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本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括安装板和立板；所述安装板和立板相互垂直；所述安装板和立板的中部均具有下沉部，所述安装板位于下沉部设有供电子束通过的通孔；所述安装板和立板的两边均设有安装耳片，所述安装板的...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。

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