一种五维调整装置制造方法及图纸

技术编号:36697500 阅读:43 留言:0更新日期:2023-02-27 20:13
本申请实施例的目的是提供一种五维调整装置。本申请实施例的五维调整装置包括:俯仰板、微调顶丝、螺钉、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫;其中,俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节;其中,所述弹垫起到压簧的作用。本申请实施例具有以下优点:结构紧凑,能够在在镜头座互相垂直的两个侧边的方向和垂直于镜头座顶面的方向来对镜头进行姿态调整,增强了调整镜头的便利性,提升了效率;采用弹垫来代替现有技术方案中调整机构使用的弹簧,使得本申请的五维调整装置在调节完毕锁紧后具有更好的刚性。的刚性。的刚性。

【技术实现步骤摘要】
一种五维调整装置


[0001]本技术涉及光机设计领域,尤其涉及一种五维调整装置。

技术介绍

[0002]随着国产半导体膜厚量测设备技术的不断进步,光学设备的核心光机也更加注重精密化、小型化和模块化,光机设计也需要更多考虑产品适度紧凑、人性化、易调节、易加工和尽量简洁。但光机内部通常包含有多种镜头或其他需要光学对准的部件,为了协调各模块优化衔接和紧凑,一般需要将五维调节机构尽量塞进狭小的空间内,同时保证可靠的调节精度和调节便捷性。
[0003]为满足光机部件调整需求,现有技术方案中主要的五维调整装置的包括:
[0004]1)商用的五维调整架;市面成熟的商用五维调整架是光机设计的优选考虑产品,但实际的光机结构有时没有多方合适的五维调整架可以使用,可能存在体积太大、安装接口不合适、结构协调困难和设计复杂等问题,从而导致这些成熟的产品被排除在外;
[0005]2)根据光机实际优化需求自行设计加工五维调整装置;传统的自行设计的五维调整装置存在的机构内部多使用弹簧,体积相对较大。

技术实现思路

[0006]本申请实施例的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种五维调整装置,其特征在于,包括:镜头座、俯仰板、微调顶丝、螺钉、镜头支架、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫;其中,俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节;其中,所述弹垫起到压簧的作用。2.根据权利要求1所述的五维调整装置,其特征在于,所述五维调整装置还包括镜头座和镜头支架。3.根据权利要求1或2所述的五维调整装置,其特征在于,通过将螺钉穿过弹垫、平垫和俯仰板的螺钉通孔,然后旋入镜头座的螺钉孔,并在角度调节完毕后锁紧螺钉,来对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙思华毛宗钦刘红星
申请(专利权)人:睿励科学仪器上海有限公司
类型:新型
国别省市:

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