一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构，所述防护机构包括顶升装置和防护挡板，所述顶升装置安装在电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱体中，顶升装置带动防护挡板实现升降，防护挡板升降时紧贴隔离阀中间的闸板封闭区域内壁；防护挡板运行至上限位时，隔离阀中间的闸板封闭区域空出，隔离阀的闸板能够在隔离阀闸板封闭区域移动并关闭隔离阀；隔离阀开启后，防护挡板运行至下限位时，遮挡隔离阀的闸板封闭区域。本防护机构能有效防止蒸镀材料的溅射和堆积，减少过程对隔离阀的维护成本，并提高了隔离阀的使用寿命。并提高了隔离阀的使用寿命。并提高了隔离阀的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构


[0001]本技术属于电子束蒸发镀膜设备
，具体为涉及一种电子束蒸发镀膜设备高真空隔离阀防护机构。

技术介绍

[0002]电子束蒸镀(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种，是利用电磁场的配合加速电子轰击坩埚内的镀膜材料，将电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发并在基材上沉积形成膜。电子束蒸发镀膜设备在半导体、微电子、声表器件、航空航天、激光器、太阳能、机械、生物医药等领域有着广泛应用。
[0003]随着科学技术的发展和工业上的广泛应用，对电子束蒸发镀膜设备而言，要求其在连续生产并提高生产效率方面，逐步有了更高的要求。
[0004]本申请人针对现有电子束蒸发镀膜设备存在的问题，开发了独立双舱室电子束蒸发镀膜设备，具有独立开启关闭的工件装载舱室和镀膜材料蒸发舱室，工件装载舱室和镀膜材料蒸发舱室之间通过高真空隔离阀连接，所述隔离阀可将工件装载舱室和镀膜材料蒸发舱室之间封闭或连通，高真空隔离阀打开后，工件装载舱室和镀膜材料蒸发舱室连通，为蒸发镀膜的工艺舱室。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构，其特征在于，所述防护机构设于电子束蒸发镀膜设备安装于电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱室和镀膜材料蒸发舱室之间，所述防护机构包括顶升装置和防护挡板，所述顶升装置安装在电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱室中，顶升装置带动防护挡板实现升降，防护挡板升降过程具有上限位和下限位，防护挡板升降时紧贴隔离阀中间的闸板封闭区域内壁；防护挡板运行至上限位时，隔离阀中间的闸板封闭区域空出，隔离阀的闸板能够在隔离阀闸板封闭区域移动并关闭隔离阀；隔离阀开启后，防护挡板运行至下限位时，遮挡隔离阀的闸板封闭区域。2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构，其特征在于，所述顶升装置下方与顶升装置气缸连接，上方与顶升装置升降滑动组件连接。3.根据权利要求2所述的一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构，其特征在于，顶升装置升降滑动组件上方安装有顶升装置支...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜鸿基，陈亮，
申请(专利权)人：北京维开科技有限公司，
类型：新型
国别省市：