一种五维调整装置制造方法及图纸

本申请实施例的目的是提供一种五维调整装置。本申请实施例的五维调整装置包括：俯仰板、微调顶丝、螺钉、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫；其中，俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节；其中，所述弹垫起到压簧的作用。本申请实施例具有以下优点：结构紧凑，能够在在镜头座互相垂直的两个侧边的方向和垂直于镜头座顶面的方向来对镜头进行姿态调整，增强了调整镜头的便利性，提升了效率；采用弹垫来代替现有技术方案中调整机构使用的弹簧，使得本申请的五维调整装置在调节完毕锁紧后具有更好的刚性。的刚性。的刚性。

【技术实现步骤摘要】
一种五维调整装置


[0001]本技术涉及光机设计领域，尤其涉及一种五维调整装置。

技术介绍

[0002]随着国产半导体膜厚量测设备技术的不断进步，光学设备的核心光机也更加注重精密化、小型化和模块化，光机设计也需要更多考虑产品适度紧凑、人性化、易调节、易加工和尽量简洁。但光机内部通常包含有多种镜头或其他需要光学对准的部件，为了协调各模块优化衔接和紧凑，一般需要将五维调节机构尽量塞进狭小的空间内，同时保证可靠的调节精度和调节便捷性。
[0003]为满足光机部件调整需求，现有技术方案中主要的五维调整装置的包括：
[0004]1)商用的五维调整架；市面成熟的商用五维调整架是光机设计的优选考虑产品，但实际的光机结构有时没有多方合适的五维调整架可以使用，可能存在体积太大、安装接口不合适、结构协调困难和设计复杂等问题，从而导致这些成熟的产品被排除在外；
[0005]2)根据光机实际优化需求自行设计加工五维调整装置；传统的自行设计的五维调整装置存在的机构内部多使用弹簧，体积相对较大。

