温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种三轴直线电机运动平台，旨在提供一种结构简单、定位精度高同时具有高平面度的一种三轴直线电机运动平台。本实用新型包括底座、龙门架、双轴驱动模组以及Z轴驱动模组，所述龙门架和所述双轴驱动模组均设在所述底座上，所述龙门架设置在所...
该专利属于长园半导体设备（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长园半导体设备（珠海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。