池片的扩散工艺怎样。
2、中国专利cn107785458a，公开了一种实现深结低表面浓度的晶体硅扩散工艺，该扩散工艺是在扩散炉中对晶体硅进行掺杂处理，包括如下流程：充气—恒压—放舟—升温过程—恒温过程—氧化—预扩散—升温分布—第一次恒温分布—扩散—第二次恒温分布—降温—再次充气—取舟，该扩散工艺不仅能很好的解决扩散的分布不均匀度，还可以更好的做出低表面浓度深结，做出较高的方阻，有效的改善修复表面损伤，提升电性能。但该技术得到的是通过低表面浓度深结，做出较高的方阻，由于方阻高，导致电池输出功率小。
3、中国专利cn112670353a，公开了一种硼掺杂选择性发射极电池及其制备方法，包括n型晶硅、设于所述n型晶硅正面的两个正电极和设于所述n型晶硅背面的两个负电极，所述n型晶硅的背面设有sio2层，所述sio2层上设有p掺杂多晶硅层。其为提升太阳能电池效率，采用se结构来降低复合速率，采用硼浆印刷+激光推进的方式制备选择性硼se结构，实现重掺杂区深结、表面浓度高，轻掺杂区浅结、表面浓度低的特点，且工艺简便、操作方便，大大推进硼se的产业化进程。该技术通过重掺杂区深结、表面浓度高，轻掺杂区浅结、表面浓度低，其目的是为了栅线电极以下区域形成高浓度掺杂，栅线电极以外区域形成低浓度掺杂，虽然其减少了表面复合，提高光电转化效率，但是方阻不可控，电池输
技术实现思路
1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池及控制方法与系统。
2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为：
3、一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，包括以下步骤：
4、步骤1，在先验的金属化材料扩散过程中，通过调节表面磷原子浓度和结深的深度保持方阻不变，采集此时的表面磷原子浓度和结深的深度。
5、步骤2，根据步骤1得到的表面磷原子浓度和结深的深度，建立结深与表面浓度关系。
6、步骤3，在进行金属化材料扩散过程时，通过步骤2得到的结深与表面浓度关系确定实际操作中的表面磷原子浓度和结深深度。
7、步骤4，根据得到的实际操作中的表面磷原子浓度和结深深度进行太阳能电池金属化材料扩散。
8、优选的：所述结深与表面浓度关系：
9、d＝0.8773c―0.839；
10、其中，d表示结深深度，c表示表面磷原子浓度。
11、优选的：所述结深深度的范围为0.2372-0.4416um。
12、优选的：所述表面磷原子浓度的范围为2.282-4.831*1020个/cm3。
13、一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制系统，包括输入单元、结深与表面浓度关系建立单元、结深与表面浓度确定单元以及输出单元，其中：
14、所述输入单元用于在先验的金属化材料扩散过程中，通过调节表面磷原子浓度和结深的深度保持方阻不变，输入此时的表面磷原子浓度和结深的深度。
15、所述结深与表面浓度关系建立单元用于根据得到的表面磷原子浓度和结深的深度，建立结深与表面浓度关系。
16、所述结深与表面浓度确定单元用于在进行金属化材料扩散过程时，通过得到的结深与表面浓度关系确定实际操作中的表面磷原子浓度和结深深度。
17、所述输出单元用于输出得到的实际操作中的表面磷原子浓度和结深深度。
18、优选的：所述结深与表面浓度关系建立单元中建立的结深与表面浓度关系为：
19、d＝0.8773c0.839；
20、其中，d表示结深深度，c表示表面磷原子浓度。
21、一种太阳能电池，包括基底以及采用上述的结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法生产的金属化电池，所述金属化电池设置于基底上。
22、本专利技术相比现有技术，具有以下有益效果：
23、本专利技术通过建立结深与表面浓度关系，进而确定表面磷原子浓度和结深的深度，通过确定的表面磷原子浓度和结深的深度应用在太阳能电池片金属化扩散工艺中，使得得到的太阳能电池片方阻可控，进而能够实现高输出功率太阳能电池片的设计。
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1.一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于：所述结深与表面浓度关系：
3.根据权利要求2所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于：所述结深深度的范围为0.2372-0.4416um。
4.根据权利要求3所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于：所述表面磷原子浓度的范围为2.282-4.831*1020个/cm3。
5.一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制系统，其特征在于：包括输入单元、结深与表面浓度关系建立单元、结深与表面浓度确定单元以及输出单元，其中：
6.根据权利要求5所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制系统，其特征在于：所述结深与表面浓度关系建立单元中建立的结深与表面浓度关系为：
7.一种太阳能电池，其特征在于：包括基底以及采用权利要求1所述的结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法生产的金属化电池，所述金属化电池设置
...【技术特征摘要】
1.一种基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于：所述结深与表面浓度关系：
3.根据权利要求2所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于：所述结深深度的范围为0.2372-0.4416um。
4.根据权利要求3所述基于结深与表面浓度关系的金属化电池工艺控制方法，其特征在于：所述表面磷原子浓度的范围为2.282-4.831*102...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵杰，丰平，陈实，牛家慧，张宇航，任定纬，张星，许加静，赵刚，刘飞，
申请(专利权)人：江苏龙恒新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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