技术实现思路

[0006]本申请实施例的目的是提供一种五维调整装置。
[0007]本申请实施例提供了一种五维调整装置，其特征在于，包括：
[0008]镜头座、俯仰板、微调顶丝、螺钉、镜头支架、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫；
[0009]其中，俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节；
[0010]其中，所述弹垫起到压簧的作用。
[0011]根据一个实施例，通过将螺钉穿过弹垫、平垫和俯仰板的螺钉通孔，然后旋入镜头座的螺钉孔，并在角度调节完毕后锁紧螺钉，来对所述俯仰板进行固定。
[0012]根据一个实施例，通过位于俯仰板侧面的微调顶丝，来在镜头座互相垂直的两个侧边的方向对镜头进行调节。
[0013]根据一个实施例，通过镜头与镜头支架的配合螺纹旋进旋出，来在垂直于镜头座顶面的方向对镜头进行调节。
[0014]根据一个实施例，所述镜头座设有螺纹孔和垫块槽，所述螺纹孔和垫块槽用于安装螺钉、平垫块、槽垫块和锥垫块。
[0015]与现有技术相比，本申请实施例具有以下优点：根据本申请的五维调整装置的结构紧凑，能够在在镜头座互相垂直的两个侧边的方向和垂直于镜头座顶面的方向来对镜头进行姿态调整，增强了调整镜头的便利性，提升了效率；根据本申请的五维调整装置采用弹垫来代替现有技术方案中调整机构使用的弹簧，使得本申请的五维调整装置在调节完毕锁紧后具有更好的刚性。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1示出了根据本申请实施例的一个示例性的镜头五维调整装置的结构的俯视图；
[0018]图2示出了根据本申请实施例的一个示例性的镜头五维调整装置的分解示意图；
[0019]图3示出了根据本申请实施例的一个示例性的镜头五维调整装置的槽垫块、锥垫块和平垫块的结构示意图；
[0020]图4示出了根据本申请实施例的一个示例性的镜头五维调整装置的弹垫和平垫的结构示意图；
[0021]图5示出了根据本申请实施例的一个示例性的镜头五维调整装置的结构的剖面图。
[0022]附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。
具体实施方式
[0023]根据本申请实施例的五维调整装置包括俯仰板、微调顶丝、螺钉、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫。
[0024]根据一个实施例，所述五维调整装置还包括镜头座和镜头支架。
[0025]其中，通过将螺钉穿过弹垫、平垫和俯仰板的螺钉通孔，然后旋入镜头座的螺钉孔，并在角度调节完毕后锁紧螺钉，来对所述俯仰板进行固定。
[0026]其中，所述镜头座设有螺纹孔和垫块槽，所述螺纹孔和垫块槽用于安装螺钉、平垫块、槽垫块和锥垫块。
[0027]其中，俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节。
[0028]具体地，通过位于俯仰板侧面的微调顶丝，来在镜头座互相垂直的两个侧边的方向对镜头进行调节；通过镜头与镜头支架的配合螺纹旋进旋出，来在垂直于镜头座顶面的方向对镜头进行调节。
[0029]其中，所述弹垫起到压簧的作用。并且，所述弹垫可包括各种规格的标准件弹垫。
[0030]下面结合附图对本技术作进一步详细描述。
[0031]图1至图5分别示出了根据本申请实施例的一个示例性的镜头五维调整装置的结构示意图。
[0032]其中，图1示出了本示例性的镜头五维调整装置的结构的俯视图；图2示出了该五维调整装置的分解示意图；图3示出了该五维调整装置的槽垫块、锥垫块和平垫块的结构示意图；图4示出了该五维调整装置的弹垫和平垫的结构示意图；图5示出了该五维调整装置的结构的剖面图。
[0033]图1至图5中的各个附图标记及其所对应的部件表示如下：
[0034]11：镜头座；
[0035]12：俯仰板；
[0036]13：微调顶丝；
[0037]14：螺钉；
[0038]15：镜头；
[0039]16：镜头支架；
[0040]21：槽垫块；
[0041]22：锥垫块；
[0042]23：平垫块；
[0043]31：弹垫；
[0044]32：平垫；
[0045]41：镜头与镜头支架的配合螺纹；
[0046]42：俯仰板顶面；
[0047]43：间隙；
[0048]44：镜头座顶面。
[0049]参照图1至图5，镜头五维调整装置包括镜头座11、俯仰板12、微调顶丝13、螺钉14、镜头支架16、槽垫块21、锥垫块22、平垫块23、弹垫31和平垫32。
[0050]其中，安装顺序以镜头轴线为参考，依次为镜头座11、俯仰板12、镜头支架16和镜头15。
[0051]其中，镜头座11设有中心通孔，该中心通孔用于插入镜头15。
[0052]其中，俯仰板12用于在多个方向对镜头15进行调节。俯仰板12通过螺钉14、弹垫31、平垫32和微调顶丝13与镜头座11相连接。
[0053]具体地，通过将螺钉14穿过弹垫31、平垫32和俯仰板的螺钉通孔，然后旋入镜头座的螺钉孔，角度调节完毕后锁紧螺钉14，来对俯仰板12进行固定。其中，弹垫31和平垫32的结构如图4所示。
[0054]其中，镜头15旋入镜头支架16后，镜头支架16通过螺钉14固定于俯仰板12。
[0055]根据一个实施例，所述镜头座11设有螺纹孔和垫块槽，所述螺纹孔和垫块槽用于安装螺钉14、平垫块23、槽垫块21和锥垫块22。其中，所述槽垫块21、锥垫块22和平垫块23的结构如图3所示。
[0056]其中，采用点胶的方式将槽垫块21、锥垫块22和平垫块23固定于垫块槽。优选地，各个垫块与垫块槽侧边间隙为0.05mm至0.1mm。
[0057本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种五维调整装置，其特征在于，包括：镜头座、俯仰板、微调顶丝、螺钉、镜头支架、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫；其中，俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节；其中，所述弹垫起到压簧的作用。2.根据权利要求1所述的五维调整装置，其特征在于，所述五维调整装置还包括镜头座和镜头支架。3.根据权利要求1或2所述的五维调整装置，其特征在于，通过将螺钉穿过弹垫、平垫和俯仰板的螺钉通孔，然后旋入镜头座的螺钉孔，并在角度调节完毕后锁紧螺钉，来对所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙思华，毛宗钦，刘红星，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：