本发明专利技术涉及一种用于借助于线锯切出多个切片的方法，其中线阵列(2)在两个线引导辊(1)之间的平面中被张紧，其中所述两个线引导辊(1)中的每一个被安装在固定轴承(5)与浮动轴承(6)之间并且包括至少一个腔室(18)和外壳部(8)。所述方法包括经由线阵列(2)输送工件(4)，与此同时通过根据第一温度曲线的规范利用第一冷却流体控制线引导辊(1)的腔室(18)的温度来同时改变所述两个线引导辊(1)的外壳部(8)的长度，并且与此同时通过根据第二温度曲线的规范利用第二冷却流体控制线引导辊(1)的固定轴承(5)的温度来使所述两个线引导辊(1)的浮动轴承(6)同时轴向移动。动轴承(6)同时轴向移动。动轴承(6)同时轴向移动。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在一系列切断操作期间借助于线锯从工件切出多个切片的方法
[0001]本专利技术涉及一种用于在一系列切断(切分)操作期间借助于线锯从工件切出多个切片的方法，其中，所述线锯包括由锯线的移动线区段构成的线阵列和致动装置，并且所述线阵列在两个线引导辊之间的平面中被张紧，并且其中所述两个线引导辊中的每一个被支撑在固定轴承与浮动轴承之间并包括至少一个腔室和外壳部，所述外壳部包围所述线引导辊的芯体部并且被构造有用于线区段的引导凹槽。在所述切断操作中的每一个期间，在存在磨蚀地作用于工件上的硬质材料和工作流体的情况下，相应的工件借助于致动装置沿着垂直于工件轴线且垂直于线阵列的平面的供给(输送)方向被供给通过所述线阵列。
技术介绍
[0002]这种用于切出多个切片的方法可以借助于搭接切片或磨削切片来实现。
[0003]在搭接切片的情况下，由液态载体介质中的硬质材料组成的浆料形式的工作流体被供给到在线表面与工件之间形成的工作空间。在搭接切片的情况下，材料借助于涉及工具载体(锯线)、工具(磨料)和工件的三体相互作用被去除。
[0004]在磨削切片的情况下，使用其表面中牢固地粘结有硬质材料的锯线，并且工作流体被供应，其中所述工作流体自身不含磨削材料并用作冷却润滑剂。在磨削切片的情况下，材料借助于涉及作为工具的金刚石涂敷锯线和工件的二体相互作用被去除。
[0005]在常规线锯的情况下，所述线引导辊中的每一个在其一个端面附近设有以固定方式连接至机架并被称为固定轴承的轴承，并且在相反的端面附近设置有可相对于机架在线引导辊的轴向方向上移动并被称为浮动轴承的轴承。
[0006]线阵列的线引导辊通常包括由金属制成的芯体部，所述芯体部通常被例如由聚氨酯制成的外壳部包围(包覆)。所述外壳部具有多个凹槽，其用于引导形成线锯的线阵列的锯线。外壳部通常被紧固到线阵列的相应线引导辊的芯体部上，以使得当存在温度变化时，其可以在两端轴向不受阻碍地膨胀或收缩。尽管如此，外壳部可以分别通过一个或两个夹持环固定于线引导辊的一侧或两侧。
[0007]存在旨在抵消切断操作期间线阵列和工件相对于彼此的布置的变化以便改善待切割下来的切片的主表面的平面平行度的已知措施。
[0008]US 2002/0 174 861 A1描述了一种方法，该方法设想控制工件的温度，以便限制被切割下来的切片的翘曲。
[0009]在US 2015/0 158 203 A1中，提出通过线引导辊的芯体部中的温度变化选择性地引起外壳部的长度变化，以便改善切割下来的切片的平整度。
[0010]US 2012/0 240 915 A1描述了一种方法，该方法提供对线引导辊及其固定轴承的独立冷却，以减小由温度变化引起的线区段和工件的相对轴向移动。
[0011]US 5 377 568公开了一种方法，其中，位于线引导辊的外侧的参考表面相对于机架的位置被测量，并且通过调节线引导辊内部的温度来实现线引导辊的热长度增加或长度
减少，直到已经再次对参考表面的测得的位置变化进行了补偿为止。
[0012]WO 2013/079683 A1公开了一种方法，其中，首先，测量在线引导辊轴承的不同温度下获得的切片形状，并且将这些形状中的每一个与相应相关联的轴承温度一起存储，然后在后续切割中，选择与期望目标形状最佳匹配的轴承温度。
[0013]US 5 875 770公开了一种方法，其中，测量来自切割的切片的形状，通过形成相对于切片的期望理想形状的差异计算与切割深度相关的修正曲线，并且在后续切割中，在切断操作期间根据该修正曲线使工件相对于线阵列在轴向方向上移动。
[0014]尽管提出了这些措施，但仍然需要改进，一方面是因为这些措施仅仅具有有限的效果，另一方面是因为特别是在半导体行业中对切片的平整度和平面平行度的要求越来越高。
技术实现思路
[0015]本专利技术的目的是制造其形状尽可能接近地匹配目标形状的可用切片。
