一种超滑片转移工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超滑片转移工装，应用于超滑结构技术领域，基板包括基底，基底朝向转移部件一侧表面设置有用于承载超滑片的放置区；转移部件朝向基板一侧表面设置有第一凸台，第一凸台朝向基板一侧表面的端面为待转移面，待转移面与放置区相对应；第一凸台表面设置有柔性粘结剂层。通过在转移部件表面设置第一凸台，再在第一凸台表面设置柔性粘结剂层，使得第一凸台表面的柔性粘结剂层突出，由于待转移面与放置区相对应，通过突出的柔性粘结剂层键合位于放置区的超滑片，可以有效避免柔性粘结剂沾污问题。柔性粘结剂沾污问题。柔性粘结剂沾污问题。

【技术实现步骤摘要】
一种超滑片转移工装


[0001]本技术涉及超滑结构
，特别是涉及一种超滑片转移工装。

技术介绍

[0002]结构超滑是解决摩擦磨损问题的理想方案之一，结构超滑是指两个原子级光滑且非公度接触的范德华固体表面，如石墨烯、二硫化钼等二维材料表面之间摩擦、磨损几乎为零的现象。
[0003]目前超滑片的制作方式是通过加工成目标大小的超滑片后，通过施加一定外力使得超滑片内部解离面分离后形成超滑界面，已经脱离本底的HOPG(highly oriented pyrolytic graphite、高定向热解石墨)衬底的上层结构就形成可以独立操控可赋予功能化的超滑超滑片元件。受制于目前高定向热解石墨晶粒大小的限制，超滑片能够实现超滑的尺寸普遍在10μm以内，当超滑片面积扩大到10μm以上时，基于现有材料和制备技术的限制，超滑片的结构超滑就会发生失效。通过直接制备大尺度的超滑片难以实现宏观尺度的结构超滑，一种比较可行的方法是将微米尺度的结构超滑石墨片排列组合，形成大尺度的结构，从而实现宏观尺度的结构超滑结构。
[0004]上述方式被称为超滑片组装，实现组装的一个必要条件是键和过程中连接层与超滑片的接触。当硅片表面平整度较大时，石墨岛阵列中的部分石墨岛会位于硅片较低的位置，键和过程中连接层无法与全部的石墨岛进行接触，也就无法实现全部石墨岛的同步转移，更加无法形成宏观尺度的结构超滑结构。目前没有合适的设备将硅片平整度加工到极小，且平整度较小的硅片也会因为后续切割工艺导致边缘翘起影响键合连接，即使加工到硅片平整度极高，且没有边缘翘曲，其加工成本也较为高昂。
[0005]因此现有技术中会采用通过柔性粘接材料来辅助进行粘接，柔性粘接材料具有一定的柔性，能够包容一定程度上的高度不均一的问题，从而克服对硅片平整度和石墨岛高度均一性的要求。但是，采用柔性粘接剂进行粘接时，由于粘接剂具有一定的厚度和流动性，当基底和转移的基板均为平面时，其可能会粘接到基底上，从而导致基底沾污的问题。所以如何提供一种可以避免柔性粘结剂沾污问题的超滑片转移工装是本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是提供一种超滑片转移工装，可以避免柔性粘结剂沾污。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供一种超滑片转移工装，包括相对设置的基板和转移部件；
[0008]所述基板包括基底，所述基底朝向所述转移部件一侧表面设置有用于承载超滑片的放置区；
[0009]所述转移部件朝向所述基板一侧表面设置有第一凸台，所述第一凸台朝向所述基板一侧表面的端面为待转移面，所述待转移面与所述放置区相对应；所述第一凸台表面设
置有柔性粘结剂层。
[0010]可选的，所述转移部件朝向所述基板一侧表面中，除所述第一凸台之外的表面均为非转移面，所述非转移面上设有柔性粘接剂层，位于所述待转移面的柔性粘结剂层突出位于所述非转移面的柔性粘结剂层。
[0011]可选的，所述待转移面设置有增强剂层，位于所述待转移面上的所述柔性粘结剂层覆盖所述增强剂层。
[0012]可选的，所述增强剂层为金层，所述柔性粘结剂层为PDMS层。
[0013]可选的，所述基底朝向所述转移部件一侧表面设置有第二凸台，所述第二凸台朝向所述转移部件一侧端面为所述放置区。
[0014]可选的，所述基底朝向所述转移部件一侧表面设置有多个所述第二凸台，所述第二凸台与所述第一凸台一一对应。
