放射线检测面板制造技术

提供一种放射线检测面板，其能够抑制光电转换基板的翘曲。放射线检测面板包括：具有多个光电转换部的光电转换基板；设置在所述光电转换基板上的闪烁体层；以及防潮罩。所述防潮罩与所述光电转换基板一起夹住所述闪烁体层并覆盖所述闪烁体层。所述防潮罩由玻璃形成。所述防潮罩由玻璃形成。所述防潮罩由玻璃形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测面板


[0001]本专利技术的实施方式涉及一种放射线检测面板。

技术介绍

[0002]作为放射线检测器，已知例如X射线检测器(X射线平面检测器)。X射线检测器的X射线检测面板包括用于将X射线转换为荧光的闪烁体层、和用于将荧光转换为电信号的光电转换基板。闪烁体层含有例如碘化铯(CsI)。此外，为了提高荧光的利用效率并改善灵敏度特性，X射线检测面板还可以包括设置在闪烁体层上的光反射层。
[0003]在此，为了抑制水蒸气等引起的特性劣化，闪烁体层和光反射层需要与外部气氛隔离。因此，作为能够获得高防潮性能的结构，提出了由帽形状的防潮罩覆盖闪烁体层和光反射层，将防潮罩的边缘部粘接在光电转换基板上的技术。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1：日本专利特开2009
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128023号公报专利文献2：日本专利特开2020
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79787号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0005]本实施方式提供一种放射线检测面板，其能够抑制光电转换基板的翘曲。用于解决技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测面板，其特征在于，包括：光电转换基板，该光电转换基板具有多个光电转换部；闪烁体层，该闪烁体层设置在所述光电转换基板上；以及防潮罩，该防潮罩与所述光电转换基板一起夹住所述闪烁体层并覆盖所述闪烁体层，所述防潮罩由玻璃来形成。2.如权利要求1所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩与所述光电转换基板相接。3.如权利要求2所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体设置在所述光电转换基板以及所述防潮罩上，覆盖所述光电转换基板与所述防潮罩的接点。4.如权利要求3所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩由硼硅酸盐玻璃或铝硅酸盐玻璃形成，具有0.20mm以下的厚度。5.如权利要求4所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩与所述光电转换基板一起形成密封所述闪烁体层的空间，所述空间是被减压在0.7大气压以下的空间。6.如权利要求2所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩由硼硅酸盐玻璃或铝硅酸盐玻璃形成，具有0.20mm以下的厚度。7.如权利要求6所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩与所述光电转换基板一起形成密封所述闪烁体层的空间，所述空间是被减压在0.7大气压以下的空间。8.如权利要求7所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体位于所述光电转换基板与所述防潮罩之间，将所述光电转换基板与所述防潮罩相接合。9.如权利要求6所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体位于所述光电转换基板与所述防潮罩之间，将所述光电转换基板与所述防潮罩相接合。10.如权利要求2所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体位于所述光电转换基板与所述防潮罩之间，将所述光电转换基板与所述防潮罩相接合。11.如权利要求1所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩由硼硅酸盐玻璃或铝硅酸盐玻...

【专利技术属性】
技术研发人员：长井真也，会田博之，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：