放射线检测器制造技术

实施方式所涉及的放射线检测器包括：阵列基板，其具有用于直接或与闪烁体协同地检测放射线的多个检测部；从多个所述检测部读取图像数据信号的模拟电路；基于来自所述模拟电路的信号构成放射线图像的数字电路；以及连接在所述模拟电路的接地和所述数字电路的接地之间的电感器。的电感器。的电感器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测器


[0001]本专利技术的实施方式涉及一种放射线检测器。

技术介绍

[0002]放射线检测器的一个示例包括X射线检测器。一般的X射线检测器中例如设有闪烁体、阵列基板和电路部。闪烁体将入射的X射线转换为荧光。阵列基板包括多个具有光电转换元件和薄膜晶体管的光电转换部，并且将闪烁体中产生的荧光转换为电荷。电路部上设有模拟电路和数字电路。模拟电路从多个光电转换部读取电荷(图像数据信号)。数字电路基于所读取的图像数据信号来构成X射线图像。
[0003]在X射线检测器用于医疗的情况下，由于对人体的X射线照射量被控制在所需最低限度，因此入射到X射线检测器的X射线的强度非常弱。因此，从多个光电转换部读取的图像数据信号变得极其微弱，因此即使少量噪声混入图像数据信号中，X射线图像的品质也有可能降低。
[0004]此外，近年来，为了准确诊断，追求要设置更多的光电转换部的高密度化、图像数据信号的读取和处理的高速化。因此，需要数字电路中的处理高速化，动作时钟高速化，从而噪声增加，发热量变多。其结果是，由于噪声变得更容易混入模拟电路，因此X射线图像的品质有可能进一步下降。因此，希望开发出能够抑制来自数字电路的噪声混入模拟电路的放射线检测器。现有技术文献专利文献
[0005]专利文献1：日本专利特开2003－249637号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0006]本专利技术要解决的问题是提供一种能够抑制来自数字电路的噪声混入模拟电路的放射线检测器。解决技术问题所采用的技术方案
[0007]实施方式所涉及的放射线检测器包括：阵列基板，其具有用于直接或与闪烁体协同地检测放射线的多个检测部；从多个所述检测部读取图像数据信号的模拟电路；基于来自所述模拟电路的信号构成放射线图像的数字电路；以及连接在所述模拟电路的接地和所述数字电路的接地之间的电感器。
附图说明
[0008]图1是用于示例本实施方式所涉及的X射线检测器的示意剖视图。图2是用于示例检测模块的示意立体图。图3是阵列基板的电路图。
图4是检测模块的框图。图5是用于示例比较例所涉及的X射线检测器的示意剖视图。图6是用于示例比较例所涉及的X射线检测器的示意剖视图。
具体实施方式
[0009]下面，参照附图，对实施方式进行举例说明。另外，各图中，对同样的构成要素标注相同的标号并适当省略详细说明。本专利技术的实施方式所涉及的放射线检测器除了用于X射线以外，还能应用于γ射线等各种放射线。这里，作为一个示例，以放射线中具有代表性的X射线的情况为例进行说明。因此，通过将以下实施方式的“X射线”替换为“其他放射线”，从而也能应用于其他放射线。
[0010]此外，能够将以下所例示的X射线检测器1设为对放射线图像即X射线图像进行检测的X射线平面传感器。X射线平面传感器大致分为直接转换方式和间接转换方式。
[0011]间接转换方式的X射线检测器例如设有具有多个光电转换部的阵列基板和设在多个光电转换部上的用于将X射线转换成荧光(可见光)的闪烁体。在间接转换方式的X射线检测器中，从外部入射的X射线通过闪烁体转换为荧光。所产生的荧光通过多个光电转换部转换为电荷。
[0012]直接转换方式的X射线检测器中例如设有由非晶硒等构成的光电转换膜。在直接转换方式的X射线检测器中，从外部入射的X射线被光电转换膜吸收，直接转换为电荷。另外，直接转换方式的X射线检测器的基本结构可以采用公知技术，因此省略详细说明。
[0013]以下，作为一个示例，示出间接转换方式的X射线检测器1，但本专利技术也能适用于直接转换方式的X射线检测器。即，X射线检测器只要具有将X射线转换成电信息的多个检测部即可。检测部例如能直接地或者与闪烁体协同地检测X射线。此外，X射线检测器1例如能用于一般医疗等。但X射线检测器1的用途并不限于一般医疗。
