放射线检测面板制造技术

提供一种放射线检测面板，其能够抑制光电转换基板的翘曲。放射线检测面板包括：具有多个光电转换部的光电转换基板；设置在所述光电转换基板上的闪烁体层；以及防潮罩。所述防潮罩与所述光电转换基板一起夹住所述闪烁体层并覆盖所述闪烁体层。所述防潮罩由玻璃形成。所述防潮罩由玻璃形成。所述防潮罩由玻璃形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测面板


[0001]本专利技术的实施方式涉及一种放射线检测面板。

技术介绍

[0002]作为放射线检测器，已知例如X射线检测器(X射线平面检测器)。X射线检测器的X射线检测面板包括用于将X射线转换为荧光的闪烁体层、和用于将荧光转换为电信号的光电转换基板。闪烁体层含有例如碘化铯(CsI)。此外，为了提高荧光的利用效率并改善灵敏度特性，X射线检测面板还可以包括设置在闪烁体层上的光反射层。
[0003]在此，为了抑制水蒸气等引起的特性劣化，闪烁体层和光反射层需要与外部气氛隔离。因此，作为能够获得高防潮性能的结构，提出了由帽形状的防潮罩覆盖闪烁体层和光反射层，将防潮罩的边缘部粘接在光电转换基板上的技术。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1：日本专利特开2009
‑
128023号公报专利文献2：日本专利特开2020
‑
79787号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0005]本实施方式提供一种放射线检测面板，其能够抑制光电转换基板的翘曲。用于解决技术问题的技术手段
[0006]一实施方式所涉及的放射线检测面板包括：具有多个光电转换部的光电转换基板；设置在所述光电转换基板上的闪烁体层；以及防潮罩，该防潮罩与所述光电转换基板一起夹住所述闪烁体层并覆盖所述闪烁体层，所述防潮罩由玻璃形成。
附图说明
[0007]图1是表示比较例1所涉及的X射线检测器的剖视图。图2是表示上述X射线检测器的支承基板、X射线检测面板、电路基板、多个FPC以及图像传输部的立体图。图3是表示上述X射线检测面板的一部分的放大剖视图。图4是表示上述X射线检测面板、电路基板、以及多个FPC的电路图。图5是表示上述X射线检测面板的俯视图。图6是沿着线VI
‑
VI表示上述X射线检测面板的剖视图，是一并示出FPC的图。图7是表示比较例2所涉及的X射线检测面板的剖视图，是一并表示FPC的图。图8是表示一实施方式的实施例1所涉及的X射线检测面板的剖视图，是一并表示FPC的图。
图9是表示上述实施方式的实施例2所涉及的X射线检测面板的剖视图，是一并表示FPC的图。图10是表示上述实施方式的实施例3所涉及的X射线检测面板的剖视图，是一并表示FPC的图。图11是表示上述实施方式的实施例4所涉及的X射线检测面板的剖视图，是一并表示FPC的图。
具体实施方式
[0008]下面，参照附图对本专利技术的一实施方式和各比较例进行说明。另外，所公开的内容仅为一个示例，对于本领域技术人员而言，容易想到在保留本专利技术主旨的情况下进行适当的变更，这种情况也理所应当地包含在本专利技术的范围内。此外，为了利用附图进行更为明确的说明，与实际的方式相比，有时示意性地对各部分的宽度、厚度、形状等进行表示，然而也仅为一个示例，不能用来限定本专利技术的解释。再者，在本说明书和各个附图中，对于在已有附图中已出现过的相同部分，标注相同的标号，并适当地省略详细的说明。
[0009](比较例1)首先，对比较例1所涉及的X射线检测器1的结构以及X射线检测器1的制造方法进行说明。图1是表示比较例1所涉及的X射线检测器1的剖视图。X射线检测器1是X射线图像检测器，并且是利用X射线检测面板的X射线平面检测器。X射线检测器1例如用于一般医疗用途等。
[0010]如图1所示，X射线检测器1包括X射线检测模块10、支承基板12、电路基板11、间隔件9a、9b、9c、9d、壳体51、入射窗52等。X射线检测模块10包括X射线检测面板PNL、FPC(柔性印刷基板)2e1等。X射线检测面板PNL位于支承基板12和入射窗52之间。X射线检测面板PNL包括与入射窗52相对的防潮罩7。
[0011]入射窗52安装到壳体51的开口。入射窗52使X射线透过。因此，X射线透过入射窗52而入射到X射线检测面板PNL。入射窗52形成为板状，具有保护壳体51内部的功能。入射窗52优选由具有低X射线吸收率的材料形成得较薄。因此，能够降低在入射窗52中产生的X射线的散射和X射线剂量的衰减。然后，能够实现薄且轻的X射线检测器1。X射线检测模块10、支承基板12、电路基板11等收纳在由壳体51和入射窗52包围的空间内部。
[0012]由于X射线检测面板PNL通过将较薄的构件层叠而构成，因此较轻且机械强度较低。因此，X射线检测面板PNL经由粘合片被固定到支承基板12的平坦的一个表面。支承基板12例如由铝合金形成为板状，并且具有稳定地保持X射线检测面板PNL所需的强度。由此，能够在从外部向X射线检测器1施加振动或冲击时抑制X射线检测面板PNL的损坏。
