对心装置制造方法及图纸

本申请涉及一种对心装置，对心装置包括：主体；对心机构及载台，对心机构安装于主体上，载台安装于对心机构上，载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至主体上；安装于主体上的视觉机构，视觉机构受控拍摄工件及载台，对心机构受控根据视觉机构拍摄的信息调整载台与工件的相对位置，以使工件与载台的圆心重合，且使工件的定位部周向转动至目标位置。对心装置不但能够定位非透明状的晶圆的定位缺口，还能够定位透明状的晶圆的定位缺口，相对于现有技术不能适用定位透明状晶圆的定位缺口的情况，扩大了对心装置的应用范围。扩大了对心装置的应用范围。扩大了对心装置的应用范围。

【技术实现步骤摘要】
对心装置


[0001]本申请涉及加工检测设备
，特别是涉及一种对心装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，为了保证晶圆的加工精度，需要对晶圆进行对心，以及对晶圆的定位缺口(通常为Flat(平槽)或Notch(V槽))进行定位。
[0003]传统的晶圆对心装置通常设置一对对射式传感器，通过对射式传感器检测有无信号来检测晶圆上的定位缺口。但是，对射式传感器能够直接穿过透明的晶圆片，导致对透明的晶圆的定位缺口无法定位。因此，传统的晶圆对心装置的应用范围较窄。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对传统的晶圆对心装置的应用范围较窄的问题，提供一种应用范围较广的对心装置。
[0005]一种对心装置，所述对心装置包括：
[0006]主体；
[0007]对心机构及载台，所述对心机构安装于所述主体上，所述载台安装于所述对心机构上，所述载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至所述主体上；
[0008]安装于所述主体上的视觉机构，所述视觉机构受控拍摄所述工件及所述载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对心装置，其特征在于，所述对心装置包括：主体；对心机构及载台，所述对心机构安装于所述主体上，所述载台安装于所述对心机构上，所述载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至所述主体上；安装于所述主体上的视觉机构，所述视觉机构受控拍摄所述工件及所述载台，所述对心机构受控根据所述视觉机构拍摄的信息调整所述载台与所述工件的相对位置，以使所述工件与所述载台的圆心重合，且使所述工件的定位部周向转动至目标位置。2.根据权利要求1所述的对心装置，其特征在于，所述对心装置还包括调平机构，所述调平机构安装于所述主体上，以用于调平所述视觉机构。3.根据权利要求2所述的对心装置，其特征在于，所述调平机构包括调平板及多个调平件，所述调平板水平安装于所述主体上，所述调平件均活动穿设于所述调平板上；每个所述调平件具有穿出所述调平板的调平端，每个所述调平端与所述视觉机构抵接且长度可调，以调平所述视觉机构。4.根据权利要求1所述的对心装置，其特征在于，所述对心机构包括水平运动组件、竖直运动组件以及旋转运动组件，所述水平运动组件安装于所述主体上，所述竖直运动组件安装于所述水平运动组件上，所述旋转运动组件安装于所述竖直运动组件上，所述载台安装于所述旋转运动组件上；所述水平运动组件受控带动所述竖直运动组件及所述旋转运动组件在水平方向运动，所述竖直运动组件受控带动所述旋转运动组件在竖直方向运动，所述旋转运动组件受控带动所述载台旋转；所述水平运动组件、所述竖直运动组件及所述旋转运动组件共同调节所述工件与所述载台的相对位置，以及所述工件的定位部的位置。5.根据权利要求4所述的对心装置，其特征在于，所述水平运动组件包括第一驱动件、及滑动连接的滑板与滑块，所述第一驱动件与所述滑板安装于所述主体上，所述竖直运动组件与所述滑块连接，所述第一驱动件受控驱动所述滑块相对于所述滑板在水平方向滑动；和/或所述竖直运动组...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡光导精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：