石英舟清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的石英舟清洗装置，包括：基座；翻转机构，包括固定件和铰接设置于固定件远离基座的一端的转动件；清洁机构，设置于翻转机构，清洁机构包括驱动装置、限制件以及多个与限制件平行设置的清洁件，驱动装置导出有驱动轴，驱动轴的自由端与限制件长度方向的中部形成铰接，限制件的长度方向上的两端铰接有两个平行分布的连杆，清洁件分别与两个连杆形成铰接结构；本实用新型专利技术提供的石英舟清洗装置，通过调整限制件的倾斜角度以及连杆与限制件的之间夹角的角度，使得清洁件倾斜，与石英舟卡槽的倾斜角度形成匹配，使得清洁件的刷毛适当倾斜，更好的贴合斜槽，使得刷毛可以较为轻易的进入斜槽之内，对斜槽的清洗不存在死角，清洗效果更好。清洗效果更好。清洗效果更好。

【技术实现步骤摘要】
石英舟清洗装置


[0001]本技术涉及石英舟加工领域，特别涉及一种石英舟清洗装置。

技术介绍

[0002]石英舟是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，多用于硅片的运输或在硅片加工时对硅片进行承载。在扩散工艺中，长期使用的石英舟会被偏磷酸、粉尘、碎屑等污染，偏磷酸累积一定量后会腐蚀位于石英舟上的硅片，从而形成卡槽印。严重的情况下会导致硅片方阻异常或者外观异常，影响硅片的良品率以及转换效率。所以需要对石英舟进行定期或不定期的清洗。
[0003]对石英舟的清洗一般会先将石英舟置于酸洗机构中使用酸性溶剂对其表面沉积的杂质进行去除，再将经过酸处理后的石英舟置于水洗机构中使用清水对其进行清洗，去除表面的酸性物质及杂质，最后将清洗好的石英舟进行烘干，以便进行重复使用。现有技术多是通过浸泡冲洗的清洁方式，但由于石英舟的卡槽较小且可能存在斜槽的情况，不仅清洗起来十分困难，且清洁效果较差，石英舟不能达到理想的洁净效果。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的为提供一种石英舟清洗装置，旨在解决石英舟卡槽清洗困难且清洗效果较差的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种石英舟清洗装置，包括：
[0006]基座，为石英舟清洗装置提供支撑；
[0007]翻转机构，包括固定件和铰接设置于所述固定件远离所述基座的一端的转动件；
[0008]清洁机构，设置于所述翻转机构，所述清洁机构包括驱动装置、限制件以及多个与所述限制件平行设置的清洁件，所述驱动装置导出有驱动轴，所述驱动轴的自由端与所述限制件长度方向的中部形成铰接，所述限制件的长度方向上的两端铰接有两个平行分布的连杆，所述清洁件分别与两个所述连杆形成铰接结构；
[0009]其中，所述连杆长度方向与所述限制件长度方向的夹角调整范围为80至100度。
[0010]进一步地，所述限制件与所述驱动轴为螺栓连接。
[0011]进一步地，所述连杆与所述限制件为螺栓连接。
[0012]进一步地，当所述驱动轴为水平状态时，所述转动件的侧边与所述固定件抵持。
[0013]进一步地，所述连杆长度方向与所述限制件长度方向的夹角调整范围为85度至95度。
[0014]进一步地，两个所述连杆远离所述限制件的一端铰接有连接件。
[0015]进一步地，所述清洁件为尼龙毛刷。
[0016]进一步地，所述基座上设置有两个限位件。
[0017]进一步地，两个所述限位件在基座上的位置可调。
[0018]进一步地，所述基座上设置有一个可转动的螺杆，两个所述限位件上设置有方向
相反的螺纹，并设置于所述基座上的螺杆形成匹配。
[0019]本技术提供的石英舟清洗装置，通过调整限制件的倾斜角度以及连杆与限制件的之间夹角的角度，使得清洁件倾斜，与石英舟卡槽的倾斜角度形成匹配，使得清洁件的刷毛适当倾斜，更好的贴合斜槽，使得刷毛可以较为轻易的进入斜槽之内，对斜槽的清洗不存在死角，清洗效果更好。
附图说明
[0020]图1是本技术一实施例石英舟清洗装置结构示意图；
[0021]图2是本技术一实施例石英舟清洗装置工作示意图；
[0022]图3是本技术一实施例石英舟清洗装置工作示意图(卡槽不倾斜)；
[0023]图4是图3的部分剖视图(卡槽不倾斜)；
[0024]图5是本技术一实施例石英舟清洗装置工作示意图(卡槽倾斜)；
[0025]图6是图5的部分剖视图(卡槽倾斜)
