本申请涉及一种对心装置，对心装置包括：主体；对心机构及载台，对心机构安装于主体上，载台安装于对心机构上，载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至主体上；安装于主体上的视觉机构，视觉机构受控拍摄工件及载台，对心机构受控根据视觉机构拍摄的信息调整载台与工件的相对位置，以使工件与载台的圆心重合，且使工件的定位部周向转动至目标位置。对心装置不但能够定位非透明状的晶圆的定位缺口，还能够定位透明状的晶圆的定位缺口，相对于现有技术不能适用定位透明状晶圆的定位缺口的情况，扩大了对心装置的应用范围。扩大了对心装置的应用范围。扩大了对心装置的应用范围。
【技术实现步骤摘要】
对心装置
[0001]本申请涉及加工检测设备
，特别是涉及一种对心装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，为了保证晶圆的加工精度，需要对晶圆进行对心，以及对晶圆的定位缺口(通常为Flat(平槽)或Notch(V槽))进行定位。
[0003]传统的晶圆对心装置通常设置一对对射式传感器，通过对射式传感器检测有无信号来检测晶圆上的定位缺口。但是，对射式传感器能够直接穿过透明的晶圆片，导致对透明的晶圆的定位缺口无法定位。因此，传统的晶圆对心装置的应用范围较窄。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对传统的晶圆对心装置的应用范围较窄的问题，提供一种应用范围较广的对心装置。
[0005]一种对心装置，所述对心装置包括：
[0006]主体；
[0007]对心机构及载台，所述对心机构安装于所述主体上，所述载台安装于所述对心机构上，所述载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至所述主体上；
[0008]安装于所述主体上的视觉机构，所述视觉机构受控拍摄所述工件及所述载台，所述对心机构受控根据所述视觉机构拍摄的信息调整所述载台与所述工件的相对位置，以使所述工件与所述载台的圆心重合，且使所述工件的定位部周向转动至目标位置。
[0009]上述对心装置，采用视觉机构拍摄晶圆与载台，即使晶圆呈透明状时，视觉机构仍然能够拍摄获取透明的晶圆的定位缺口，以方便调整其定位缺口至目标位置。这样，对心装置不但能够定位非透明状的晶圆的定位缺口，还能够定位透明状的晶圆的定位缺口，相对于现有技术不能适用定位透明状晶圆的定位缺口的情况，扩大了对心装置的应用范围。
[0010]在其中一个实施例中，所述对心装置还包括调平机构，所述调平机构安装于所述主体上，以用于调平所述视觉机构。
[0011]在其中一个实施例中，所述调平机构包括调平板及多个调平件，所述调平板水平安装于所述主体上，所述调平件均活动穿设于所述调平板上；
[0012]每个所述调平件具有穿出所述调平板的调平端，每个所述调平端与所述视觉机构抵接且长度可调，以调平所述视觉机构。
[0013]在其中一个实施例中，所述对心机构包括水平运动组件、竖直运动组件以及旋转运动组件，所述水平运动组件安装于所述主体上，所述竖直运动组件安装于所述水平运动组件上，所述旋转运动组件安装于所述竖直运动组件上，所述载台安装于所述旋转运动组件上；
[0014]所述水平运动组件受控带动所述竖直运动组件及所述旋转运动组件在水平方向运动，所述竖直运动组件受控带动所述旋转运动组件在竖直方向运动，所述旋转运动组件
受控带动所述载台旋转；所述水平运动组件、所述竖直运动组件及所述旋转运动组件共同调节所述工件与所述载台的相对位置，以及所述工件的定位部的位置。
[0015]在其中一个实施例中，所述水平运动组件包括第一驱动件、及滑动连接的滑板与滑块，所述第一驱动件与所述滑板安装于所述主体上，所述竖直运动组件与所述滑块连接，所述第一驱动件受控驱动所述滑块相对于所述滑板在水平方向滑动；和/或
[0016]所述竖直运动组件包括安装于所述水平运动组件上的第二驱动件及连接板，所述连接板与所述水平运动组件滑动连接，所述旋转运动组件与所述连接板连接，所述第二驱动件受控驱动所述连接板相对于所述水平运动组件在竖直方向上滑动。
[0017]在其中一个实施例中，所述旋转运动组件包括第三驱动件、旋转轴及固定座；所述第三驱动件及所述固定座均与所述竖直运动组件连接，所述旋转轴穿设于所述固定座内且与所述第三驱动件连接；
[0018]所述固定座、所述旋转轴及所述载台上均开设有流道，以形成用于将工件吸附于所述载台的吸附气道；所述第三驱动件受控驱动所述旋转轴带动所述载台相对于所述固定座旋转。
[0019]在其中一个实施例中，所述主体包括本体及多根支撑柱，所述对心机构及所述视觉机构均安装于所述本体上；所述支撑柱均支撑设于所述主体上，且所述支撑柱远离本体的表面共同形成用于支撑工件的支撑面；
