透过传感器效应的数字反演的射频功率的准确确定制造技术

一种装置可包含能测量耦合至装置的一或多个处理站的功率的一或多个测量传感器。所述装置可额外包含耦合至一或多个测量传感器中的对应一者的输出端口的一或多个模数转换器，所述模数转换器可以提供通过一或多个测量传感器所测量到的RF信号的数字表示。耦合至存储器的处理器可确定信号的数字表示与参考信号水平的相交点，并且可因此确定RF信号的频率内容及特性，其可使一或多个测量传感器的相位迟延失效。延失效。延失效。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透过传感器效应的数字反演的射频功率的准确确定
通过引用并入
[0001]PCT申请表作为本申请的一部分与本说明书同时提交。在同时提交的PCT申请表中所标识的本申请要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。

技术介绍

[0002]集成电路设备的制造可涉及半导体晶片在半导体处理室中的工艺。典型的工艺可涉及以例如逐层方式沉积半导体材料的沉积工艺、以及移除如蚀刻半导体晶片的特定区域中的材料的工艺。在商业规模的制造中，每一晶片包含许多成组的半导体设备的许多副本、且可使用许多晶片达到半导体设备所需的体积。因此，半导体工艺操作的商业可行性在某种程度上可取决于工艺条件在晶片内的均匀度以及晶片与晶片之间的重复性。因此，业界致力于确保在半导体处理室中受到处理的特定的每一部分以及每一晶片都受到紧密控制的工艺条件。工艺条件的变化性可对沉积及蚀刻率带来非所期望的变化，因此对于整体工艺流程带来不可接受的变化。此类变化可使电路性能退化，因此为使用集成电路设备的较高层级的系统的性能带来不可接受的变化。因此，研究的重点持续聚焦于以较高的粒度监控半导体工艺的技术以及对工艺变量进行细微调整的能力。
[0003]这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的专利技术人的工作在其在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。