[0015]可选的，所述第二凸台朝向所述转移部件一侧端面的面积与预设超滑片阵列的占用面积相对应。
[0016]可选的，所述第一凸台高度的取值范围为10μm至20μm，包括端点值；所述第二凸台高度的取值范围为10μm至20μm，包括端点值。
[0017]可选的，所述第二凸台为硅凸台，所述基底为硅基底。
[0018]可选的，所述转移部件设置有第一对准标记，所述基板设置有与所述第一对准标记相对应的第二对准标记。
[0019]本技术所提供的一种超滑片转移工装，包括相对设置的基板和转移部件；基板包括基底，基底朝向转移部件一侧表面设置有用于承载超滑片的放置区；转移部件朝向基板一侧表面设置有第一凸台，第一凸台朝向基板一侧表面的端面为待转移面，待转移面与放置区相对应；第一凸台表面设置有柔性粘结剂层。
[0020]通过在转移部件表面设置第一凸台，再在第一凸台表面设置柔性粘结剂层，使得第一凸台表面的柔性粘结剂层突出，由于待转移面与放置区相对应，通过突出的柔性粘结剂层键合位于放置区的超滑片，可以有效避免柔性粘结剂沾污问题。
附图说明
[0021]为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例所提供的一种超滑片转移工装的结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例所提供的一种具体的超滑片转移工装的结构示意图。
[0024]图中：1.基底、2.转移部件、3.第一凸台、4.超滑片、5.柔性粘结剂层、6.增强剂层、7.第二凸台。
具体实施方式
[0025]本技术的核心是提供一种超滑片转移工装。在现有技术中，会采用通过柔性粘接材料来辅助进行粘接，柔性粘接材料具有一定的柔性，能够包容一定程度上的高度不
均一的问题，从而克服对硅片平整度和石墨岛高度均一性的要求。但是，采用柔性粘接剂进行粘接时，由于粘接剂具有一定的厚度和流动性，当基底和转移的基板均为平面时，其可能会粘接到基底上，从而导致基底沾污的问题。
[0026]而本技术所提供的一种超滑片转移工装，包括相对设置的基板和转移部件；基板包括基底，基底朝向转移部件一侧表面设置有用于承载超滑片的放置区；转移部件朝向基板一侧表面设置有第一凸台，第一凸台朝向基板一侧表面的端面为待转移面，待转移面与放置区相对应；第一凸台表面设置有柔性粘结剂层。
[0027]通过在转移部件表面设置第一凸台，再在第一凸台表面设置柔性粘结剂层，使得第一凸台表面的柔性粘结剂层突出，由于待转移面与放置区相对应，通过突出的柔性粘结剂层键合位于放置区的超滑片，可以有效避免柔性粘结剂沾污问题。
[0028]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]请参考图1，图1为本技术实施例所提供的一种超滑片转移工装的结构示意图。
[0030]参见图1，在本技术实施例中，超滑片转移工装包括相对设置的基板和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超滑片转移工装，其特征在于，包括相对设置的基板和转移部件；所述基板包括基底，所述基底朝向所述转移部件一侧表面设置有用于承载超滑片的放置区；所述转移部件朝向所述基板一侧表面设置有第一凸台，所述第一凸台朝向所述基板一侧表面的端面为待转移面，所述待转移面与所述放置区相对应；所述第一凸台表面设置有柔性粘结剂层。2.根据权利要求1所述的超滑片转移工装，其特征在于，所述转移部件朝向所述基板一侧表面中，除所述第一凸台之外的表面均为非转移面，所述非转移面上设有柔性粘接剂层，位于所述待转移面的柔性粘结剂层突出位于所述非转移面的柔性粘结剂层。3.根据权利要求1所述的超滑片转移工装，其特征在于，所述待转移面设置有增强剂层，位于所述待转移面上的所述柔性粘结剂层覆盖所述增强剂层。4.根据权利要求3所述的超滑片转移工装，其特征在于，所述增强剂层为金层，所述柔性粘结剂层为PDMS层。5.根据权利要求1至4任一项权利要求所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉城，张艺泽，聂锦辉，郑泉水，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，
类型：新型
国别省市：