一种用于探针台的卡盘调节结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘和夹持件，所述圆形卡盘的一侧设置有夹持件，所述圆形卡盘的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有液压调节结构，所述液压调节结构一端设置有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有位移件，所述位移件的一侧固定连接有调节块，所述调节块的另一侧与夹持件固定连接。本实用新型专利技术通过夹持件、安装槽、液压调节结构、调节杆和调节块的设置，使用液压调节结构控制位移件移动，位移件通过调节块带动夹持件移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率，通过弧形夹板的设置，使夹持件与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹的设置，能够提高夹持效果。持效果。持效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于探针台的卡盘调节结构


[0001]本技术涉及加工设备
，具体为一种用于探针台的卡盘调节结构。

技术介绍

[0002]目前在半导体测试领域，经常会使用探针台，对晶圆或者芯片进行低温下的测试，而对晶圆或者芯片进行检测的时候，需要用到卡盘对晶圆或者芯片进行夹持和固定，的卡盘在固定工件时使用不便，夹持效果差，影响工作效率，因此，需要一种用于探针台的卡盘调节结构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于探针台的卡盘调节结构以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘和夹持件，所述圆形卡盘的一侧设置有夹持件，所述圆形卡盘的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有液压调节结构，所述液压调节结构一端设置有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有位移件，所述位移件的一侧固定连接有调节块，所述调节块的另一侧与夹持件固定连接。
[0005]优选的，所述夹持件的数量为三个，三个所述夹持件以圆形卡盘的中心为圆心呈环形阵列。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘(1)和夹持件(2)，其特征在于：所述圆形卡盘(1)的一侧设置有夹持件(2)，所述圆形卡盘(1)的内部开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)的内部设置有液压调节结构(4)，所述液压调节结构(4)一端设置有调节杆(5)，所述调节杆(5)的一端固定连接有位移件(6)，所述位移件(6)的一侧固定连接有调节块(7)，所述调节块(7)的另一侧与夹持件(2)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述夹持件(2)的数量为三个，三个所述夹持件(2)以圆形卡盘(1)的中心为圆心呈环形阵列。3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述圆形卡盘(1)的中心处开设有圆形紧固槽(8)，所述夹持件(2)的靠近圆形紧固槽(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张子平，封桂英，冯炳东，范以栋，
申请(专利权)人：山东创谱光电科技研究院，
类型：新型
国别省市：