一种硅片烘干设备制造技术

技术编号:36721377 阅读:15 留言:0更新日期:2023-03-01 10:16
本实用新型专利技术涉及工业技术领域,具体为一种硅片烘干设备,包括烘干器、转筒、电机、外板和收料器,烘干器的内侧放置转筒,烘干器的外部固定安装电机,电机的转轴与转筒固定连接,烘干器位于转筒的开口位置固定安装外板,外板上滑插安装收料器。本实用新型专利技术中,全封闭式烘干硅片,机器周围温度不高,而且无需过多耗费加热所需的能源,降低成本,提高工人的工作舒适度,结构功能复合型设计,使装置结构简单化但实用。实用。实用。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干设备


[0001]本技术涉及工业
,具体为一种硅片烘干设备。

技术介绍

[0002]目前硅片烘干有活动的烘干筒和输送烘干两种方式;
[0003]这两种烘干基本上都是敞口式的,敞口式热量散发出去,不仅旁边的工作人员会觉得热,而且也需要消耗更多的能源。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片烘干设备,以解决上述
技术介绍
中提出硅片敞口烘干升高周围温度,消耗更多能源的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种硅片烘干设备,包括烘干器、转筒、电机、外板和收料器,所述烘干器的内侧放置转筒,所述烘干器的外部固定安装电机,电机的转轴与转筒固定连接,所述烘干器位于转筒的开口位置固定安装外板,所述外板上滑插安装收料器。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述:
[0008]所述转筒包括筒体和隔板,所述筒体的内壁围绕轴线固定安装隔板。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述:
[0010]所述转筒与电机转轴同轴的位置开设槽孔。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述:
[0012]所述外板上开设滑槽口。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述:
[0014]所述收料器包括收料槽、内卡板、外卡板、插板、拉手和插杆,所述收料槽与外板滑动连接,所述收料槽的一端固定安装内卡板,内卡板的外侧固定安装插杆,所述收料槽的另一端固定安装外卡板,所述外卡板开设夹槽,夹槽位置插装插板,所述外卡板的外侧固定安装拉手。
[0015]与现有技术相比,本技术提供了一种硅片烘干设备,具备以下有益效果:
[0016]1.本技术中,全封闭式烘干硅片,机器周围温度不高,而且无需过多耗费加热所需的能源,降低成本,提高工人的工作舒适度;
[0017]2.本技术中,收料器既是密封装置,又是硅片收集装置,其夹槽既是夹持结构,又是出料口,结构功能复合型设计,使装置结构简单化但实用。
附图说明
[0018]图1为本技术立体一结构示意图;
[0019]图2为本技术立体二结构示意图;
[0020]图3为本技术转筒结构示意图;
[0021]图4为本技术外板结构示意图;
[0022]图5为本技术收料器结构示意图。
[0023]图例说明:
[0024]1、烘干器;2、转筒;201、槽孔;3、电机;4、外板;401、滑槽口;5、收料器;501、收料槽;502、内卡板;503、外卡板;504、插板;505、拉手; 506、插杆。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例:
[0027]请参阅图1

图5,本技术提供了一种硅片烘干设备,包括烘干器1、转筒2、电机3、外板4和收料器5,烘干器1的内侧放置转筒2,烘干器1 的外部固定安装电机3,电机3的转轴与转筒2固定连接,烘干器1位于转筒 2的开口位置固定安装外板4,外板4上滑插安装收料器5。
[0028]具体的,如图3所示,转筒2包括筒体和隔板,筒体的内壁围绕轴线固定安装隔板,隔板可以带着硅片上升。
[0029]具体的,如图3所示,转筒2与电机3转轴同轴的位置开设槽孔201,便于增加收料器5收料状态的稳定性。
[0030]具体的,如图4所示,外板4上开设滑槽口401,便于收料器5的抽拉。
[0031]具体的,如图5所示,收料器5包括收料槽501、内卡板502、外卡板503、插板504、拉手505和插杆506,收料槽501与外板4滑动连接,收料槽501 的一端固定安装内卡板502,内卡板502的外侧固定安装插杆506,收料槽501 的另一端固定安装外卡板503,外卡板503开设夹槽,夹槽位置插装插板 504,外卡板503的外侧固定安装拉手505,既可以密封转筒2,又能够收集硅片,而且便于取出硅片。
[0032]工作原理:
[0033]将收料器5拉出一点,让转筒2与外部连通,然后使用工具将硅片装到转筒2里面;
[0034]然后将收料器5尽量外拉,这样内卡板502就挡住了滑槽口401,转筒2 被密封,电机3带着转筒2旋转,速度缓慢,将硅片烘干,烘干后,内推收料器5,让插杆506插到槽孔201里,电机3继续带着转筒2旋转,速度加快,让隔板能带着硅片上去,然后硅片自然掉落到收料槽501里面,等到硅片全部掉落到收料槽501里面之后,再将收料器5抽出,将插板504拿掉,将硅片从夹槽位置推出来。
[0035]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干设备,包括烘干器(1)、转筒(2)、电机(3)、外板(4)和收料器(5),其特征在于:所述烘干器(1)的内侧放置转筒(2),所述烘干器(1)的外部固定安装电机(3),电机(3)的转轴与转筒(2)固定连接,所述烘干器(1)位于转筒(2)的开口位置固定安装外板(4),所述外板(4)上滑插安装收料器(5)。2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干设备,其特征在于:所述转筒(2)包括筒体和隔板,所述筒体的内壁围绕轴线固定安装隔板。3.根据权利要求1所述的一种硅片烘干设备,其特征在于:所述转筒(2)与电机(3)转轴同轴的位置开设槽孔(201)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨定勇张力峰邹文龙
申请(专利权)人:扬州晶樱光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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