技术实现思路

[0004]在一实施方案中，一种装置如一种使多站集成电路制造室中所用的一或多个测量传感器的相位迟延无效的装置包含：该一或多个测量传感器，其被设置以测量施加至该多站集成电路制造室的电压或耦合至该多站集成电路制造室的电流。该装置还包含：一或多个模数转换器，其耦合至该一或多个测量传感器中的对应者的输出端口，以提供该一或多个测量传感器所测量到的射频(RF)信号的数字表示。该装置还包含：处理器，其耦合至存储器，被配置成根据测量到的该RF信号的该数字表示计算频率响应(其可具有频率响应矩阵的表达式)。该装置还包含数字反演器，以将测量到的该RF信号的该数字表示除以或乘以该频率响应矩阵的元素。在一实施方案中，该装置可自动修正已无效的相位迟延。
[0005]在某些实施方案中，该数字反演器包含数字电压信号反演器或数字电流信号反演器。在某些实施方案中，耦合至该存储器的该处理器被配置成在校正阶段期间计算该频率响应(其可表述为频率响应矩阵)的该复数元素，并计算该频率响应(其可表述为频率响应矩阵)的反演以提供该多站集成电路制造室进行工艺期间所发生的该一或多个测量传感器的该相位迟延。在某些实施方案中，该数字反演器包含以并联方式设置的两或更多个快速傅立叶变换模块。在某些实施方案中，该两或更多个快速傅立叶变换模块中的每一者是与对应的迟延电路并联设置。在某些实施方案中，该数字反演器包含逻辑电路，该逻辑电路被
配置成在第一时钟部分期间将来自该一或多个测量传感器的输出信号递送至该两或更多个快速傅立叶变换模块中的第一者并被配置成在第二时钟部分期间将来自该一或多个测量传感器的该输出信号递送至该两或更多个快速傅立叶变换模块中的第二者。在某些实施方案中，该数字反演器包含串联模块，该串联模块被配置成将来自并联设置的该两或更多个快速傅立叶变换模块的多个输出信号表示结合为单一输出信号表示。在某些实施方案中，该装置还包含截短模块，该截短模块被配置成截短该单一输出信号表示的尺寸。在某些实施方案中，该截短模块包含滑移窗，该滑移窗被配置成调整该输出信号表示的二进制位。
[0006]在一实施方案中，一种装置被配置成使测量传感器的相位迟延无效。该装置包含：一或多个模数转换器，其耦合至该一或多个测量传感器中的对应的一个的输出端口，以提供该一或多个测量传感器所测量到的射频(RF)信号的数字表示。该装置还包含：处理器，其耦合至存储器并被配置成从测量到的该RF信号的该数字表示计算频率响应。该装置还包含数字反演器，以将测量到的该RF信号的该数字表示除以或乘以该频率响应矩阵的元素。在某些实施方案中，该频率响应可具有频率响应矩阵的表达式。
[0007]在某些实施方案中，该装置适合使该一或多个测量传感器的该相位迟延无效且包含模数转换器，该模数转换器用于将从对应数目的该一或多个测量传感器的一或多个输出端口所获得的模拟信号转换为数字表示，该一或多个测量传感器用于测量施加至多站集成电路制造室的电压(或耦合至该多站集成电路制造室的电流)。该装置还包含检测器以检测该一或多个测量传感器的输出信号的频率内容。该装置还包含：处理器，其耦合至存储器并用于响应检测该一或多个测量传感器的该输出信号的频率内容而确定该一或多个测量传感器的频率响应函数，该处理器另外耦合至该存储器以通过反演该一或多个测量传感器的该频率响应函数以使该一或多个测量传感器的该相位迟延无效。
[0008]在某些实施方案中，确定该频率响应(其可包含确定频率响应矩阵的系数)包含确定该信号的数字表示与参考信号水平的相交点。在某些实施方案中，该装置还可包含，利用该一或多个测量传感器测量到的该信号的该数字表示的该相交点，确定该RF信号的频率内容及该一或多个测量传感器的受到无效的该相位迟延。在某些实施方案中，该相交点可对应于RF信号接地。在某些实施方案中，该一或多个测量传感器包含在介于约300kHz与100MHz之间的任何频率下操作的电容式电压变压器。在某些实施方案中，该一或多个测量传感器包含在介于约300kHz与约100MHz之间的任何频率下操作的电流测量传感器。在某些实施方案中，使该一或多个测量传感器的该相位迟延无效对应于抵销该一或多个测量传感器所导入的该相位迟延。在某些实施方案中，可表述为频率响应矩阵的该频率响应形成该频率响应函数。在某些实施方案中，该处理器还被配置成利用前进对应于该相位迟延的量的从该一或多个测量传感器所接收的信号，提供耦合至该多站集成电路制造室的RF功率的估算值。
[0009]在一实施方案中，一种适合使一或多个测量传感器的相位迟延无效的装置，其包含模数转换器，该模数转换器用于将从对应数目的该一或多个测量传感器的一或多个输出端口所获得的模拟信号转换为数字表示，该一或多个测量传感器用于测量施加至多站集成电路制造室的电压(或耦合至该多站集成电路制造室的电流)。该装置还包含检测器以检测该一或多个测量传感器的输出信号的频率内容。该装置还包含：处理器，其耦合至存储器并用于响应检测该一或多个测量传感器的输出信号的该频率内容而确定该一或多个测量传
感器的频率响应函数，该处理器额外耦合至该存储器以通过反演该一或多个测量传感器的该频率响应函数而使该一或多个测量传感器的该相位迟延无效。
