放射线检测器制造技术

实施方式所涉及的放射线检测器包括：壳体；阵列基板，该阵列基板设置在所述壳体的内部并且具有多个检测部，该多个检测部直接地或与闪烁体协同地检测放射线；电路基板，该电路基板设置在所述壳体的内部并且与所述阵列基板电连接；以及导电部，该导电部在所述壳体的内部，并且设置在设于所述电路基板的膜状的接地与设于所述壳体且具有导电性的板状体之间。所述导电部具有导电性，并且包含比所述接地的材料更柔软的材料。材料更柔软的材料。材料更柔软的材料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测器


[0001]本专利技术的实施方式涉及一种放射线检测器。

技术介绍

[0002]放射线检测器的一个示例包括X射线检测器。一般的X射线检测器中例如设有闪烁器、阵列基板和电路基板。闪烁体将入射的X射线转换为荧光。阵列基板包括多个具有光电转换元件和薄膜晶体管的光电转换部，并且将闪烁体中产生的荧光转换为电荷。电路基板上设有模拟电路和数字电路。模拟电路从多个光电转换部读取电荷(图像数据信号)。数字电路基于所读取的图像数据信号来构成X射线图像。
[0003]在X射线检测器用于医疗的情况下，由于对人体的X射线照射量被控制在所需最低限度，因此入射到X射线检测器的X射线的强度非常弱。因此，从多个光电转换部读取的图像数据信号变得极其微弱，因此即使少量噪声混入图像数据信号中，X射线图像的品质也有可能降低。
[0004]此外，近年来，为了进行正确的诊断，寻求实现设置更多的光电转换部的高密度化、图像数据信号的读取和处理的高速化。因此，需要数字电路中的处理的高速化，动作时钟高速化，从而噪声增加。其结果是，由于噪声变得更容易混入模拟电路，因此X射线图像的品质有可能进一步下降。因此，希望开发一种能够实现噪声降低的放射线检测器。现有技术文献专利文献
[0005]专利文献1：日本专利特开2012－239657号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0006]本专利技术所要解决的课题在于提供一种能够实现噪声降低的放射线检测器。解决技术问题所采用的技术方案
[0007]实施方式所涉及的放射线检测器包括：壳体；阵列基板，该阵列基板设置在所述壳体的内部并且具有多个检测部，该多个检测部直接地或与闪烁体协同地检测放射线；电路基板，该电路基板设置在所述壳体的内部并且与所述阵列基板电连接；以及导电部，该导电部在所述壳体的内部，并且设置在设于所述电路基板的膜状的接地与设于所述壳体且具有导电性的板状体之间。所述导电部具有导电性，并且包含比所述接地的材料更柔软的材料。
附图说明
[0008]图1是用于例示本实施方式所涉及的X射线检测器的示意剖视图。图2是用于例示检测模块的示意立体图。图3是阵列基板的电路图。
图4是检测模块的框图。图5是用于例示比较例所涉及的电路基板与支撑板之间的连接的示意剖视图。图6是用于例示本实施方式所涉及的电路基板与支撑板之间的连接的示意剖视图。图7是用于例示其他实施方式所涉及的电路基板与支撑板之间的连接的示意剖视图。
具体实施方式
[0009]下面，参照附图，对实施方式进行例示。另外，各图中，对同样的构成要素标注相同的标号并适当省略详细说明。本专利技术的实施方式所涉及的放射线检测器除了X射线以外，还能应用于γ射线等各种放射线。这里，作为一个示例，以放射线中具有代表性的X射线的情况为例进行说明。因此，通过将以下实施方式的“X射线”替换为“其他放射线”，从而也能应用于其他放射线。
[0010]此外，能够将以下所例示的X射线检测器1设为对放射线图像即X射线图像进行检测的X射线平面传感器。X射线平面传感器大致分为直接转换方式和间接转换方式。
[0011]间接转换方式的X射线检测器例如设有具有多个光电转换部的阵列基板和设在多个光电转换部上的用于将X射线转换成荧光(可见光)的闪烁体。在间接转换方式的X射线检测器中，从外部入射的X射线通过闪烁体转换为荧光。所产生的荧光通过多个光电转换部转换为电荷。
[0012]直接转换方式的X射线检测器中例如设有由非晶硒等构成的光电转换膜。在直接转换方式的X射线检测器中，从外部入射的X射线由光电转换膜吸收，直接转换为电荷。另外，已知技术能应用于直接转换方式的X射线检测器的基本结构，因此省略详细说明。
