一种喷涂匀胶机制造技术

本实用新型专利技术提供一种喷涂匀胶机，包括位于机壳内的托台，所述托台的底部固定连接有传动轴，所述托台上设置有靠近外周的夹紧杆，该夹紧杆和托台转动连接且其数量至少为三个，所述托台的外周壁径向弹性滑动连接有滑块，该滑块的一侧固定连接有牵引轴。在本实用新型专利技术中，在托台上设置至少三个周向分布的夹紧杆，夹紧杆和托台转动连接，在托台的外周设置滑块，托盘旋转时滑块向外滑动，此时滑块滑动带动夹紧杆夹紧托台上的晶圆片；托台停止旋转时，晶圆片自动释放，也就是夹紧杆不在夹紧晶圆片，此种设置相对现有技术具有自动夹紧和释放的优点，方便晶圆片的取放。方便晶圆片的取放。方便晶圆片的取放。

【技术实现步骤摘要】
一种喷涂匀胶机


[0001]本技术涉及匀胶机
，具体为一种喷涂匀胶机。

技术介绍

[0002]匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，目前匀胶机上设置旋转托台，托台用来支撑基片，托台上安装弹性伸缩夹紧杆，弹性夹紧杆用来夹紧基片，托台高速旋转时，匀胶机上部的喷涂管向基片喷涂，托台带动基片高速旋转来实现匀胶，其中由于弹性伸缩杆常态下处于夹紧工位，由此当需要取放基片时，都需要操作弹性伸缩杆收缩才能方便基片的取放，基片的取放效率低下；而且弹性伸缩杆夹紧基片后，由于缺少对中结构，基片的中心存在偏离托台旋转轴线的隐患，进而高速旋转的基片上的胶液会出现偏移的问题，导致匀胶不彻底。
[0003]为此，本技术提供一种喷涂匀胶机。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种喷涂匀胶机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术在托台上设置夹紧杆，滑块和拉簧，其中夹紧杆和托台转动连接，托台旋转时利用离心力来驱动夹紧杆夹紧晶圆片。
[0005]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种喷涂匀胶机，包括位于机壳内的托台，所述托台的底部固定连接有传动轴，所述托台上设置有靠近外周的夹紧杆，该夹紧杆和托台转动连接且其数量至少为三个，所述托台的外周壁径向弹性滑动连接有滑块，该滑块的一侧固定连接有牵引轴，当滑块向外滑动时，在牵引轴的作用下，夹紧杆转动。
[0006]进一步的，所述托台的上端开设有靠近外周边的连接孔，所述夹紧杆的下端面固定设置有贯穿连接孔且为转动连接的连接轴。
[0007]进一步的，所述托台的上端面开设有靠近位于连接孔一侧且和滑块滑动连接的滑道，所述滑道内设置有一端和滑块一端连接的拉簧，所述夹紧杆的一侧开设有和牵引轴间隙配合的腰型孔。
[0008]进一步的，所述托台的下端面转动连接有下齿圈，所述连接轴的底部固定连接有和下齿圈啮合的传动齿轮。
[0009]进一步的，所述夹紧杆的夹紧端固定设置有上限位板。
[0010]进一步的，所述滑块上远离托台的一端固定连接有配重球。
[0011]本技术的有益效果：本技术一种喷涂匀胶机，包含托台；传动轴；滑道；夹紧杆；连接轴；传动齿轮；腰型孔；上限位板；滑块；牵引轴；拉簧；下齿圈；配重球。
[0012]1、在托台上设置至少三个周向分布的夹紧杆，夹紧杆和托台转动连接，在托台的外周设置滑块，托盘旋转时滑块向外滑动，此时滑块滑动带动夹紧杆夹紧托台上的晶圆片；
托台停止旋转时，晶圆片自动释放，也就是夹紧杆不在夹紧晶圆片，此种设置相对现有技术具有自动夹紧和释放的优点，方便晶圆片的取放。
[0013]2、在托台的上端面设置至少三个夹紧杆，其中滑块隐藏在托台上端面开设的滑道内，滑块的上端面固定设置拨动夹紧杆摆动的牵引轴，其中托台表面仅有夹紧杆，此种夹紧结构相对现有技术中在托台表面安装体积较大的弹性伸缩杆夹紧结构更加简单，成本低。
[0014]3、在托台的下端面转动连接下齿圈，夹紧杆的下端面固定连接贯穿托台的连接轴，连接轴的底部固定连接和下齿圈啮合的传动齿轮，由此至少三个夹紧杆会同步转动，使得晶圆片居中定位，相对现有的采用若干个弹性伸缩杆对晶圆片四周的夹紧方式，晶圆片的匀胶更加均匀。
