控制装置、系统、方法以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够以高效的结构进行多个能量范围的计数的同时测定的控制装置、系统、方法以及程序。控制装置(200)对X射线检测器(100)进行控制，输出测定结果，具备：设定部(220)，按X射线检测器(100)的每个单位区域，设定所检测的X射线的能量范围；数据管理部(250)，作为X射线测定的结果，取得按每个单位区域设定的能量范围的计数值来作为测定数据；以及输出部(270)，输出测定数据。由此，能够进行多个能量范围的计数的同时测定。行多个能量范围的计数的同时测定。行多个能量范围的计数的同时测定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制装置、系统、方法以及程序


[0001]本专利技术涉及对X射线测定装置进行控制并输出测定结果的控制装置、具备该控制装置的系统、测定X射线的方法以及程序。

技术介绍

[0002]近年来，进行了伴随不同能量的X射线检测的实验(参照非专利文献1)。在非专利文献1记载的实验中，利用具有沿分散方向和对焦方向划分的晶体的多晶发光分光装置对来自试样的荧光进行光谱分解。在该实验中，Si(111)晶体用于Kα区域的测定，Si(220)晶体用于根据Kβ以及原子价来测定核心区域，但需要根据用途分别进行测定。
[0003]此外，已知有通过具有固定的能量阈值的检测器的DA转换器和放大器的组合来进行零点调整的技术(参照专利文献1)。针对同样的检测器，也已知有如下技术：预先存储各像素的特性，根据所输入的测定条件生成校正表，使用校正表校正所测定的X射线强度数据(参照专利文献2)。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2012/077218号
[0007]专利文献2：国际公开第2016/063586号
[0008]非专利文献
[0009]非专利文献1：“Probing Transient Valence Orbital Changes with Picosecond Valence
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to
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Core X
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ray Emission Spectroscopy”，Anne Marie March，Tadesse A.Assefa，Christina Boemer，Christian Bressler，Alexander Britz，Michael Diez，Gilles Doumy，Andreas Galler，Manuel Harder，Dmitry Khakhulin，Zoltan Ne meth，Matya s Pa pai，Sebastian Schulz，Stephen H.Southworth，Hasan Yavas，Linda Young，Wojciech Gawelda，and Gyorgy Vanko，THE JOURNAL OF PHYSICAL CHEMIST RY C 2017，121，2620
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2626

