导片器制造技术

导片器，涉及半导体芯片技术领域。台板及设置在所述台板上的一对按压件；一对杠杆，一对所述杠杆的支点设置在所述台板的下表面，每根所述杠杆的一端设置在一个所述按压件的下端，另一端位于设置在所述台板下表面的传感器的下方；一指示器；一电源；当一对所述按压件压下到设定位置时，一对所述杠杆的另一端同时触动所述传感器，使所述电源接通所述指示器发出指示信号。能有效防止硅片导片时划片和破片。能有效防止硅片导片时划片和破片。能有效防止硅片导片时划片和破片。

【技术实现步骤摘要】
导片器


[0001]本技术涉及半导体晶片加工工装
，具体地涉及一种改进了的半导体晶片专用的导片器。

技术介绍

[0002]半导体晶片指具有大规模集成电路的硅片，是电子设备中最重要的部分，承担着去处和存储的功能。半导体晶片制作中的第一工序就是要得到薄的硅片，一般对批量的硅片进行工序转换是将切好的硅片批量地运输到下一道工序进行加工，运输采用将硅片一片一片地插放在片匣中，不同工序的转换过程中需要将硅片从一个片匣导入另一个片匣中，在早期这一导片方式是从一个片匣将硅片一片一片地从一个片匣中夹出，再放入到另一个片匣中，效率不高。
[0003]近来采用了导片器替代上述手夹取工方法进行导片，参见图1，现有的导片器有一块矩形的台板1，台板1设置有自上表面凸出的两条导轨11，在两条导轨11之间，设置有两只按压件12，在图1中有一只按压件12，因另一只被设置在台板1端部的一对片匣靠山板13中的一块遮挡而不可见，一对靠山板13的中间是推板14，将放置有硅片的一个片匣紧靠靠山板13地置于导轨11上，而另一空片匣敞口与其敞口对准地也放置在导轨11上并沿导轨推本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.导片器，包括台板及设置在所述台板上的一对按压件；其特征在于：一对杠杆，一对所述杠杆的支点设置在所述台板的下表面，每根所述杠杆的一端设置在一个所述按压件的下端，另一端位于设置在所述台板下表面的传感器的下方；一指示器；一电源；当一对所述按压件压下到设定位置时，一对所述杠杆的另一端同时触动所述传感器，使所述电源接通所述指示器发出指示信号。2.根据权利要求1所述导片器，其特征在于：所述传感器为一对压力传感器，设置在与一对所述杠杆的另一端对应的位置。3.根据权利要求1所述导片器，其特征在于：所述传感器为一导体；一对所述杠杆为金属杆。4.根据权利要求1所述导片器，其特征在于：所述支点为一铰；所述杠杆的一端铰接在所述按压件的下端。5.根据权利要求1所述导片器，其特征在于：所述指示器为声指示器或光指示器或声光指示器。6.根据权利要求1至5任一项所述导片器，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴汉勇，
申请(专利权)人：英诺赛科苏州半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：