[0014]图1是用于示例本实施方式所涉及的X射线检测器1的示意剖视图。图2是用于示例检测模块10的示意立体图。图3是阵列基板2的电路图。图4是检测模块10的框图。如图1至图4所示，在X射线检测器1中可以设置检测模块10和壳体20。
[0015]检测模块10中可以设置阵列基板2、闪烁体3和电路部4。检测模块10可以设置在壳体20的内部。
[0016]阵列基板2能通过闪烁体3将由X射线转换而来的荧光转换为电荷。在阵列基板2中可以设置有基板2a、光电转换部2b、控制线(或栅极线)2c1、数据线(或信号线)2c2和保护层2f等。另外，光电转换部2b、控制线2c1和数据线2c2等的数量并不限于所示例的情况。在本实施方式所涉及的X射线检测器1中，光电转换部2b成为与闪烁体3协同地检测X射线的检测部。
[0017]基板2a呈板状，例如能够由无碱玻璃、聚酰亚胺树脂等形成。基板2a的平面形状例如可设为四边形。能够在基板2a的一个表面上设置多个光电转换部2b。光电转换部2b能够设置在由控制线2c1和数据线2c2所划分的区域中。多个光电转换部2b可排列成矩阵状而设置。另外，一个光电转换部2b对应于X射线图像中的一个像素(pixel)。
[0018]可以在多个光电转换部2b中分别设有光电转换元件2b1、以及作为开关元件的薄膜晶体管(TFT；Thin Film Transistor)2b2。此外，在光电转换元件2b1中，可以设置有存储经转换的电荷的存储电容器2b3。存储电容器2b3例如可以呈膜状，设置在各薄膜晶体管2b2的下方。其中，根据光电转换元件2b1的电容，光电转换元件2b1能兼用作存储电容器2b3。
[0019]光电转换元件2b1例如可以设为光电二极管等。薄膜晶体管2b2能够对存储电容器2b3的存储电荷和释放电荷进行开关。薄膜晶体管2b2具有栅极电极2b2a、漏极电极2b2b以及源极电极2b2c。薄膜晶体管2b2的栅极电极2b2a可与对应的控制线2c1电连接。薄膜晶体管2b2的漏极电极2b2b可与对应的数据线2c2电连接。薄膜晶体管2b2的源极电极2b2c可电连接到对应的光电转换元件2b1和存储电容器2b3。此外，光电转换元件2b1的阳极侧以及存储电容器2b3可电连接至与后文中阐述的模拟电路4b电连接的布线图案4a1的接地(模拟接地)。
[0020]多条控制线2c1可以隔开规定间隔相互平行地设置。例如，控制线2c1可以沿行方向延伸。一条控制线2c1与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d1的其中一个电连接。一个布线焊盘2d1与设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线的另一端可与设置在电路部4中的模拟电路4b(栅极驱动器4b1)分别电连接。
[0021]多条数据线2c2可以隔开规定间隔相互平行地设置。例如，数据线2c2可以设为沿与行方向正交的列方向延伸。一条数据线2c2可以与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d2中的一个电连接。一个布线焊盘2d2可以与设置在柔性印刷基板2e2上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测器，其特征在于，包括：阵列基板，该阵列基板具有用于直接或与闪烁体协同地检测放射线的多个检测部；从多个所述检测部读取图像数据信号的模拟电路；基于来自所述模拟电路的信号构成放射线图像的数字电路；以及连接在所述模拟电路的接地和所述数字电路的接地之间的电感器。2.如权利要求1所述的放射线检测器，其特征在于，所述电感器具有：包含磁性体的主体部；以及设置在所述主体部的内部且具有导电性的线圈状的导电部，所述导电部的一个端部连接到所述模拟电路的接地，所述导电部的另一个端部连...

【专利技术属性】
技术研发人员：身深亮，鬼桥浩志，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：