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本实用新型公开了一种电子束蒸发镀膜设备隔离阀防护机构，所述防护机构包括顶升装置和防护挡板，所述顶升装置安装在电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱体中，顶升装置带动防护挡板实现升降，防护挡板升降时紧贴隔离阀中间的闸板封闭区域内壁；防护挡板运行至上限...
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