一种片供给装置，能够防止从剥离片剥离粘接片的时刻偏离期望的时刻，且具备：送出单元(20)，其重复进行在带状的剥离片(RL)上隔开规定的间隔临时粘贴有粘接片(AS)的原材料(RS)的送出和停止该原材料(RS)的送出来进行该原材料(RS)的间歇输送；剥离单元(30)，其将通过送出单元(20)送出的原材料(RS)的粘接片(AS)从剥离片(RL)剥离，送出单元(20)在停止原材料(RS)的送出时维持抑制该原材料(RS)的移动的制动状态。制动状态。制动状态。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】片供给装置以及片供给方法
[0001]本专利技术涉及一种片供给装置以及片供给方法。
技术介绍
[0002]公知有一种供给粘接片的片供给装置(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2008
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174247号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题
[0004]对于专利文献1所记载的片粘贴装置1(片供给装置)而言，在进行间歇输送即重复进行原材料R(原材料)的送出和停止该原材料的送出的期间，当张力调整辊3(送出单元)停止的送出停止时，有可能导致如下的原材料的送出错误的情况，即：发生该送出单元中的原材料的不希望的送出、抽回。当这样发生原材料的送出错误时，会导致如下不良情况：利用剥离板5(剥离单元)从剥离片RL(剥离片)剥离粘接片S(粘接片)的时刻偏离期望的时刻，不能将该粘接片粘贴于晶圆W(被粘物)的规定的位置。
[0005]本专利技术的目的在于，提供一种能够防止从剥离片剥离粘接片的时刻偏离期望的时刻的片供给装置以及片供给方法。(二)技术方案
[0006]本专利技术采用了权利要求记载的结构。(三)有益效果
[0007]根据本专利技术，在停止原材料的送出时维持抑制原材料的移动的制动状态，因此不会发生原材料的送出错误。因此，能够防止从剥离片剥离粘接片的时刻偏离期望的时刻。
附图说明
[0008]在图1中，(A)是采用本专利技术一实施方式的片供给装置的片粘贴装置的说明图，(B)、(C)是本专利技术的变形例的说明图。
具体实施方式
[0009]以下，基于附图对本专利技术一实施方式进行说明。此外，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴分别具有正交的关系，X轴及Y轴设定为规定平面内的轴，Z轴设定为与所述规定平面正交的轴。并且，在本实施方式中，以从与Y轴平行的图1中的近前方向观察的情况为基准，当不指定图来表示方向时，“上”是Z轴的箭头方向且“下”是其相反方向，“左”是X轴的箭头方向且“右”是其相反方向，“前”是平行于Y轴的图1中近前方向且“后”是其相反方向。
[0010]采用本专利技术的片供给装置EA的片粘贴装置EA1具备：原材料支撑单元10，其具有支撑轴11和引导辊12，其中，所述支撑轴11将在带状的剥离片RL上隔开规定的间隔临时粘贴有粘接片AS的原材料RS以能够送出的方式支撑；送出单元20，其重复进行原材料RS的送出和停止该原材料RS的送出来进行该原材料RS的间歇输送；剥离单元30，其具有将通过送出单元20送出的原材料RS的粘接片AS从剥离片RL剥离的剥离板31；按压单元40，其具有将通过剥离单元30剥离的粘接片AS按压于被粘物WK进行粘贴的按压辊41；以及回收单元50，其将通过剥离单元30剥离了粘接片AS的剥离片RL回收，所述片粘贴装置EA1配置于输送被粘物WK的被粘物输送单元60的附近。此外，本专利技术的片供给装置EA由送出单元20、剥离单元30、回收单元50构成。
[0011]送出单元20具备：转动马达21，其作为驱动设备且具有未图示的制动单元；以及驱动辊22，其支撑于转动马达21的未图示的输出轴，并与夹送辊23夹持原材料RS。送出单元20为如下结构：在停止原材料RS的送出时维持抑制该原材料RS的移动的制动状态。对于本实施方式而言为如下结构：作为转动马达21而采用带制动器的马达，该带制动器的马达的电磁制动器作为制动单元发挥功能，从而抑制原材料RS的移动。
