双门过渡阀腔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双门过渡阀腔，属于太阳能电池制造技术领域。双门过渡阀腔包括阀体、第一密封阀门、第二密封阀门和抽真空设备，阀体包括进口端、出口端和连通进口端及出口端的过渡腔，阀体上设有进气口和抽真空口，进气口设置于阀体的顶部且与过渡腔连通，用于引入保护气体；抽真空口设置于阀体的底部且与过渡腔连通；第一密封阀门设置于阀体，用于封堵进口端；第二密封阀门设置于阀体，用于封堵出口端；抽真空设备与抽真空口连通。本实用新型专利技术不仅可以避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染，还可以调节硅片的温度以满足工艺要求。要求。要求。

【技术实现步骤摘要】
双门过渡阀腔


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种双门过渡阀腔。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或 HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，其结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
[0003]随着工艺的不断改进和对设备的要求越来越高，在两种工艺腔体之间前后两种腔体由于所作的工艺不同，在将前工艺腔中载板上的硅片搬运至后工艺腔中时，不仅容易导致污染前后两种工艺腔体彼此的气源，而且刚从前工艺腔搬运到后工艺腔的硅片无法符合后工艺腔的温度。
[0004]为此，亟需提供一种双门过渡阀腔以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种双门过渡阀腔，可以避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染，还可以调节硅片的温度以满足工艺要求。
[0006]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0007]双门过渡阀腔，包括：
[0008]阀体，包括进口端、出口端和连通所述进口端及所述出口端的过渡腔，所述阀体上设有进气口和抽真空口，所述进气口设置于所述阀体的顶部且与所述过渡腔连通，且用于引入保护气体；所述抽真空口设置于所述阀体的底部且与所述过渡腔连通；
[0009]第一密封阀门，设置于所述阀体，且用于封堵所述进口端；
[0010]第二密封阀门，设置于所述阀体，且用于封堵所述出口端；
[0011]抽真空设备，与所述抽真空口连通。
[0012]作为双门过渡阀腔的可选方案，还包括设置于所述阀体内的弥散管，所述弥散管的一端与所述进气口连通，且所述弥散管上设有与所述过渡腔连通的气孔。
[0013]作为双门过渡阀腔的可选方案，所述进气口设置有多个，所述弥散管设置有多个，且多个所述进气口与多个所述弥散管一一对应设置。
[0014]作为双门过渡阀腔的可选方案，所述弥散管沿直线向下延伸设置；或所述弥散管螺旋向下延伸设置。
[0015]作为双门过渡阀腔的可选方案，所述气孔均布在所述弥散管的侧壁上。
[0016]作为双门过渡阀腔的可选方案，所述阀体的顶部设置有真空度检测孔，所述真空度检测孔与所述过渡腔连通，且真空度检测器安装于所述真空度检测孔上。
[0017]作为双门过渡阀腔的可选方案，所述阀体的侧壁贯通开设有维修口，所述维修口处设置有维修门，所述维修门能够相对所述阀体打开或闭合。
[0018]作为双门过渡阀腔的可选方案，所述维修门上设置有视镜窗。
[0019]作为双门过渡阀腔的可选方案，还包括设置于所述阀体顶部的第一阀门驱动机构和第二阀门驱动机构，所述第一阀门驱动机构与所述第一密封阀门的第一转动轴传动连接以驱动所述第一密封阀门开启或者关闭，所述第二阀门驱动机构与所述第二密封阀门的第二转动轴传动连接以驱动所述第二密封阀门开启或者关闭。
[0020]作为双门过渡阀腔的可选方案，还包括设置于所述阀体底部的第三阀门驱动机构和第四阀门驱动机构，所述第三阀门驱动机构与所述第一密封阀门的第一转动轴传动连接以驱动所述第一密封阀门开启或者关闭，所述第四阀门驱动机构均与所述第二密封阀门的第二转动轴传动连接以驱动所述第二密封阀门开启或者关闭。
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0022]本技术所提供的双门过渡阀腔，在阀体上相对设置有进口端和出口端，进口端用于与前工艺腔连通，出口端用于与后工艺腔连通，在进口端和出口端分别转动设置有第一密封阀门和第二密封阀门，阀体的顶部和底部分别设置进气口和抽真空口，抽真空设备使阀体的过渡腔内始终满足一定的真空度；在实际使用中，硅片经过前工艺腔处理完毕后，打开第一密封阀门使硅片进入过渡腔，关闭第一密封阀门，将氮气、氩气等惰性气体通过进气口进入过渡腔，由于抽真空设备持续工作，将过渡腔内的气体从抽真空口排出，然后打开第二密封阀门，将硅片搬运到后工艺腔，避免硅片在前后工艺腔搬运的过程中发生气源污染；由于氮气在过渡腔内吹过硅片，会带走硅片的部分热量，可以调节硅片的温度以满足后工艺腔对硅片温度的要求。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术实施例中双门过渡阀腔的装配示意图(未示出第一密封阀门和第二密封阀门)；
[0025]图2为本技术实施例中双门过渡阀腔的俯视图；
[0026]图3为本技术实施例中双门过渡阀腔的仰视图；
[0027]图4为本技术实施例中双门过渡阀腔的剖视图。
[0028]附图标记：
[0029]1、阀体；2、进气口；3、抽真空口；4、弥散管；5、真空度检测孔；6、真空度检测器；7、维修门；8、视镜窗；9、第一转动轴；10、第二转动轴；11、进口端；12、出口端；13、过渡腔；14、气缸；15、连杆；16、摆动杆；
[0030]100、第一阀门驱动机构；200、第二阀门驱动机构；300、第三阀门驱动机构；400、第四阀门驱动机构。
具体实施方式
[0031]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0032]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，除非另有说明，“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双门过渡阀腔，其特征在于，包括：阀体(1)，包括进口端(11)、出口端(12)和连通所述进口端(11)及所述出口端(12)的过渡腔(13)，所述阀体(1)上设有进气口(2)和抽真空口(3)，所述进气口(2)设置于所述阀体(1)的顶部且与所述过渡腔(13)连通，且用于引入保护气体；所述抽真空口(3)设置于所述阀体(1)的底部且与所述过渡腔(13)连通；第一密封阀门，设置于所述阀体(1)，且用于封堵所述进口端(11)；第二密封阀门，设置于所述阀体(1)，且用于封堵所述出口端(12)；抽真空设备，与所述抽真空口(3)连通。2.根据权利要求1所述的双门过渡阀腔，其特征在于，还包括设置于所述阀体(1)内的弥散管(4)，所述弥散管(4)的一端与所述进气口(2)连通，且所述弥散管(4)上设有与所述过渡腔(13)连通的气孔。3.根据权利要求2所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述进气口(2)设置有多个，所述弥散管(4)设置有多个，且多个所述进气口(2)与多个所述弥散管(4)一一对应设置。4.根据权利要求3所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述弥散管(4)沿直线向下延伸设置；或所述弥散管(4)螺旋向下延伸设置。5.根据权利要求3所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述气孔均布在所述弥散管(4)的侧壁上。6.根据权利要求1所述的双门过渡阀腔，其特征在于，所述阀体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：