[0010]在某些实施方案中，检测该一或多个测量传感器的输出信号的频率内容包含检测所获得的模拟信号的数字表示与参考信号的相交点。在某些实施方案中，该参考信号对应于射频(RF)接地。在某些实施方案中，该对应数目的该一或多个测量传感器的第一测量传感器包含电压测量传感器。在某些实施方案中，该对应数目的测量传感器的第二测量传感器包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，其包含：一或多个测量传感器，其被设置成测量施加至所述装置的一或多个处理站的电压或耦合至所述装置的一或多个处理站的电流；一或多个模数转换器，其耦合至所述一或多个测量传感器中的对应一者的输出端口，以提供所述一或多个测量传感器所测量到的射频(RF)信号的数字表示；以及处理器，其被配置成：将所述一或多个测量传感器所测量到的所述RF信号的所述数字表示从时域表示转换为频域表示；以及以传感器传递函数处理所述RF信号的所述频域表示以反演所述一或多个测量传感器的相位迟延。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述处理器被配置成通过将所述一或多个测量传感器的反传递函数乘以所述一或多个测量传感器的频率响应以反演所述一或多个测量传感器的所述相位迟延。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述处理器被配置成通过将所述一或多个测量传感器的传递函数除以所述一或多个测量传感器的频率响应以反演所述一或多个测量传感器的所述相位迟延。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述处理器被配置成利用并联设置的两或更多个快速傅立叶变换模块将所述一或多个测量传感器所测量到的所述RF信号的所述数字表示从时域转换为频域。5.根据权利要求4所述的装置，其中所述两或更多个快速傅立叶变换模块中的每一者与对应的迟延电路并联设置。6.根据权利要求4所述的装置，其还包含数字反演器，其中所述数字反演器包含逻辑电路，所述逻辑电路用于在第一时钟部分期间将来自所述一或多个测量传感器的输出信号递送至所述两或更多个快速傅立叶变换模块中的第一者并用于在第二时钟部分期间将来自所述一或多个测量传感器的所述输出信号递送至所述两或更多个快速傅立叶变换模块中的第二者。7.根据权利要求4所述的装置，其中所述数字反演器包含串联模块，所述串联模块被配置成将来自并联设置的所述两或更多个快速傅立叶变换模块的多个输出信号表示结合为单一输出信号表示。8.根据权利要求7所述的装置，其还包含截短模块，所述截短模块被配置成截短输出信号表示的尺寸。9.根据权利要求8所述的装置，其中所述截短模块包含滑移窗，所述滑移窗被配置成调整所述输出信号表示的二进制位。10.根据权利要求1所述的装置，其中所述处理器被配置成在校正阶段期间计算频率响应函数的元素，其中在所述装置的所述一或多个处理站进行的工艺期间进行所述频率响应函数的反演以提供所述一或多个测量传感器的所述相位迟延。11.一种被配置成使测量传感器无效的装置，其包含：一或多个模数转换器，其耦合至一或多个测量传感器中的对应一者的输出端口，以提供所述一或多个测量传感器所测量到的射频(RF)信号的数字表示；以及
处理器，其耦合至存储器，并被配置成将所述一或多个测量传感器测量到的所述RF信号的所述数字表示从第一域转换至第二域，并通过传感器传递函数处理已被转换至所述第二域的所述信号以反演所述一或多个测量传感器的所述相位迟延。12.一种适于使一或多个测量传感器的相位迟延无效的装置，其包含：模数转换器，其被配置成将从对应数目的所述一或多个测量传感器的一或多个输出端口所获得的模拟信号转换为数字表示，所述一或多个测量传感器用于测量耦合至所述多站集成电路制造室的功率；检测器，其用于检测所述一或多个测量传感器的输出信号的频率内容；以及处理器，其耦合至存储器，以将所述一或多个测量传感器测量到的RF信号的数字表示从时域表示转换至频域表示，并通过传感器传递函数处理所述RF信号的所述频域表示以反演所述一或多个测量传感器的所述相位迟延。13.根据权利要求12所述的装置，其中检测所述输出信号的所述频率内容包含：确定所述输出信号的所述数字表示与参考信号水平的相交点；以及利用通过所述一或多个测量传感器测量到的所述信号的所述数字表示的所述相交点，确定所述RF信号的频率内容及所述一或多个测量传感器的所述相位迟延的无效。14.根据权利要求13所述的装置，其中所述相交点对应于RF信号接地。15.根据权利要求12所述的装置，其中所述一或多个测量传感器包含在介于约300kHz与100MHz之间的任何频率下操作的电容式电压变压器。16.根据权利要求12所述的装置，其中所述一或多个测量传感器包含在介于约300kHz与约100MHz之间的任何频率下操作的电流测量传感器。17.根据权利要求12所述的装置，其中使所述一或多个测量传感器的所述相位迟延无效对应于消除由所述一或多个测量传感器所导入的所述相位迟延。18.根据权利要求17所述的装置，其中频率响应形成频率响应函数。19.根据权利要求18所述的装置，其中所述处理器还被配置成利用从所述一或多个测量传感器所接收的信号，提供被耦合至所述多站集成电路制造室的RF功率的估算值，所述信号提前对应于所述相位迟延的量。20.一种适于测量电流信号或电压信号的装置，其包含：模数...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿施施，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：