附图说明
[0015]图1为本技术一种喷涂匀胶机托台、夹紧杆、滑块和拉簧配合的结构示意图；
[0016]图2为本技术一种喷涂匀胶机中传动齿轮和下齿圈配合的示意图；
[0017]图中：1、托台；11、传动轴；12、滑道；2、夹紧杆；21、连接轴；211、传动齿轮；23、腰型孔；24、上限位板；3、滑块；31、牵引轴；4、拉簧；5、下齿圈；6、配重球。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]请参阅图1和图2，本技术提供一种技术方案：一种喷涂匀胶机，包括位于机壳内的托台1，托台1上用来放置待匀胶的晶圆片等，托台1高速旋转带动晶圆片旋转，托台1上的喷胶管向晶圆上喷涂后，托台1高速旋转进行匀胶，托台1的底部固定连接有传动轴11，传动轴11和外部的驱动电机连接，在本技术方案中，托台1上设置有靠近外周的夹紧杆2，该夹紧杆2和托台1转动连接且其数量至少为三个，三个夹紧杆2启到夹紧晶圆片的作用，此夹紧杆2夹紧的原理和现有的弹簧夹紧的方式不同，本技术方案中时利用离心力来实现对晶圆片的夹紧，其优点是取放晶圆片方便，托台1的外周壁径向弹性滑动连接有滑块3，进一步的滑块3上远离托台1的一端固定连接有配重球6，该滑块3的一侧固定连接有牵引轴31，当滑块3向外滑动时，在牵引轴31的作用下，夹紧杆2转动，也就是说托台1高速旋转时，滑块3在离心力的作用下向外滑动，进而带动夹紧杆2转动，其夹紧端挤压晶圆片的外周壁，其中夹紧杆2的夹紧端固定设置有上限位板24，上限位板24防止晶圆上下跳动时脱离夹紧杆2。
[0020]本实施例，托台1的上端开设有靠近外周边的连接孔，夹紧杆2的下端面固定设置有贯穿连接孔且为转动连接的连接轴21，进一步的托台1的上端面开设有靠近位于连接孔一侧且和滑块3滑动连接的滑道12，滑道12内设置有一端和滑块3一端连接的拉簧4，夹紧杆2的一侧开设有和牵引轴31间隙配合的腰型孔23，拉簧4起到将滑块3向托台1心部拉动的作用，滑块3隐藏在滑道2内，夹紧杆2位于托台1的表面，整体结构简单。
[0021]本实施例，托台1的下端面转动连接有下齿圈5，具体的是可以在托台1的下端面焊接一个定位套，下齿圈5通过轴承和定位套连接，连接轴21的底部固定连接有和下齿圈5啮合的传动齿轮211，此种设置使得每个夹紧杆2转动的幅度相同，具有避免晶圆的中心偏离托台1旋转中线的优点，使得匀胶均匀。
[0022]在使用该均胶设备时，将晶圆片直接放置在托台1的中部，然后通过外壳内顶部的喷管向晶圆的中频涂胶，然后控制托台1旋转，此时由于离心力的作用配重球6带动滑块3向外滑动，牵引轴31向外运动并且同时利用腰型孔23带动夹紧杆2转动，此时至少三个夹紧杆2的夹紧端同时接触并且挤压晶圆的外周壁，此时起到夹紧固定晶圆片的作用，而且转速越高夹紧力越大；均胶完成后，托台1停止旋转，拉簧4复位，夹紧杆2不再夹紧晶圆片；由此整个过程晶圆取放方便。
[0023]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷涂匀胶机，包括位于机壳内的托台(1)，所述托台(1)的底部固定连接有传动轴(11)，其特征在于，所述托台(1)上设置有靠近外周的夹紧杆(2)，该夹紧杆(2)和托台(1)转动连接且其数量至少为三个，所述托台(1)的外周壁径向弹性滑动连接有滑块(3)，该滑块(3)的一侧固定连接有牵引轴(31)，当滑块(3)向外滑动时，在牵引轴(31)的作用下，夹紧杆(2)转动。2.根据权利要求1所述的一种喷涂匀胶机，其特征在于：所述托台(1)的上端开设有靠近外周边的连接孔，所述夹紧杆(2)的下端面固定设置有贯穿连接孔且为转动连接的连接轴(21)。3.根据权利要求2所述的一种喷涂匀胶机，其特征在于：所述托台(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪其，陈葵，熊安宁，闫德常，
申请(专利权)人：武汉普胜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：