【技术实现步骤摘要】
一种激光干涉仪
[0001]本申请涉及测量装置的领域,尤其是涉及一种激光干涉仪。
技术介绍
[0002]激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。自激光干涉仪投入市场,随即受到了相关行业特别是精密零件制造行业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量零件精密尺寸方面用途最为广泛。
[0003]现有的激光干涉仪在使用的过程中激光干涉仪主体通过三脚架进行支撑固定。激光干涉仪主体在通过三脚架支撑固定后,需要对激光干涉仪主体的俯仰角度进行调节,现有的调节方式多是工作人员直接手动掰动激光干涉仪主体进行俯仰角度调节,该种调节方式不方便对调整量进行精准掌控,容易出现调整过度或调整不到位的情况。
技术实现思路
[0004]为了能够精准的对激光干涉仪的俯仰角度进行调节,本申请提供一种激光干涉仪。
[0005]本申请提供的一种激光干涉仪采用如下的技术方案:一种激光干涉仪,包括有干涉仪主体以及 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光干涉仪,包括有干涉仪主体(1)以及位于干涉仪主体(1)下方的三脚支架(2),其特征在于:所述三脚支架(2)与干涉仪主体(1)之间设置有用于调节干涉仪主体(1)俯仰角度的俯仰角度调节机构(3),所述俯仰角度调节机构(3)包括有位于三脚支架(2)顶端的底座(31),所述干涉仪主体(1)的尾部铰接在所述底座(31)的顶端表面,所述底座(31)的顶端表面设置有转动环(32),所述转动环(32)的顶端表面为环形上坡面,所述转动环(32)将干涉仪主体(1)与所述底座(31)之间的铰接处围在内部,所述干涉仪主体(1)的底端与转动环(32)的顶端表面相抵接,所述底座(31)上设置有控制所述转动环(32)进行转动的驱动组件,所述转动环(32)转动时,所述干涉仪主体(1)进行俯仰摆动。2.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪,其特征在于:所述底座(31)的内部设置有中空的空腔(311),所述驱动组件包括竖向设置且转动连接在所述空腔(311)内的转动轴(35),所述转动轴(35)上设置有蜗轮(38),所述驱动组件还包括横向转动连接在所述空腔(311)内的蜗杆(39),所述蜗杆(39)与所述蜗轮(38)相啮合,所述蜗杆(39)的其中一端伸至底座(31)的外侧,所述转动轴(35)的顶端伸出至底座(31)的顶端端面上方,所述转动轴(35)的顶端与所述转动环(32)之间设置有传动机构,所述转动轴(35)进行转动的时候,通过所述传动机构从而带动所述转动轴(35)转动。3.根据权利要求2所述的一种激光干涉仪,其特征在于:所述传动机构包括有固定在转动环(32)内侧的内齿圈(34)、固定在转动轴(35)上的主动齿轮(36)以及位于主动齿轮(36)与内齿圈(34)之间的传动齿轮(37),所述传动齿轮(37)与所述内齿圈(34)以及主动齿轮(36)相啮合。4.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪,其特征在于:所述底座(31)与三脚支架(2)之间设置有XY向调节机构(4),所述XY向调节机构(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张锦峥,
申请(专利权)人:北京航天华世科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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