[0012]回收单元50具备：转动马达51，其作为驱动设备；驱动辊52，其支撑于转动马达51的未图示的输出轴，并与夹送辊53夹持剥离片RL；以及回收辊54，其支撑于未图示的驱动设备的输出轴，在该片粘贴装置EA1(片供给装置EA)进行自动运转的期间，始终对回收辊54与夹送辊53之间存在的剥离片RL施加规定的张力。回收单元50为如下结构：在停止原材料RS的送出时对回收单元50与送出单元20之间存在的剥离片RL始终施加回收力。由此能够防止：剥离片RL从回收单元50的侧抽回，剥离片RL在送出单元20与回收单元50之间松弛。此外，回收单元50以如下方式进行控制，即：使得在原材料RS的送出时对剥离片RL施加的送出时张力、与在停止原材料RS的送出时对剥离片RL施加的停止时张力成为不同的值。在本实施方式的情况下，以使得停止时张力成为比送出时张力小的值的方式进行设定，防止：当未对原材料RS施加送出力时，对剥离片RL过度施加张力而使该剥离片RL破裂、损伤。
[0013]被粘物输送单元60具备支撑台62，该支撑台62支撑于作为驱动设备的线性马达61的滑块61A且具有保持面62A，该保持面62A能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)吸附保持。
[0014]对以上的采用片供给装置EA的片粘贴装置EA1的动作进行说明。首先，对于在如图1的(A)中实线所示的初始位置配置各部件的片粘贴装置EA1而言，该片粘贴装置EA1的使用者(以下简称为“使用者”)如图示那样设置原材料RS，之后经由未图示的操作面板或个人计算机等操作单元输入开始自动运转的信号。于是，送出单元20及回收单元50使转动马达21、51驱动，进行原材料RS的送出，当起始的粘接片AS的送出方向前端部在剥离板31的剥离缘31A被剥离了规定长度时，送出单元20及回收单元50停止转动马达21、51的驱动，停止原材料RS的送出。此外，送出单元20在停止转动马达21的驱动而使原材料RS的送出停止的瞬间驱动制动单元，维持抑制驱动辊22的转动而抑制原材料RS的移动的制动状态，以避免发生该送出单元20中的原材料RS的不希望的送出、抽回。
[0015]接着，当使用者或多关节机器人或带式输送机等未图示的输送单元将被粘物WK载置于支撑台62上时，被粘物输送单元60使未图示的减压单元驱动，开始进行被粘物WK在支
撑面62A上的吸附保持。之后，被粘物输送单元60使线性马达61驱动而使支撑台62向左方移动，当被粘物WK到达规定的位置时，送出单元20使制动单元驱动，当解除了制动状态后，送出单元20及回收单元50使转动马达21、51驱动，并并被粘物WK的移动速度匹配地送出原材料RS。由此，从剥离片RL剥离粘接片AS，对于从该剥离片RL剥离的粘接片AS而言，如图1的(A)中双点划线所示那样，被按压辊41按压于被粘物WK进行粘贴。接着，起始的粘接片AS整体粘贴于被粘物WK并形成一体物UP，当该起始的粘接片AS的后续的下一个粘接片AS的送出方向前端部在剥离板31的剥离缘31A被剥离了规定长度时，则送出单元20及回收单元50停止转动马达21、51的驱动，停止原材料RS的送出。这里也是：送出单元20在停止转动马达21的驱动而使原材料RS的送出停止的瞬间使制动单元驱动，与上述同样地维持制动状态。并且，当一体物UP到达按压辊41的左方规定位置时，被粘物输送单元60停止线性马达61的驱动，之后停止未图示的减压单元的驱动，解除在支撑面62A上对被粘物WK的吸附保持。接着，当使用者或未图示的输送单元将一体物UP向下一个工序输送时，被粘物输送单元60驱动线性马达61，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种片供给装置，其特征在于，具备：送出单元，其重复进行在带状的剥离片上隔开规定的间隔临时粘贴有粘接片的原材料的送出和停止该原材料的送出来进行该原材料的间歇输送；以及剥离单元，其将通过所述送出单元送出的所述原材料的所述粘接片从所述剥离片剥离，所述送出单元在停止所述原材料的送出时维持抑制该原材料的移动的制动状态。2.根据权利要求1所述的片供给装置，其特征在于，具备回收单元，该回收单元将通过所述剥离单元剥离了所述粘接片的所述剥离片回收，所述回收单元在停止所述原材料的送出时，对该回收单元与所述送出单元之间存在的所述剥离片始终或者在规定的时刻施加回收力。3.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杉下芳昭，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：
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