一种残渣刮料机制造技术

技术编号:36655179 阅读:14 留言:0更新日期:2023-02-18 13:20
本实用新型专利技术公开了一种残渣刮料机,包括机架,机架上设有用于固定料座的夹紧组件、用于清理料座待清理面上残渣的刮刀组件以及驱动刮刀组件沿料座长边方向往复运动的驱动组件。本实用新型专利技术中驱动组件驱动刮刀组件将残渣刮下,刮除效率高。刮除效率高。刮除效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种残渣刮料机


[0001]本技术涉及晶片生产领域,尤其涉及一种残渣刮料机。

技术介绍

[0002]近年来,中国单晶硅产量明显稳步增长,增长的原因是一方面来自国际上对低档和廉价硅材料需求的增加。另一方面是近年来中国装备制造发展迅速,各类信息家电和通信产品需求旺盛,因此半导体器件和硅材料的市场需求量都很大。
[0003]在硅片生产工艺中,需要将单晶硅棒粘在料座的树脂板上进行线切割,料座与树脂板也是通过胶水粘结,线切割完成后,晶片被剥离,树脂板上会残留甩切废单晶片、废树脂条等残渣,流转至回流线时,避免残渣垫高料座,保障粘板间机器人抓取成功率,需要将树脂板上的残渣清除。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种残渣刮料机。
[0005]本技术的创新点在于驱动组件驱动刮刀组件将残渣刮下,刮除效率高。
[0006]为实现上述技术目的,本技术的技术方案是:
[0007]一种残渣刮料机,其特征在于,包括机架,机架上设有用于固定料座的夹紧组件、用于清理料座待清理面上残渣的刮刀组件以及驱动刮刀组件沿料座长边方向往复运动的驱动组件。
[0008]夹紧组件固定料座,驱动组件驱动刮刀组件运动,刮刀组件刮除料座上的残渣,残渣自动掉落,高效刮除残渣。
[0009]作为优选,机架为长方形的框架,框架上罩有保护刮刀组件、驱动组件、夹紧组件的罩壳,框架下方设有残渣斗,框架包括两条平行布置的长框边以及两条平行布置的短框边。由于料座为长方体结构,所以长方形的框架能有效减小设备的占用空间。
[0010]作为优选,刮刀组件包括布置在两长框边上的两滑轨、布置在滑轨上的气动滑台,两气动滑台之间设有与短框边平行的刮刀,刮刀包括与两气动滑台连接的刮刀连接座以及布置在刮刀连接座平行于短框边两侧面上的刀头。滑轨和气动滑条限制刮刀组件的移动方向,刮刀两面设有刀头,可以实现刮刀往复运动进行刮料。
[0011]作为优选,驱动组件包括平行于短框边布置的两转轴,转轴通过轴承座安装在长框边两端,转轴两端布置有链轮,链轮之间通过环形链条连接,刮刀组件与环形链条固定连接,其中一转轴上悬挂有电机,框架上设有电机过载保护单元。电机驱动主轴,主轴带动链轮转动,链轮带动链条回转,链条带动刮刀组件运动,结构简单,自动化程度高,方便维护。
[0012]作为优选,所述夹紧组件包括布置在框架两长框边和一短框边上的夹紧气缸,以及布置在另一短框边上的限位板,夹紧气缸的活塞杆朝向框架内侧,夹紧气缸的活塞杆上连接有用于卡入料座的L型夹板。用夹紧气缸进行夹紧,夹紧气缸反应迅速,自动化程度高,维护方便。
[0013]作为优选,长框边上的夹紧气缸通过L型支撑板与框架连接,L型支撑板包括位于放置夹紧气缸的横板和与框架连接的竖板。用L型支撑板给驱动组件让位。
[0014]作为优选,电机过载保护单元包括固定在电机上的转板以及固定框架上触发板,转板垂直于转轴布置,触发板上设有一竖直布置的轴杆,轴杆两端布置有限位块,转板上设有一连接块,连接块位于两限位块之间,连接块上设有轴杆穿过的通孔,限位块和连接块之间布置有套设在轴杆上的弹簧,触发板设有两微动开关,转板上设有触发微动开关的限位盘,微动开关与电机电信连接。当电机过载达到预设阈值时,电机会绕转轴进行转动,弹簧被压缩,限位盘和微动开关接触,电机停转;当电机轻微晃动时,弹簧能吸收振动,使电机回复原位, 限位盘与微动开关始终无法接触。
[0015]作为优选,其中一长框边上设有两接近开关,接近开关位于刮刀组件活动的两极限位置处,接近开关与电机电信连接。通过接近开关控制刮刀组件的极限位置。
[0016]本技术的有益效果是:
[0017]1、本技术中驱动组件驱动刮刀组件将残渣刮下,刮除效率高。
[0018]2、本技术中通过电机过载保护单元保护电机,避免刮刀组件受到的阻力过大,造成电机过载。
[0019]3、本技术中通过接近开关控制刮刀组件的极限位置。
附图说明