[0026]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0027]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”“上述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本技术的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件、单元、模块和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、单元、模块、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
[0029]本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
[0030]参照图1至6，本技术一实施例中，一种石英舟清洗装置，包括：
[0031]基座100，为石英舟清洗装置提供支撑；
[0032]翻转机构200，包括固定件201和铰接设置于所述固定件201远离所述基座100的一端的转动件202；
[0033]清洁机构300，设置于所述翻转机构200，所述清洁机构300包括驱动装置301、限制件303以及多个与所述限制件303平行设置的清洁件306，所述驱动装置301导出有驱动轴302，所述驱动轴302的自由端与所述限制件303长度方向的中部形成铰接，所述限制件303的长度方向上的两端铰接有两个平行分布的连杆304，所述清洁件306分别与两个所述连杆
304形成铰接结构；
[0034]其中，所述连杆304长度方向与所述限制件303长度方向的夹角调整范围为80至100度。
[0035]石英舟是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，多用于硅片的运输或在硅片加工时对硅片进行承载。在扩散工艺中，长期使用的石英舟会被偏磷酸、粉尘、碎屑等污染，偏磷酸累积一定量后会腐蚀位于石英舟上的硅片，从而形成卡槽印。严重的情况下会导致硅片方阻异常或者外观异常，影响硅片的良品率以及转换效率。所以需要对石英舟进行定期或不定期的清洗。
[0036]对石英舟的清洗一般会先将石英舟置于酸洗机构中使用酸性溶剂对其表面沉积的杂质等进行去除，再将经过酸处理后的石英舟置于水洗机构中使用清水对其进行清洗，去除表面的酸性物质及杂质，最后将清洗好的石英舟进行烘干，以便进行重复使用。现有技术多是通过浸泡冲洗的清洁方式，但由于石英舟的卡槽较小且可能存在斜槽的情况，不仅清洗起来十分困难，且清洁效果较差，石英舟不能达到理想的洁净效果。
[0037]在本实施例中，在使用过程中，将石英舟放置于基座100上，调整限位件308之间距离，限位件308夹持石英舟两侧侧板，对石英舟的位置进行限定。清洁机构300的水平限定可以通过转动件202与固定件201的抵持实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟清洗装置，其特征在于，包括：基座(100)，为石英舟清洗装置提供支撑；翻转机构(200)，包括固定件(201)和铰接设置于所述固定件(201)远离所述基座(100)的一端的转动件(202)；清洁机构(300)，设置于所述翻转机构(200)，所述清洁机构(300)包括驱动装置(301)、限制件(303)以及多个与所述限制件(303)平行设置的清洁件(306)，所述驱动装置(301)导出有驱动轴(302)，所述驱动轴(302)的自由端与所述限制件(303)长度方向的中部形成铰接，所述限制件(303)的长度方向上的两端铰接有两个平行分布的连杆(304)，所述清洁件(306)分别与两个所述连杆(304)形成铰接结构；其中，所述连杆(304)长度方向与所述限制件(303)长度方向的夹角调整范围为80至100度。2.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗装置，其特征在于，所述限制件(303)与所述驱动轴(302)为螺栓连接。3.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗装置，其特征在于，所述连杆(304)与所述限制件(303)为...

【专利技术属性】
技术研发人员：童成成，
申请(专利权)人：无锡莹杰智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：