双门过渡阀腔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双门过渡阀腔，属于太阳能电池制造技术领域。双门过渡阀腔包括阀体、第一密封阀门、第二密封阀门和抽真空设备，阀体包括进口端、出口端和连通进口端及出口端的过渡腔，阀体上设有进气口和抽真空口，进气口设置于阀体的顶部且与过渡腔连通，用于引入保护气体；抽真空口设置于阀体的底部且与过渡腔连通；第一密封阀门设置于阀体，用于封堵进口端；第二密封阀门设置于阀体，用于封堵出口端；抽真空设备与抽真空口连通。本实用新型专利技术不仅可以避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染，还可以调节硅片的温度以满足工艺要求。要求。要求。

【技术实现步骤摘要】
双门过渡阀腔


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种双门过渡阀腔。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或 HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，其结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
[0003]随着工艺的不断改进和对设备的要求越来越高，在两种工艺腔体之间前后两种腔体由于所作的工艺不同，在将前工艺腔中载板上的硅片搬运至后工艺腔中时，不仅容易导致污染前后两种工艺腔体彼此的气源，而且刚从前工艺腔搬运到后工艺腔的硅片无法符合后工艺腔的温度。
[0004]为此，亟需提供一种双门过渡阀腔以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种双门过渡阀腔，可以避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染，还可以调节硅片的温度以满足工艺要求。
[0006]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0007本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双门过渡阀腔，其特征在于，包括：阀体(1)，包括进口端(11)、出口端(12)和连通所述进口端(11)及所述出口端(12)的过渡腔(13)，所述阀体(1)上设有进气口(2)和抽真空口(3)，所述进气口(2)设置于所述阀体(1)的顶部且与所述过渡腔(13)连通，且用于引入保护气体；所述抽真空口(3)设置于所述阀体(1)的底部且与所述过渡腔(13)连通；第一密封阀门，设置于所述阀体(1)，且用于封堵所述进口端(11)；第二密封阀门，设置于所述阀体(1)，且用于封堵所述出口端(12)；抽真空设备，与所述抽真空口(3)连通。2.根据权利要求1所述的双门过渡阀腔，其特征在于，还包括设置于所述阀体(1)内的弥散管(4)，所述弥散管(4)的一端与所述进气口(2)连通，且所述弥散管(4)上设有与所述过渡腔(13)连通的气孔。3.根据权利要求2所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述进气口(2)设置有多个，所述弥散管(4)设置有多个，且多个所述进气口(2)与多个所述弥散管(4)一一对应设置。4.根据权利要求3所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述弥散管(4)沿直线向下延伸设置；或所述弥散管(4)螺旋向下延伸设置。5.根据权利要求3所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述气孔均布在所述弥散管(4)的侧壁上。6.根据权利要求1所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述阀体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：