石英舟的槽位位置检测装置制造方法及图纸

本申请揭示了一种石英舟的槽位位置检测装置，包括：基体和多个定位机构，定位机构在基体长度方向上间隔设置且相互平行设置，定位机构包括安置件，安置件设置有支撑块，支撑块左右两侧抵持有第一限制件，第一限制件连接有第一连接轴，第一连接轴穿过安置腔侧壁连接到第一定位板，支撑块下侧抵持有第二限制件，第二限制件连接有第二连接轴，第二限制件穿过安置腔下壁连接到第二定位板；通过第一定位板以及第二定位板是否能顺利卡入槽位内，来快速判定槽位的位置是否准确；通过支撑块以及第一弹性件与第一弹性件的作用使得能匹配同尺寸的石英舟；同时第一弹性件与第一弹性件提供的弹性作用力特性，降低了石英舟被损坏的风险。降低了石英舟被损坏的风险。降低了石英舟被损坏的风险。

【技术实现步骤摘要】
石英舟的槽位位置检测装置


[0001]本技术涉及石英舟加工设备，特别涉及一种石英舟的槽位位置检测装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，石英舟是一种半导体硅片承载工具，主要有两个用途：一是在太阳能电池的扩散步骤中，需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；二是半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片；传统石英舟的加工工艺包括以下加工流程：来料检
→
切割
→
加工中心加工
→
酸洗
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纯水清洗
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火加工
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退火炉退火
→
酸洗
→
纯水清洗。
[0003]石英舟包括两个呈平行分布的侧板，两个侧板之间设置有四个呈平行分布的槽棒，槽棒上设置有多个槽位，四个槽棒上相对应的槽位位于同一个平面上。石英舟加工过程中存在最终槽位位置不准确的情况，那么存在对石英舟的槽位进行检测的需求。直接通过尺寸测量的方式对槽位进行检测效率过低；而采用标准测试件对石英舟进行检测存在更换不同标准测试件的问题，以及存在一定破坏石英舟的风险。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的为提供一种石英舟的槽位位置检测装置，旨在解决采用标准测试件对石英舟进行槽位定位检测存在更换问题以及存在破坏石英舟风险的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种石英舟的槽位位置检测装置，包括：
[0006]基体，为所述石英舟的槽位位置检测装置提供支撑；
[0007]多个定位机构，在所述基体长度方向上间隔设置且相互平行设置，所述定位机构包括安置件，所述安置件内部设有安置腔，所述安置腔内部设置有支撑块，所述支撑块左右两侧抵持有第一限制件，所述第一限制件背离所述支撑块一侧的连接有第一连接轴，所述第一连接轴穿过所述安置腔侧壁连接到第一定位板，所述支撑块下侧抵持有第二限制件，所述第二限制件背离所述支撑块一侧连接有第二连接轴，所述第二限制件穿过所述安置腔下壁连接到第二定位板；所述第一限制件与所述安置腔侧壁之间设置有第一弹性件，所述第二限制件与所述安置腔下壁之间设置有第二弹性件；
[0008]其中，所述第一定位板沿所述定位机构的高度方向延伸，所述第二定位板沿所述定位机构的宽度方向延伸。
[0009]进一步地，所述第一定位板和所述第二定位板的材质为耐高温陶瓷纤维板。
[0010]进一步地，其特征在于，所述第一定位板和所述第二定位板的导热系数与所述石英舟的热膨胀系数一致。
[0011]进一步地，所述安置件固定位置可调地连接于所述基体。
[0012]进一步地，所述支撑块的形状为方形柱体。
[0013]进一步地，所述支撑块安装角度可调地设置于所述安置件。
[0014]进一步地，所述支撑块的四个棱角存在倒角结构。
[0015]进一步地，所述第一定位板上设置有固定位置可调的第一固定块；所述第二定位板上设置有两个呈对称分布的第二固定块，所述第二固定块在所述第二定位板上的固定位置可调的。
[0016]进一步地，所述第一连接轴与所述第二连接轴的横截面呈正方形。
[0017]进一步地，所述第一定位板在所述定位机构宽度方向上部分内陷于所述安置腔侧壁；所述第二定位板在所述定位机构高度方向上部分内陷于所述安置腔下壁。
