一种三轴直线电机运动平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三轴直线电机运动平台，旨在提供一种结构简单、定位精度高同时具有高平面度的一种三轴直线电机运动平台。本实用新型专利技术包括底座、龙门架、双轴驱动模组以及Z轴驱动模组，所述龙门架和所述双轴驱动模组均设在所述底座上，所述龙门架设置在所述双轴驱动模组的周边，所述Z轴驱动模组包括固定座、导向块、弹簧组件、连接架以及Z轴驱动件，所述固定座设置在所述龙门架上，所述固定座设置有与所述导向块相配合的凹槽，所述Z轴驱动件与所述导向块滑动配合，所述弹簧组件设置在所述固定座的一侧，所述弹簧组件与所述连接架相配合。本实用新型专利技术应用于三轴直线运动平台的技术领域。领域。领域。

【技术实现步骤摘要】
一种三轴直线电机运动平台


[0001]本技术涉及三轴直线运动平台的
,特别涉及一种三轴直线电机运动平台。

技术介绍

[0002]现有的用XYZ三轴进行物料搬运定位，由于整台设备由多个工位组成，需要在不同工位之间对产品进行运动和精密定位的相关操作。XYZ直线电机运动平台的特点是刚性好、负载大、速度快、定位精度高。
[0003]公开号为CN107398740A的一种小型龙门机床结构，其公开了一种包含底座、平台、立柱、横梁，所述平台设置于所述底座上，所述立柱设置于所述平台上，所述横梁设置于所述立柱的顶端并使其与平台所在的水平面平行；其特征在于：所述横梁为三棱柱体，所述横梁的一个面与立柱固定连接，另一个面通过设置于其上的直线轨道与主轴组件滑动连接，该两个面之间的夹角呈45度；所述主轴组件包含一个斜固定面，所述斜固定面上设置滚珠丝杆与所述横梁上的直线轨道连接，该结构稳定性、抗震性较好，但在Z轴方向上使用电机驱动，定位精度较差。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、定位精度高同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三轴直线电机运动平台，其特征在于：它包括底座（1）、龙门架（2）、双轴驱动模组（3）以及Z轴驱动模组（4），所述龙门架（2）和所述双轴驱动模组（3）均设在所述底座（1）上，所述龙门架（2）设置在所述双轴驱动模组（3）的周边，所述Z轴驱动模组（4）包括固定座（41）、导向块（42）、弹簧组件（43）、连接架（44）以及Z轴驱动件（45），所述固定座（41）设置在所述龙门架（2）上，所述固定座（41）设置有与所述导向块（42）相配合的凹槽，所述Z轴驱动件（45）与所述导向块（42）滑动配合，所述弹簧组件（43）设置在所述固定座（41）的一侧，所述弹簧组件（43）与所述连接架（44）相配合。2.根据权利要求1所述的一种三轴直线电机运动平台，其特征在于：所述固定座（41）上设置有位移传感器（46），所述连接架（44）上设置有与所述位移传感器（46）相适配的感应条（47）。3.根据权利要求1所述的一种三轴直线电机运动平台，其特征在于：所述弹簧组件（43）包括两组弹簧固定件（431）、磁性件（432）、磁性弹簧（433）以及弹簧连接块（434）...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐桂平，
申请(专利权)人：长园半导体设备珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：