一种面板集成检测设备和调试方法技术

本发明专利技术公开了一种面板集成检测设备和调试方法，其包括设置于隔振台上的集成电路检测装置和AOI检测装置，所述AOI检测装置包括光机安装架和光学检测模组，所述光机安装架上至少设置有用于调节所述光学检测模组空间位置和/或空间角度的第一调节模组，所述集成电路检测装置上设置有用于调节其空间位置和/或空间角度的第二调节模组；所述第二调节模组能够实现集成电路检测装置沿第一轴的轴向的位移调节和绕第三轴的旋转调节。本发明专利技术不仅结构简单，而且能够有效降低振动对面板检测精度带来的影响，提高面板检测的精度。提高面板检测的精度。提高面板检测的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种面板集成检测设备和调试方法


[0001]本专利技术公开了一种集成检测设备，属于Micro LED检测
，具体公开了一种面板集成检测设备和调试方法。

技术介绍

[0002]目前，Micro LED作为一种主流的显示技术相对于其它微显示技术虽然具有无与伦比的优势，但是Micro LED微显示器需要进行ATE测试和AOI测试，才可以有效地降低配至有Micro LED微显示器的故障率。
[0003]由于Micro LED像素尺寸微缩化，其给Micro LED的测试带来了挑战。目前常规的Micro LED的检测通常式通过ATE测试装置和AOI测试装置独立实现，即需要首先在一个工位基于集成电路检测装置完成Micro LED的ATE测试，然后将检测合格后的Micro LED移送至另一个工位，基于AOI设备对其完成AOI测试，上述检测方法需要工位切换工序，故其检测耗时较长；为了解决上述技术问题，集成有电路检测装置、AOI检测装置的面板检测设备应运而生，该面板检测设备一般包括底座，底座上配置有隔振台，隔振台上安装有光机安装架，光机安装架通过一个调节机构连接有光学检测模组，光学检测模组在调节机构作用下能够在空间内实现5
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6个自由度的自由调节，但是由于整个调节机构+光学检测模组均处于一个悬臂状态，故当光机安装架振动时，该悬臂状态的调节机构+光学检测模组会放大该振动对光机检测精度的影响，从而降低了检测精度。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种面板集成检测设备和调试方法，其不仅结构简单，而且能够有效降低振动对面板检测精度带来的影响，提高面板检测的精度。
[0005]本专利技术公开了一种面板集成检测设备，其包括设置于隔振台上的集成电路检测装置和AOI检测装置，所述AOI检测装置包括光机安装架和光学检测模组，所述光机安装架上至少设置有用于调节所述光学检测模组空间位置和/或空间角度的第一调节模组，所述集成电路检测装置上设置有用于调节其空间位置和/或空间角度的第二调节模组；所述第二调节模组能够实现集成电路检测装置沿第一轴的轴向的位移调节和绕第三轴的旋转调节。
[0006]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述第一调节模组包括沿第二轴的轴向延伸的第一直线模组、沿第三轴的轴向延伸的第二直线模组和能够绕第一轴旋转的旋转模组，第一轴、第二轴和第三轴两两相互垂直。
[0007]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述第一直线模组包括固接于所述光机安装架上的固定板和沿第二轴的轴向滑动配合连接于所述固定板上的移动板，所述移动板上这是固接有有两个与其垂直布置的连接板。
[0008]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述旋转模组包括连接于所述第二直线模组或所述第一直线模组移动端的底板，所述底板上连接有可绕第一轴旋转的基板，所述基板上
连接有用于固定光机的光机夹爪和用于夹持光机镜头的端部的镜头固定座。
[0009]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述固定板和/或所述移动板和/或所述连接板和/或所述底板和/或所述基板和/或所述光机夹爪的材质为合金，所述合金的抗拉强度≥600Mpa，所述合金的热膨胀系数≤12*106mm/mm℃。
[0010]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述固定板和所述移动板的材质包括但不限于普通钢、不锈钢、四五钢、铁基、钴基、铂基热膨胀合金。
[0011]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述基板上设置有沿第三轴的轴向延伸的测距仪。
[0012]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述第二调节模组为设置于光机安装架和所述集成电路检测装置之间并可实现两者稳定连接的可调连接件。