技术实现思路

[0010]‑
专利技术所要解决的课题
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[0011]在上述非专利文献1所记载的实验中，需要在划分出的受光区域的各个中测定不同能量的X射线。然而，若想要测定不同能量的X射线，则需要对各个能量分别进行测定，测定整体需要庞大的时间。
[0012]本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种能够进行多个能量范围的计数的同时测定的控制装置、系统、方法以及程序。
[0013]‑
用于解决课题的手段
‑
[0014](1)为了实现上述目的，本专利技术的控制装置是对X射线检测器进行控制，输出测定结果的控制装置，其特征在于，具备：设定部，按X射线检测器的每个单位区域，设定所检测
的X射线的能量范围；数据管理部，作为X射线测定的结果，取得按每个单位区域设定的所述能量范围的计数值来作为测定数据；以及输出部，输出所述测定数据，所述设定部在至少2个以上的单位区域中设定不同的能量范围。由此，能够同时测定多个能量范围的计数。
[0015](2)此外，本专利技术的控制装置的特征在于，所述设定部针对全部区域中固定的全局阈值，按每个单位区域，相对地进行通过X射线检测而输入的信号的零点移动以及增益变更中的至少任意一者，由此设定所述能量范围。由此，能够在固定了所设定的全局阈值的状态下通过零点以及增益的调整来相对地改变表观上的阈值，来设定各个能量范围。
[0016](3)此外，本专利技术的控制装置的特征在于，所述设定部通过改变所述X射线检测器内的DA转换器的设定来进行所述零点移动。由此，能够利用DA转换器的功能进行零点移动。
[0017](4)此外，本专利技术的控制装置的特征在于，所述设定部在将所述X射线检测器中相互相邻的单位区域集合而形成且具有任意的尺寸以及形状的单个或者多个集合区域的各个集合区域中设定所述能量范围。由此，在想要对相同的试样同时取得多个能量范围的数据时，能够以高效率进行测。
[0018](5)此外，本专利技术的控制装置的特征在于，所述X射线检测器能够进行与移动同步的摄影，所述设定部按与所述移动同步的摄影中的与所述X射线检测器的移动方向垂直的每行，分配各能量范围，所述输出部输出按每个所述设定的能量范围而重构的全部检测区域的计数值。通过重构这样得到的数据，能够针对各位置高效地取得多个能量范围的计数。
[0019](6)此外，本专利技术的控制装置的特征在于，所述设定部进行设定，以使得将多种能量范围分别分散于受光面上的各单位区域。由此，即使牺牲位置鉴别率，也能够同时地静止测定取得多种能量范围的数据。
[0020](7)此外，本专利技术的控制装置的特征在于，所述设定部进行设定，以使得重复单位区域周期性地重复，该重复单位区域包含所述能量范围的全部种类的单位区域的各一个。由此，能够以简易的结构同时地通过静止测定取得多种能量范围的数据。
[0021](8)此外，本专利技术的系统的特征在于，具备：X射线测定装置，具有所述X射线检测器；上述(1)～(6)中的任一项所述的控制装置。这样，通过由控制装置进行X射线测定装置的控制，能够应对想要同时地测定多个能量范围的计数的请求。
[0022](9)此外，本专利技术的方法的特征在于，包括：按X射线检测器的每个单位区域设定所检测的X射线的能量范围的步骤；使用所述X射线检测器进行X射线测定的步骤；作为所述X射线测定的结果，取得按每个单位区域设定的所述能量范围的计数值来作为测定数据的步骤；以及输出测定数据的步骤，在所述能量范围的设定时，在至少2个以上的单位区域中设定不同的能量范围。由此，能够进行多个能量范围的计数的同时测定。
[0023](10)此外，本专利技术的方法的特征在于，所述X射线检测器是二维检测器，在所述检测的步骤中，利用所述X射线检测器检测对试样照射特定波长的X射线而被散射的X射线，由此同时检测衍射X射线和荧光X射线。由此，能够在进行X射线衍射测定的同时进行荧光X射线段分析，能够更高效地进行实验。
[0024](11)此外，本专利技术的方法的特征在于，所述X射线检测器是二维检测器，在所述检测的步骤中，利用所述X射线检测器检测对试样照射白色X射线而被散射的X射线。由此，即使在通常扫描范围存在极限的情况下，也能够进行与扫描测定相同的测定。
[0025](12)此外，本专利技术的程序是对X射线检测器进行控制并输出测定结果的程序，其特
征在于，使计算机执行如下步骤：按X射线检测器的每个单位区域设定所检测的X射线的能量范围的处理；作为X射线测定的结果，取得按每个单位区域设定的所述能量范围的计数值来作为测定数据的处理；以及输出测定数据的处理，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种控制装置，对X射线检测器进行控制，输出测定结果，所述控制装置的特征在于，具备：设定部，按X射线检测器的每个单位区域，设定所检测的X射线的能量范围；数据管理部，作为X射线测定的结果，取得按每个单位区域设定的所述能量范围的计数值来作为测定数据；以及输出部，输出所述测定数据，所述设定部在至少2个以上的单位区域中设定不同的能量范围。2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，所述设定部针对全部区域中固定的全局阈值，按每个单位区域，相对地进行通过X射线检测而被输入的信号的零点移动以及增益变更中的至少任意一者，由此来设定所述能量范围。3.根据权利要求2所述的控制装置，其特征在于，所述设定部通过改变所述X射线检测器内的DA转换器的设定来进行所述零点移动。4.根据权利要求1～3中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述设定部在将所述X射线检测器中相互相邻的单位区域集合而形成且具有任意的尺寸以及形状的单个或者多个集合区域的各个集合区域中设定所述能量范围。5.根据权利要求1～3中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述X射线检测器能够进行与移动同步的摄影，所述设定部按与所述移动同步的摄影中的与所述X射线检测器的移动方向垂直的每行，分配各能量范围，所述输出部输出按所设定的每个能量范围而重构后的全部检测区域的计数值。6.根据权利要求1～3中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述设定部进行设定，使得多种能量范围分别分散于受光面上的各单位区域。7.根据权利要求6所述的控制装置，其特征在于，所述设定部...

【专利技术属性】
技术研发人员：作村拓人，中江保一，小泽哲也，松下一之，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：