[0020]所述对心机构驱动所述载台竖直向下运动时，所述载台能够释放工件至所述支撑柱的支撑面上。
[0021]在其中一个实施例中，所述对心装置还包括光源，所述光源安装于所述主体上，以在所述视觉机构拍摄所述工件及所述载台时补光。
[0022]在其中一个实施例中，所述对心装置还包括设于所述主体上的控制模块及对插接口，所述控制模块用于控制所述对心机构及所述视觉机构，所述对插接口与所述控制模块电连接，所述对插接口与外界工控机连接。
[0023]在其中一个实施例中，所述对插接口包括视觉网线中继转接器及控制通讯转接器，所述控制模块包括控制驱动器模块及控制中继端子模块；
[0024]所述视觉机构的控制网线与所述视觉网线中继转接器对插，所述对心机构与所述控制驱动器模块及所述控制中继端子模块相连，所述控制驱动器模块及所述控制中继端子模块与所述控制通讯转接器对插。
附图说明
[0025]图1为本申请一实施例提供的对心装置的主视图；
[0026]图2为图1中所示的对心装置的右视图；
[0027]图3为图1中所示的对心装置省略视觉机构的俯视图；
[0028]图4为图1中所示的对心装置的对心机构的局部结构图；
[0029]图5为图4中所示结构的局部结构图；
[0030]图6为图1中所示的对心装置省略其他结构的电气硬件分布图；
[0031]图7为晶圆的圆心与图1中所示的对心装置的载台的圆心存在XY两个方向的错位图；
[0032]图8为晶圆的圆心与图1中所示的对心装置的载台的圆心存在Y方向的错位图；
[0033]图9为晶圆的圆心与图1中所示的对心装置的载台的圆心的对正图。
[0034]100、对心装置；10、主体；11、本体；12、支撑柱；20、对心机构；21、水平运动组件；211、滑板；212、滑块；22、竖直运动组件；221、连接板；23、旋转运动组件；231、第三驱动件；232、旋转轴；233、固定座；234、密封圈；235、接头；30、载台；40、视觉机构；50、调平机构；60、光源；71、视觉网线中继转接器；72、控制通讯转接器；73、触发网线中继转接器；74、设备电源转接器；75、气路转接器；81、控制驱动器模块；82、控制中继端子模块；83、控制继电器模块；84、真空发生模块；85、控制触发模块；90、运行指示灯。
具体实施方式
[0035]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0036]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“圆心”、“纵向”、“横向”本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种对心装置，其特征在于，所述对心装置包括：主体；对心机构及载台，所述对心机构安装于所述主体上，所述载台安装于所述对心机构上，所述载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至所述主体上；安装于所述主体上的视觉机构，所述视觉机构受控拍摄所述工件及所述载台，所述对心机构受控根据所述视觉机构拍摄的信息调整所述载台与所述工件的相对位置，以使所述工件与所述载台的圆心重合，且使所述工件的定位部周向转动至目标位置。2.根据权利要求1所述的对心装置，其特征在于，所述对心装置还包括调平机构，所述调平机构安装于所述主体上，以用于调平所述视觉机构。3.根据权利要求2所述的对心装置，其特征在于，所述调平机构包括调平板及多个调平件，所述调平板水平安装于所述主体上，所述调平件均活动穿设于所述调平板上；每个所述调平件具有穿出所述调平板的调平端，每个所述调平端与所述视觉机构抵接且长度可调，以调平所述视觉机构。4.根据权利要求1所述的对心装置，其特征在于，所述对心机构包括水平运动组件、竖直运动组件以及旋转运动组件，所述水平运动组件安装于所述主体上，所述竖直运动组件安装于所述水平运动组件上，所述旋转运动组件安装于所述竖直运动组件上，所述载台安装于所述旋转运动组件上；所述水平运动组件受控带动所述竖直运动组件及所述旋转运动组件在水平方向运动，所述竖直运动组件受控带动所述旋转运动组件在竖直方向运动，所述旋转运动组件受控带动所述载台旋转；所述水平运动组件、所述竖直运动组件及所述旋转运动组件共同调节所述工件与所述载台的相对位置，以及所述工件的定位部的位置。5.根据权利要求4所述的对心装置，其特征在于，所述水平运动组件包括第一驱动件、及滑动连接的滑板与滑块，所述第一驱动件与所述滑板安装于所述主体上，所述竖直运动组件与所述滑块连接，所述第一驱动件受控驱动所述滑块相对于所述滑板在水平方向滑动；和/或所述竖直运动组...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡光导精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。