[0016]本专利技术的目的通过一种用于在被划分为初始切割和后续切割的一系列切断操作期间借助于线锯从工件切出多个切片的方法来实现，其中，所述线锯包括由锯线的移动线区段构成的线阵列和致动装置，并且所述线阵列在两个线引导辊之间的平面中被张紧，其中所述两个线引导辊中的每一个被支撑在固定轴承与浮动轴承之间并且包括至少一个腔室和外壳部，所述外壳部包围所述线引导辊的芯体部并构造有用于所述线区段的引导凹槽，所述方法包括
[0017]在所述切断操作中的每一个期间，在存在磨蚀地作用于工件上的硬质材料和工作流体的情况下，借助于致动装置沿着垂直于工件轴线且垂直于所述线阵列的平面的供给方向将相应的工件供给通过所述线阵列，其包括
[0018]在所述切断操作中的每一个期间，将所述工件供给通过所述线阵列，与此同时通过根据第一温度曲线的规范利用第一冷却流体调节所述线引导辊的腔室的温度来同时改变所述两个线引导辊的外壳部的长度，所述第一温度曲线依赖于切割深度指定(规定)第一冷却流体的温度并与第一修正曲线相关，所述第一修正曲线依赖于切割深度指定所述外壳部的长度变化；以及
[0019]与此同时通过根据第二温度曲线的规范利用第二冷却流体调节所述线引导辊的固定轴承的温度来使所述两个线引导辊的浮动轴承同时轴向移动，所述第二温度曲线依赖于切割深度指定第二冷却流体的温度并与第二修正曲线相关，所述第二修正曲线依赖于切割深度指定所述浮动轴承的行程，其中所述第一修正曲线和所述第二修正曲线相反于(抑制)形状偏差；以及
[0020]在所述切断操作中的每一个之前确定所述形状偏差。
[0021]所述方法可以被配置成搭接切片或磨削切片。切割深度(doc)表示与供给方向相反且在进行中的切割期间从线网(阵列)与工件的第一接触点延伸到线网在工件中的瞬时位置的长度。
[0022]例如，可以按照在US 2015/0 158 203 A1中提出的方式来实现通过调节线引导辊的腔室的温度改变张紧所述线阵列的线引导辊中的外壳部和线引导辊的轴向长度(以下被称为线引导热控制，WGHC)。此外，根据第一温度曲线的规范使第一冷却流体通过相应的线
引导辊的腔室，其中所述线引导辊的腔室的温度利用所述第一冷却流体被调节，所述第一温度曲线依赖于切割深度指定第一冷却流体的温度。第一温度曲线与第一修正曲线相关，所述第一修正曲线依赖于切割深度指定线引导辊的相应外壳部的长度变化(经由热膨胀或收缩)。事先，通过实验确定引起相应线引导辊的外壳部的指定长度变化所需的第一冷却剂的温度变化。第一修正曲线相反于在所述切断操作中的每一个之前确定的形状偏差。
[0023]可以在线引导辊的芯体部中设置不止一个(超过一个)腔室，并独立地将冷却流体供应到每个腔室，在任何情况下，每个腔室的温度遵循其自身的温度曲线。在这种情况下，这些温度曲线共同导致第一修正曲线要求的相应线引导辊的外壳部的长度变化。
[0024]调节固定轴承的温度(以下称为线引导温度控制，WGTC)经由固定轴承的热膨胀或收缩而导致线引导辊的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在被划分为初始切割和后续切割的一系列切断操作期间借助于线锯从工件切出多个切片的方法，其中，所述线锯包括由锯线的移动线区段构成的线阵列和致动装置，并且所述线阵列在两个线引导辊之间的平面中被张紧，其中所述两个线引导辊中的每一个被支撑在固定轴承与浮动轴承之间并且包括至少一个腔室和外壳部，所述外壳部包围所述线引导辊的芯体部并且被构造有用于所述线区段的引导凹槽，所述方法包括在所述切断操作中的每一个期间，在存在磨蚀地作用于所述工件上的硬质材料和工作流体的情况下，借助于所述致动装置沿着垂直于工件轴线且垂直于所述线阵列的平面的供给方向将相应的工件供给通过所述线阵列，其包括在所述切断操作中的每一个期间，将所述工件供给通过所述线阵列，与此同时通过根据第一温度曲线的规范利用第一冷却流体调节所述线引导辊的腔室的温度来同时改变所述两个线引导辊的外壳部的长度，所述第一温度曲线依赖于切割深度指定所述第一冷却流体的温度并与第一修正曲线相关，所述第一修正曲线依赖于切割深度指定所述外壳部的长度变化；并且与此同时通过根据第二温度曲线的规范利用第二冷却流体调节所述线引导辊的固定轴承的温度，所述第二温度曲线依赖于切割深度指定所述第二冷却流体的温度并与第二修正曲线相关，所述第二修正曲线依赖于切割深度指定所述浮动轴承的行程，其中所述第一修正曲线和所述第二修正曲线相反于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：硅电子股份公司，
类型：发明
国别省市：
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