金属蒸镀机用电子枪保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，尤其涉及金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括安装板和立板；所述安装板和立板相互垂直；所述安装板和立板的中部均具有下沉部，所述安装板位于下沉部设有供电子束通过的通孔；所述安装板和立板的两边均设有安装耳片，所述安装板的安装耳片用以连接坩埚转盘，所述立板的安装耳片与安装板连接。本实用新型专利技术提供的金属蒸镀机用电子枪保护装置采用分体设计，可调性好，可降低金属累积量，拆装便捷，方便对累积的金属进行清理，减少了加工难度，降低了加工成本，可避免保护装置与坩埚转盘接触部位累积金属，杜绝金属附着物掉落引发短路的隐患。着物掉落引发短路的隐患。着物掉落引发短路的隐患。

【技术实现步骤摘要】
金属蒸镀机用电子枪保护装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及金属蒸镀机用电子枪保护装置。

技术介绍

[0002]金属蒸镀机采用真空电子束蒸镀技术，参考申请号为201920305346.0、名称为蒸发台坩埚装置及蒸发台系统的中国技术专利。高真空条件下，蒸发材料置于水冷坩埚中，利用电子束直接加热，使蒸发材料汽化并在衬底上凝结形成薄膜，给灯丝两端加负高压，灯丝引出的自由电子通过聚束电极进行方向汇聚，再通过加速电压使电子流产生加速，再通过磁场产生洛伦兹力使其偏转270度，垂直轰击到蒸发材料上。
[0003]电子枪保护装置一般位于灯丝上方，为一体成型的板材，其主要作用是防止灯丝被污染。现有的保护装置在长时间作业后，边缘处会有金属附着物产生。随着附着物的累积，最终会掉落到灯丝上方，从而导致灯丝短路，必须开腔处理异常。开腔之后片源表面的金属会被空气氧化，需要返工处理，造成人力物力的浪费。

技术实现思路

[0004]为了克服上述现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种避免灯丝短路的金属蒸镀机用电子枪保护装置。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，包括安装板(1)和立板(2)；所述安装板(1)和立板(2)相互垂直；所述安装板(1)和立板(2)的中部均具有下沉部(11)，所述安装板(1)位于下沉部(11)设有供电子束通过的通孔(12)；所述安装板(1)和立板(2)的两边均设有安装耳片(13)，所述安装板(1)的安装耳片(13)用以连接坩埚转盘，所述立板(2)的安装耳片(13)与安装板(1)连接。2.根据权利要求1所述的金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，所述安装板(1)的下沉部(11)的深度范围为15cm～16cm。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：林亮，刘莹，吴泽刚，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：