【技术实现步骤摘要】
微机电系统麦克风
[0001]本技术涉及一种声能传感器(acoustic transducer),特别是涉及一种微机电系统(micro
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electro
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mechanical system,MEMS)麦克风。
技术介绍
[0002]目前电子装置(包括麦克风)已逐渐朝向薄型、小巧、轻便和高性能等趋势发展。举例而言,一般麦克风可以用于接收声波并将声信号转换为电信号,其中麦克风已被广泛应用于日常生活以及安装在例如电话、手机和录音笔等电子产品内部。
[0003]在一电容式麦克风(capacitive microphone)中,声压(acoustic pressure)的变化(即,由声波导致的环境大气压力的局部压力偏差)可迫使振膜(diaphragm)相应地变形,并且振膜的变形可引起电容的变化。因此,可以通过检测因电容变化所引起的电压差得知声波的声压变化。
[0004]与传统驻极体电容式麦克风(electret condenser microphones(ECM))的不同在于:微机 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微机电系统麦克风,其特征在于,该微机电系统麦克风包括:基板;背板,设置在该基板的一侧;振膜,活动地设置在该基板与该背板之间;以及多个长孔,形成于该振膜上的环状区域内且彼此相隔一距离,其中该些长孔具有非均匀一致的宽度,用以降低该振膜上的残余应力。2.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔的至少其中之一形成有本体以及从该本体朝该振膜外侧或内侧方向延伸的两个端部。3.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔包含以同心圆方式排列的多个外侧孔以及多个内侧孔,该些外侧孔分别形成有本体以及从该本体朝该振膜外侧或内侧方向延伸的两个端部。4.如权利要求3所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些外侧孔分别定义有中心线,且该些外侧孔的该些端部分别具有中心点,其中该些中心点的位置都落在圆形轨迹上,且该些中心线与该圆形轨迹相切。5.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔包含以同心圆方式排列的多个外侧孔以及多个内侧孔,该些内侧孔分别形成有本体以及从该本体朝该振膜外侧或内侧方向延伸的两个端部。6.如权利要求5所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些内侧孔分别定义有中心线,且该些内侧孔的该些端部分别具有中心点,其中该些中心点的位置都落在圆形轨迹上,且该些中心线与该圆形轨迹相切。7.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔以同心圆方式排列,并且分别形成有本体以及从该本体朝该振膜外侧方向延伸的两个端部。8.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔以同心圆方式排列,并且分别形成有本体以及从该本体朝该振膜内侧方向延伸的两个端部。9.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔包含以同心圆方式排列的多个外侧孔以及多个内侧孔,该些外侧孔分别形成有第一端部,该些内侧孔分别形成有第二端部,其中该些第一端部以及该些第二端部朝相反方向延伸。10.如权利要求1所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔分别形成有本体以及从该本体延伸而出的一个端部,且该端部的宽度大于该本体的宽度。11.如权利要求10所述的微机电系统麦克风,其特征在于,该些长孔的宽度是从该...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈建铭,许丰家,林文山,李新立,郭乃豪,
申请(专利权)人:美商富迪科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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