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本发明公开了一种面板集成检测设备和调试方法,其包括设置于隔振台上的集成电路检测装置和AOI检测装置,所述AOI检测装置包括光机安装架和光学检测模组,所述光机安装架上至少设置有用于调节所述光学检测模组空间位置和/或空间角度的第一调节模组,所述...该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉精测电子集团股份有限公司授权不得商用。
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