[0013]以下，作为一个示例，示出间接转换方式的X射线检测器1，但本专利技术也能适用于直接转换方式的X射线检测器。即，X射线检测器只要具有将X射线转换成电信息的多个检测部即可。检测部例如能直接地或者与闪烁体协同地检测X射线。另外，X射线检测器1例如能用于一般医疗等。但是，X射线检测器1的用途并不限于一般医疗。
[0014]图1是用于例示本实施方式所涉及的X射线检测器1的示意剖视图。图2是用于例示检测模块10的示意立体图。图3是阵列基板2的电路图。图4是检测模块10的框图。如图1至图4所示，在X射线检测器1中可以设置检测模块10和壳体20。
[0015]检测模块10中可以设置阵列基板2、闪烁体3、电路基板4和导电部5。检测模块10可以设置在壳体20的内部。
[0016]阵列基板2将通过闪烁体3由X射线转换而来的荧光转换为电荷。如图1所示，阵列基板2例如可以设置在支撑板24的X射线所入射的一侧的面上。
[0017]在阵列基板2中可以设置有基板2a、光电转换部2b、控制线(或栅极线)2c1、数据线(或信号线)2c2和保护层2f等。另外，光电转换部2b、控制线2c1和数据线2c2等的数量并不
限于所例示的情况。在本实施方式所涉及的X射线检测器1中，光电转换部2b成为与闪烁体3协同地检测X射线的检测部。
[0018]基板2a呈板状，例如能够由无碱玻璃、聚酰亚胺树脂等形成。基板2a的平面形状例如可设为四边形。能够在基板2a的与支撑板24侧相反一侧的面上设置有多个光电转换部2b。光电转换部2b能够设置在由控制线2c1和数据线2c2所划分的区域中。多个光电转换部2b可排列成矩阵状而设置。另外，一个光电转换部2b对应于X射线图像中的一个像素(pixel)。
[0019]可以在多个光电转换部2b中分别设有光电转换元件2b1、以及作为开关元件的薄膜晶体管(TFT；Thin Film Transistor)2b2。此外，在光电转换元件2b1中，可以设置有存储转换得到的电荷的存储电容器2b3。存储电容器2b3例如可以呈膜状，设置在各薄膜晶体管2b2的下方。其中，根据光电转换元件2b1的容量，光电转换元件2b1能兼用作存储电容器2b3。
[0020]光电转换元件2b1例如可以设为光电二极管等。薄膜晶体管2b2能够对存储电容器2b3进行存储电荷和释放电荷的开关。如图3所示，薄膜晶体管2b2具有栅极电极2b2a、漏极电极2b2b以及源极电极2b2c。薄膜晶体管2b2的栅极电极2b2a可与对应的控制线2c1电连接。薄膜晶体管2b2的漏极电极2b2b可与对应的数据线2c2电连接。薄膜晶体管2b2的源极电极2b2c可与对应的光电转换元件2b1和存储电容器2b3电连接。此外，光电转换元件2b1的阳极侧以及存储电容器2b3可电连接至与后文中阐述的模拟电路4b电连接的布线图案4a1的接地(模拟接地)。
[0021]多条控制线2c1可以隔开规定间隔相互平行地设置。例如，控制线2c1可以沿行方向延伸。一条控制线2c1与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d1中的一个电连接。一个布线焊盘2d1与设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线的另一端可与设置在电路基板4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测器，包括：壳体；阵列基板，该阵列基板设置在所述壳体的内部并且具有多个检测部，该多个检测部直接地或与闪烁体协同地检测放射线；电路基板，该电路基板设置在所述壳体的内部并且与所述阵列基板电连接；以及导电部，该导电部在所述壳体的内部，并且设置在设于所述电路基板的膜状的接地与设于所述壳体并具有导电性的板状体之间，所述导电部具有导电性，并且包含比所述接地的材料更柔软的材料。2.如权利要求1所述的放射线检测器，其特征在于，所述导电部具有：...

【专利技术属性】
技术研发人员：川端智树，身深亮，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：