【技术实现步骤摘要】
一种五维调整装置
[0001]本技术涉及光机设计领域,尤其涉及一种五维调整装置。
技术介绍
[0002]随着国产半导体膜厚量测设备技术的不断进步,光学设备的核心光机也更加注重精密化、小型化和模块化,光机设计也需要更多考虑产品适度紧凑、人性化、易调节、易加工和尽量简洁。但光机内部通常包含有多种镜头或其他需要光学对准的部件,为了协调各模块优化衔接和紧凑,一般需要将五维调节机构尽量塞进狭小的空间内,同时保证可靠的调节精度和调节便捷性。
[0003]为满足光机部件调整需求,现有技术方案中主要的五维调整装置的包括:
[0004]1)商用的五维调整架;市面成熟的商用五维调整架是光机设计的优选考虑产品,但实际的光机结构有时没有多方合适的五维调整架可以使用,可能存在体积太大、安装接口不合适、结构协调困难和设计复杂等问题,从而导致这些成熟的产品被排除在外;
[0005]2)根据光机实际优化需求自行设计加工五维调整装置;传统的自行设计的五维调整装置存在的机构内部多使用弹簧,体积相对较大。
技术实现思路
[00 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种五维调整装置,其特征在于,包括:镜头座、俯仰板、微调顶丝、螺钉、镜头支架、槽垫块、锥垫块、平垫块、弹垫和平垫;其中,俯仰板用于在多个方向对镜头进行调节;其中,所述弹垫起到压簧的作用。2.根据权利要求1所述的五维调整装置,其特征在于,所述五维调整装置还包括镜头座和镜头支架。3.根据权利要求1或2所述的五维调整装置,其特征在于,通过将螺钉穿过弹垫、平垫和俯仰板的螺钉通孔,然后旋入镜头座的螺钉孔,并在角度调节完毕后锁紧螺钉,来对所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙思华,毛宗钦,刘红星,
申请(专利权)人:睿励科学仪器上海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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