[0013]本专利技术还公开了一种面板集成检测设备的调试方法，其使用了面板集成检测设备实现对检测光机和待检测件两者之间至少5个自由度的调节，其中基于第二调节模组能够实现对待检测件沿第一轴的轴向的位移调节和绕第三轴的旋转调节；基于第一调节模组实现对检测光机实现空间位置和/或空间角度的多个自由度调节。
[0014]在本专利技术的一种优选实施方案中，第二调节模组沿第一轴的轴向的位移调节和绕第三轴的旋转调节的时候，产生的第二轴的轴向和第三轴的轴向偏移，均可通过第一调节模组调节检测光机在第一轴的轴向位移和其相对于第三轴的轴向位移进行补偿修正。
[0015]在本专利技术的一种优选实施方案中，还包括底架和控制装置，所述控制装置与所述集成电路检测装置和所述AOI检测装置通讯连接，所述底架上设置有所述隔振台。
[0016]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述光机安装架为单立柱式结构、T形立柱式结构或者龙门架式结构。
[0017]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述光学检测模组包括检测光机，或者所述光学检测模组包括检测光机和滤镜轮。
[0018]在本专利技术的一种优选实施方案中，所述光学检测模组包括能够沿第三轴向进行调焦的调焦环。
[0019]本专利技术的有益效果是：本专利技术具有结构简单、稳定性好、检测精度高的优点，其通过在光机安装架上设置有用于调节光学检测模组空间位置和/或空间角度的第一调节模组，集成电路检测装置上设置有用于调节其空间位置和/或空间角度的第二调节模组，从而有效地减轻了悬臂部分的部分调节机构+光学检测模组的总体重量，同时还缩小了光学检测模组距离光机安装架的力臂，从而有效地降低了悬臂部分所产生的弯矩，故光机安装架的振动更不容易影响到光学检测模组的工作，从而有效地提高了光学检测模组的检测精度；
[0020]进一步的，本专利技术的固定板11.1和/或移动板11.2和/或连接板11.3和/或底板10.1和/或基板10.2和/或光机夹爪10.3的材质为合金，合金的抗拉强度≥600Mpa，合金的热膨胀系数≤12*106mm/mm℃、固定板11.1和移动板11.2的材质为钢、普通钢、不锈钢、四五钢，该材料选择能够保证第一调节模组具有良好的刚度和稳定性、有效地减少其振动以及受热膨胀对悬臂部分检测光机的影响，提高了本专利技术的检测精度；
[0021]进一步的，本专利技术的第一直线模组、第二直线模组和旋转模组采用模块化的分时体结构，更利于装配和维护；
[0022]进一步的，本专利技术通过引入连接组件将光机安装架和集成电路检测装置连接为刚性整体，从而使得两者在外界干扰下始终保持一致的振幅，避免了位于光机安装架上光学检测模组与集成电路检测装置的不同步晃动，从而提高了设备的检测精度；
[0023]进一步的，本专利技术的连接组件包括用于连接集成电路检测装置的第一固定板、用于连接光机安装架的第二固定板和用于实现第一固定板和第一固定板连接的调节块，该分体式结构不仅便于安装；
[0024]进一步的，本专利技术的调节块、第一固定板和第二固定板组合在一起可以实现对集成电路检测装置相对于Y轴向的位移以及其相对于Z轴向的旋转，具有更好的调节兼容性；
[0025]进一步的，本专利技术的光学检测模组配置有测距仪，测距仪的存在能够方便光学检测模组的全自动化对焦，提高了本专利技术的兼容性和自动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种面板集成检测设备，其特征在于：包括设置于隔振台(7)上的集成电路检测装置(2)和AOI检测装置，所述AOI检测装置包括光机安装架(1)和光学检测模组(3)，所述光机安装架(1)上至少设置有用于调节所述光学检测模组(3)空间位置和/或空间角度的第一调节模组，所述集成电路检测装置(2)上设置有用于调节其空间位置和/或空间角度的第二调节模组；所述第二调节模组能够实现集成电路检测装置(2)沿第一轴的轴向的位移调节和绕第三轴的旋转调节。2.根据权利要求1所述的面板集成检测设备，其特征在于：所述第一调节模组包括沿第二轴的轴向延伸的第一直线模组(11)、沿第三轴的轴向延伸的第二直线模组(9)和能够绕第一轴旋转的旋转模组(10)，第一轴、第二轴和第三轴两两相互垂直。3.根据权利要求2所述的面板集成检测设备，其特征在于：所述第一直线模组(11)包括固接于所述光机安装架(1)上的固定板(11.1)和沿第二轴的轴向滑动配合连接于所述固定板(11.1)上的移动板(11.2)，所述移动板(11.2)上这是固接有有两个与其垂直布置的连接板(11.3)。4.根据权利要求2所述的面板集成检测设备，其特征在于：所述旋转模组(10)包括连接于所述第二直线模组(9)或所述第一直线模组(11)移动端的底板(10.1)，所述底板(10.1)上连接有可绕第一轴旋转的基板(10.2)，所述基板(10.2)上连接有用于固定光机的光机夹爪(10.3)和用于夹持光机镜头的端部的镜头固定座(10.4)。5.根据权利要求3或4所述的面板集成检...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖治祥，王宏丽，朱涛，叶坤，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：