制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统，包含:一挤出机，以挤出一熔体；一冷却系统，设置于所述挤出机的一侧，使所述熔体冷却，产生一铸片；一加热烘箱，设置于所述冷却系统的一侧，所述铸片经所述加热烘箱进行加热；及一拉伸装置，设置于所述加热烘箱的一侧，所述拉伸装置对加热后的所述铸片进行一拉伸程序，并进行退火、冷却后萃取程序，以形成一滤膜。以浸于冷却槽中的辊体作为冷却系统，并接续加热、拉伸等程序，以生成孔径小，且，孔径集中度高的薄膜，并解决常规的冷凝辊系统冷却速度慢，以至于薄膜具有孔径大且分布不均匀的现象。径大且分布不均匀的现象。径大且分布不均匀的现象。

【技术实现步骤摘要】
制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统


[0001]本技术涉及一种生产设备，尤指一种制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统。

技术介绍

[0002]为了进一步减少晶圆缺陷，晶圆上的点胶需要采用额外的过滤步骤，需要提供一种孔径小且分布均匀的滤膜来提高材料的洁净度。
[0003]为此，本专利技术提供一种制备孔径小，孔径集中度高的滤膜生产设备及其冷却系统，以冷却系统改善常规的辊冷程序导致冷却速度过慢的问题，并大幅降低薄膜孔径，同时，提升其孔径集中度，即改善现有技术中孔径大且分布不均匀现象。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于，提供一种滤膜生产设备，以浸于冷却槽中的辊体作为冷却系统，并结合挤出机将熔体挤出，且，接续加热、拉伸等程序，解决常规的冷凝辊系统冷却速度慢的问题，而导致薄膜孔径大且分布不均匀的现象。
[0005]本技术的另一目的在于，提供一种冷却系统，以冷凝辊、输送辊及靠辊构成辊体，使得熔体可通过辊体被输送，同时以冷却槽进行冷却，以控制薄膜孔径。
[0006]为达成上述的目的，本技术提供一种滤膜生产设备，其特征在于，包含:
[0007]一挤出机，以挤出一熔体；
[0008]一冷却系统，设置于所述挤出机的一侧，使所述熔体冷却，产生一铸片；
[0009]一加热烘箱，设置于所述冷却系统的一侧，所述铸片经所述加热烘箱进行加热；及
[0010]一拉伸装置，设置于所述加热烘箱的一侧，所述拉伸装置对加热后的所述铸片进行一拉伸程序，并进行退火、冷却后萃取程序，以形成一滤膜。
[0011]更佳者，所述拉伸程序包含一第一拉伸程序及一第二拉伸程序，其中，所述第一拉伸程序为双向拉伸，且，所述第二拉伸程序为单向拉伸。
[0012]更佳者，所述第一拉伸程序后的冷却温度为30
‑
70℃，且，冷却时间为30
‑
40分钟。
[0013]更佳者，所述的冷却系统包含一辊体及一冷却槽，所述辊体的一部份设置于所述冷却槽内，所述熔体经所述辊体输送，所述冷却槽盛装一冷却液，使所述熔体经所述冷却液进行冷却程序。
[0014]更佳者，所述辊体包含一冷凝辊，所述冷凝辊完全浸于所述冷却液中。
[0015]更佳者，所述辊体包含一输送辊，所述输送辊设置于所述冷凝辊的一侧，使所述熔体经所述输送辊离开所述冷却系统。
[0016]更佳者，所述辊体包含一靠辊，所述靠辊设置于所述冷凝辊的另一侧，使所述熔体经所述靠辊与所述冷凝辊之间时，被辗压定型。
[0017]更佳者，所述冷却液的温度为
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25℃
‑
10℃。
[0018]更佳者，所述滤膜经一退火程序后冷却，其冷却温度为30
‑
70℃，冷却时间为 30
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40分钟。
[0019]为达成上述的另一目的，本技术提供一种冷却系统，其特征在于，包含:
[0020]一辊体，包含一冷凝辊、一输送辊及一靠辊，所述冷凝辊包含一第一辊件、一第二辊件及一第三辊件，所述第二辊件设置于所述第一辊件与所述第三辊件之间，所述输送辊设置于所述冷凝辊的一侧，所述靠辊设置于所述冷凝辊的另一侧，一熔体通过所述靠辊与所述冷凝辊之间，并经所述冷凝辊传输至所述输送辊；及
[0021]一冷却槽，设置于所述辊体的一侧，使所述辊体的一部份设置于所述冷却槽内，所述冷却槽盛装一冷却液，所述熔体经所述辊体输送，使所述熔体经所述冷却液进行冷却程序。