[0020]图1为本技术的爆炸图。
[0021]图2为残渣刮料机内部的结构示意图。
[0022]图3为刮刀组件和驱动组件的结构示意图。
[0023]图4为机架的结构示意图。
[0024]图5为电机过载保护单元的结构示意图。
具体实施方式
[0025]下面将结合附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0026]实施例1:如图1~5所示,一种残渣刮料机,包括机架1,机架1上设有用于固定料座的夹紧组件2、用于清理料座待清理面上残渣的刮刀组件3以及驱动刮刀组件3沿料座长边方向往复运动的驱动组件4;机架1为长方形的框架,框架1上罩有保护刮刀组件3、驱动组件4、夹紧组件2的罩壳5,框架1下方设有残渣斗6,框架1包括两条平行布置的长框边1.1以及两条平行布置的短框边1.2;刮刀组件3包括布置在两长框边1.1上的两滑轨3.1、布置在滑轨3.1上的气动滑台3.2,两气动滑台3.2之间设有与短框边1.2平行的刮刀3.3,刮刀3.3包括与两气动滑台3.2连接的刮刀连接座3.31以及布置在刮刀连接座3.31平行于短框边两侧面上的刀头3.32;驱动组件4包括平行于短框边1.2布置的两转轴4.1,转轴4.1通过轴承座4.7安装在长框边1.1两端,转轴4.1两端布置有链轮4.2,链轮4.2之间通过环形链条4.3连接,刮刀组件3与环形链条4.3固定连接,其中一转轴4.1上悬挂有电机4.4,框架1上设有电机过载保护单元4.5,电机过载保护单元4.5包括固定在电机4.4上的转板4.51以及固定框架1上触发板4.52,转板4.51垂直于转轴4.1布置,触发板4.52上设有一竖直布置的轴杆4.53,轴杆4.53两端布置有限位块4.54,转板4.51上设有一连接块4.55,连接块4.55位于两
限位块4.54之间,连接块4.55上设有轴杆4.53穿过的通孔4.551,限位块4.54和连接块4.55之间布置有套设在轴杆4.53上的弹簧4.56,触发板4.52设有两微动开关4.57,转板4.51上设有触发微动开关4.57的限位盘4.58,微动开关4.57与电机4.4电信连接;其中一长框边1.1上设有两接近开关4.6,接近开关4.6位于刮刀组件3活动的两极限位置处,接近开关4.6与电机4.4电信连接;夹紧组件2包括布置在框架两长框边1.1和一短框边1.2上的夹紧气缸2.1,以及布置在另一短框边1.2上的限位板2.2,夹紧气缸2.1的活塞杆朝向框架1内侧,夹紧气缸2.1的活塞杆上连接有用于卡入料座的L型夹板2.3,长框边上的夹紧气缸2.1通过L型支撑板2.4与框架1连接,L型支撑板2.4包括位于放置夹紧气缸2.1的横板2.41和与框架1连接的竖板2.42。
[0027]工作时,车间的机械手夹取料座,料座的待清理面朝下放置在,框架1中心,然后夹紧气缸2.1夹紧料座;电机4.4转动,电机4.4驱动转轴4.1转动,主轴本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种残渣刮料机,其特征在于,包括机架,机架上设有用于固定料座的夹紧组件、用于清理料座待清理面上残渣的刮刀组件以及驱动刮刀组件沿料座长边方向往复运动的驱动组件。2.根据权利要求1所述的残渣刮料机,其特征在于,机架为长方形的框架,框架上罩有保护刮刀组件、驱动组件、夹紧组件的罩壳,框架下方设有残渣斗,框架包括两条平行布置的长框边以及两条平行布置的短框边。3.根据权利要求2所述的残渣刮料机,其特征在于,所述刮刀组件包括布置在两长框边上的两滑轨、布置在滑轨上的气动滑台,两气动滑台之间设有与短框边平行的刮刀,刮刀包括与两气动滑台连接的刮刀连接座以及布置在刮刀连接座平行于短框边两侧面上的刀头。4.根据权利要求2所述的残渣刮料机,其特征在于,驱动组件包括平行于短框边布置的两转轴,转轴通过轴承座安装在长框边两端,转轴两端布置有链轮,链轮之间通过环形链条连接,刮刀组件与环形链条固定连接,其中一转轴上悬挂有电机,框架上设有电机过载保护单元。5.根据权利要求2所述的残渣...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐益林武瑞武治军曹政民李瑞鹏王大伟万遥
申请(专利权)人:无锡中环应用材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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