[0018]综上，通过第一定位板以及第二定位板是否能顺利卡入槽位内，来快速判定槽位的位置是否准确；通过支撑块以及第一弹性件与第一弹性件的作用使得能匹配同尺寸的石英舟；同时第一弹性件与第一弹性件提供的弹性作用力特性，降低了石英舟被损坏的风险。
附图说明
[0019]图1是本技术一实施例石英舟的槽位位置检测装置示意图；
[0020]图2是本技术一实施例石英舟的槽位位置检测装置定位机构初始状态示意图；
[0021]图3是本技术一实施例石英舟的槽位位置检测装置定位机构初始状态示意图(主视图)；
[0022]图4是本技术一实施例石英舟的槽位位置检测装置定位机构工作状态示意图；
[0023]图5是本技术一实施例石英舟的槽位位置检测装置定位机构工作状态示意图(主视图)；
[0024]图6是本技术一实施例石英舟结构示意图；
[0025]图7是本技术一实施例石英舟结构示意图(俯视图)。
[0026]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0027]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”“上述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本技术的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件、单元、模块和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、单元、模块、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
[0029]本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的
含义来解释。
[0030]参照图1
‑
7，本技术一实施例中，一种石英舟的槽位位置检测装置，包括：
[0031]基体100，为所述石英舟的槽位位置检测装置提供支撑；
[0032]多个定位机构300，在所述基体100长度方向上间隔设置且相互平行设置，所述定位机构300包括安置件302，所述安置件302内部设有安置腔303，所述安置腔303内部设置有支撑块304，所述支撑块304左右两侧抵持有第一限制件305，所述第一限制件305背离所述支撑块304一侧的连接有第一连接轴306，所述第一连接轴306穿过所述安置腔303侧壁连接到第一定位板307，所述支撑块304下侧抵持有第二限制件308，所述第二限制件308背离所述支撑块304一侧连接有第二连接轴309，所述第二限制件308穿过所述安置腔303下壁连接到第二定位板310；所述第一限制件305与所述安置腔303侧壁之间设置有第一弹性件401，所述第二限制件308与所述安置腔303下壁之间设置有第二弹性件402；
[0033]其中，所述第一定位板307沿所述定位机构300的高度方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟的槽位位置检测装置，其特征在于，包括：基体(100)，为所述石英舟的槽位位置检测装置提供支撑；多个定位机构(300)，在所述基体(100)长度方向上间隔设置且相互平行设置，所述定位机构(300)包括安置件(302)，所述安置件(302)内部设有安置腔(303)，所述安置腔(303)内部设置有支撑块(304)，所述支撑块(304)左右两侧抵持有第一限制件(305)，所述第一限制件(305)背离所述支撑块(304)一侧连接有第一连接轴(306)，所述第一连接轴(306)穿过所述安置腔(303)侧壁连接到第一定位板(307)，所述支撑块(304)下侧抵持有第二限制件(308)，所述第二限制件(308)背离所述支撑块(304)一侧连接有第二连接轴(309)，所述第二限制件(308)穿过所述安置腔(303)下壁连接到第二定位板(310)；所述第一限制件(305)与所述安置腔(303)侧壁之间设置有第一弹性件(401)，所述第二限制件(308)与所述安置腔(303)下壁之间设置有第二弹性件(402)；其中，所述第一定位板(307)沿所述定位机构(300)的高度方向延伸，所述第二定位板(310)沿所述定位机构(300)的宽度方向延伸。2.根据权利要求1所述的石英舟的槽位位置检测装置，其特征在于，所述第一定位板(307)和所述第二定位板(310)的材质为耐高温陶瓷纤维板。3.根据权利要求2所述的石英舟的槽位位置检测装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌勇，
申请(专利权)人：无锡莹杰智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：