[0022]本技术之有益功效在于解决常规的冷凝辊系统冷却速度慢的问题，及现有技术中孔径大且分布不均匀现象。
附图说明
[0023]图1A为本技术一实施例的设备示意图；
[0024]图1B为本技术一实施例的设备示意图；及
[0025]图2为本技术一实施例的系统示意图。
具体实施方式
[0026]为让本技术上述及/或其他目的、功效、特征更明显易懂，下文特举较佳实施方式，作详细说明于下：
[0027]请参阅图1A
‑
1B，其为本技术之一实施例之设备示意图。如图所示，本技术的一实施例中，滤膜生产设备E包含挤出机1、冷却系统2、加热烘箱3、拉伸装置4及输送辊5，其连接关系及作动方式说明如下:
[0028]挤出机1是将物料由料斗加入挤出机内，物于螺杆旋转的挤压推动作用下，通过机筒内壁与螺杆表面的摩擦作用向前输送与压实，同时，通过机筒外部的加热装置和摩擦预热，于高温、高压条件下熔融塑化，以产生熔体，此时，连续转动的螺杆将熔体推入机头模具，并从机头模具挤出熔体。
[0029]冷却系统2设置于挤出机1的一侧，于一实施例中，冷却系统2包含辊体21及冷却槽22，辊体21的一部份设置于冷却槽22内，熔体经辊体21输送，冷却槽22盛装冷却液，使熔体经冷却液进行冷却程序，使熔体冷却而产生铸片，其中，冷却液的温度为
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25℃
ꢀ‑
10℃。
[0030]于一实施例中，将冷却液可为预先冰冻好的冰盐水混合物，加热适量的盐可以降低冰水的凝固点，从而使冰盐水温度最低可达到
‑
25℃，亦可采用其他冷却液，仅需要符合低温的效果即可。
[0031]于一实施例中，辊体21包含冷凝辊211、输送辊212及靠辊213，冷凝辊211完全浸于冷却液中，输送辊212设置于冷凝辊211的一侧，使熔体经输送辊212离开冷却系统2，而靠辊213是设置于冷凝辊211的一侧，使熔体经冷凝辊211与靠辊213之间时，被辗压定型。
[0032]加热烘箱3设置于拉伸装置4的一侧，铸片经加热烘箱3进行加热，以软化铸片进行拉伸程序。
[0033]拉伸装置4设置于所述加热烘箱的一侧，拉伸装置4对加热后的铸片进行拉伸程
序，并进行退火、冷却后萃取程序，以形成滤膜，于一实施例中，拉伸程序包含第一拉伸程序及第二拉伸程序，且，第一拉伸程序为双向拉伸，以及第二拉伸程序为单向拉伸，第一拉伸程序后的冷却温度为30
‑
70℃，且，冷却时间为30
‑
40分钟，但不在此限。
[0034]于一实施例中，滤膜经退火程序后冷却，其冷却温度为30
‑
70℃，冷却时间为 30
‑
40分钟，但不在此限。
[0035]更进一步的，为实现第二拉伸程序所述的单向拉伸，更包含输送辊5，而单向拉伸是通过调整输送辊之间的速比，实现MD方向单向拉伸，如图1B，且，输送辊的数量并不被限制，于一实施例中，以3个输送辊为例，其中，速比为1
‑
3m/min，但不在此限。
[0036]请参阅图2，其为本技术之一实施例之系统示意图。如图所示，冷却系统S包含辊体S1及冷却槽S2，其连接关系及作动方式说明如下:
[0037]辊体S1包含靠辊S11、冷凝辊S12及输送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤膜生产设备，其特征在于，包含:一挤出机，以挤出一熔体；一冷却系统，设置于所述挤出机的一侧，使所述熔体冷却，产生一铸片；一加热烘箱，设置于所述冷却系统的一侧，所述铸片经所述加热烘箱进行加热；及一拉伸装置，设置于所述加热烘箱的一侧，所述拉伸装置对加热后的所述铸片进行一拉伸程序，并进行退火、冷却后萃取程序，以形成一滤膜。2.根据权利要求1的所述滤膜生产设备，其特征在于，所述拉伸程序包含一第一拉伸程序及一第二拉伸程序，其中，所述第一拉伸程序为双向拉伸，且，所述第二拉伸程序为单向拉伸。3.根据权利要求1的所述滤膜生产设备，其特征在于，所述的冷却系统包含一辊体及一冷却槽，所述辊体的一部份设置于所述冷却槽内，所述熔体经所述辊体输送，所述冷却槽盛装一冷却液，使所述熔体经所述冷却液进行冷却程序。4.根据权利要求3的所述滤膜生产设备，其特征在于，所述辊体包含一冷凝辊，所述冷凝辊完全浸于所述冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄志，刘连静，熊磊，石广钦，舒雨芳，刘倩倩，蔡裕宏，程跃，
申请(专利权)人：上海恩捷新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：