[0013]电路基板11经由间隔件9a、9b被固定到支承基板12的另一个表面。通过使用间隔件9a、9b，从而能够保持从主要由金属构成的支承基板12到电路基板11的电绝缘距离。电路基板11经由间隔件9c、9d被固定到壳体51的内表面。通过使用间隔件9c、9d，从而能够保持从主要由金属构成的壳体51到电路基板11的电绝缘距离。壳体51经由电路基板11和间隔件9a、9b、9c、9d对支承基板12等进行支承。
[0014]对应于FPC2e1的连接器安装在电路基板11上，并且FPC2e1经由连接器被电连接到
电路基板11。FPC2e1与X射线检测面板PNL的连接使用了利用ACF(各向异性导电膜)的热压接法。通过该方法，确保X射线检测面板PNL的多个微小焊盘和FPC2e1的多个微小焊盘之间的电连接，并且FPC2e1被物理地固定到X射线检测面板PNL。另外，关于X射线检测面板PNL的焊盘将在后面叙述。
[0015]如上所述，电路基板11经由上述连接器、FPC2e1等被电连接到X射线检测面板PNL。电路基板11电驱动X射线检测面板PNL并且电处理来自X射线检测面板PNL的输出信号。
[0016]图2是表示比较例1所涉及的X射线检测器1的支承基板12、X射线检测面板PNL、电路基板11、多个FPC2e1、2e2以及图像传输部4的立体图。另外，图2未示出X射线检测器1的所有构件。后述的接合体等X射线检测器1的若干构件的图示在图2中省略。
[0017]如图2所示，X射线检测面板PNL包括光电转换基板2、闪烁体层5等。光电转换基板2具有基板2a、多个光电转换部2b、多条控制线(或栅极线)2c1、多个数据线(或信号线)2c2等。另外，光电转换部2b、控制线2c1和数据线2c2的数量、配置等不限于图2的示例。
[0018]多条控制线2c1在行方向上延伸，并且在列方向上隔着规定的间隔排列。多条数据线2c2在列方向上延伸，与多条控制线2c1交叉，并且在行方向上隔着规定的间隔排列。
[0019]在基板2a的一个表面侧上设置有多个光电转换部2b。光电转换部2b能够设置在由控制线2c1和数据线2c2所划分的四边形状的区域中。一个光电转换部2b对应于X射线图像中的一个像素。多个光电转换部2b排列成矩阵状。如上所述，光电转换基板2是阵列基板。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测面板，其特征在于，包括：光电转换基板，该光电转换基板具有多个光电转换部；闪烁体层，该闪烁体层设置在所述光电转换基板上；以及防潮罩，该防潮罩与所述光电转换基板一起夹住所述闪烁体层并覆盖所述闪烁体层，所述防潮罩由玻璃来形成。2.如权利要求1所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩与所述光电转换基板相接。3.如权利要求2所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体设置在所述光电转换基板以及所述防潮罩上，覆盖所述光电转换基板与所述防潮罩的接点。4.如权利要求3所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩由硼硅酸盐玻璃或铝硅酸盐玻璃形成，具有0.20mm以下的厚度。5.如权利要求4所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩与所述光电转换基板一起形成密封所述闪烁体层的空间，所述空间是被减压在0.7大气压以下的空间。6.如权利要求2所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩由硼硅酸盐玻璃或铝硅酸盐玻璃形成，具有0.20mm以下的厚度。7.如权利要求6所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩与所述光电转换基板一起形成密封所述闪烁体层的空间，所述空间是被减压在0.7大气压以下的空间。8.如权利要求7所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体位于所述光电转换基板与所述防潮罩之间，将所述光电转换基板与所述防潮罩相接合。9.如权利要求6所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体位于所述光电转换基板与所述防潮罩之间，将所述光电转换基板与所述防潮罩相接合。10.如权利要求2所述的放射线检测面板，其特征在于，还包括接合体，该接合体位于所述光电转换基板与所述防潮罩之间，将所述光电转换基板与所述防潮罩相接合。11.如权利要求1所述的放射线检测面板，其特征在于，所述防潮罩由硼硅酸盐玻璃或铝硅酸盐玻...

【专利技术属性】
技术研发人员：长井真也，会田博之，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：