一种离子枪用钼片安装时定位结构制造技术

本发明专利技术涉及离子枪钼片安装技术领域。一种离子枪用钼片安装时定位结构，包括圆形的离子枪主体，离子枪主体上设有圆形的钼片，所述的离子枪主体上盖有定位盖，定位盖上均匀开设有若干个安装孔，定位盖上还开设有若干个初定位孔，每个初定位孔内均设有初定位销，定位盖中部均匀开设有若干个用于精准定位钼片的精准定位孔，每个精准定位孔内均设有精准定位销。本发明专利技术提供了一种便于组装，安装效率高，有效确保钼片安装位置精准，减少维护人员工作量，降低成产成本的一种离子枪用钼片安装时定位结构；解决了现有技术中存在的钼片安装时定位效果差，使用时参数不平均，影响产品质量，后期维护成本高的技术问题。维护成本高的技术问题。维护成本高的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种离子枪用钼片安装时定位结构


[0001]本专利技术涉及离子枪钼片安装
，尤其涉及一种离子枪用钼片安装时定位结构。

技术介绍

[0002]微调机是用于晶体产品生产过程中用于晶体微调工序的设备，微调机的核心部件是离子枪（IONGUN），离子枪的日常维护保养主要是更换钼片，以保证能进行正常的蚀刻功能，而钼片是由厚度0.2mm和0.3mm两种不同的尺寸组合安装，在安装时需要对其进行垂直位置校准，以保证离子枪输出参数正常，目前现有的校准方式是用多根定位针进行校准作业，但校准时两片钼片会发生轻微错位，很难保证两片钼片处于同一垂直方向上，导致离子枪安装至微调机上使用时，输出参数不平均，影响产品品质，同时，也增加了维护保养人员的工作量，增加人力成本，现有的离子枪在维护保养的过程中只是使用专用的定位针进行钼片的定位，定位完成后的离子枪在实际使用过程中存在输出速率偏差较大，容易影响产品品质，同时，组装不良的离子枪需要重新拆解对钼片进行重新定位，极大增加了维护人员的工作量，降低了工作效率，也间接增加了生产成本，因此具有改进的必要。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供了一种便于组装，安装效率高，有效确保钼片安装位置精准，减少维护人员工作量，降低成产成本的一种离子枪用钼片安装时定位结构；解决了现有技术中存在的钼片安装时定位效果差，使用时参数不平均，影响产品质量，后期维护成本高的技术问题。
[0004]本专利技术的上述技术问题是通过下述技术方案解决的：一种离子枪用钼片安装时定位结构，包括圆形的离子枪主体，离子枪主体上设有圆形的钼片，所述的离子枪主体上盖有定位盖，定位盖上均匀开设有若干个安装孔，定位盖上还开设有若干个用于初步定位钼片的初定位孔，每个初定位孔内均设有可以适用于初定位孔不同分布情况的初定位销，定位盖中部均匀开设有若干个用于精准定位钼片的精准定位孔，每个精准定位孔内均设有可以适用于精准定位孔不同分布情况的精准定位销。安装时，先将钼片放置在离子枪主体的上表面，然后将定位盖盖在钼片上方，先将初定位销插在初定位孔内，初定位销可以插到钼片上，通过多个初定位销将钼片在离子枪主体上的位置初步固定，然后将精准定位销插在精准定位孔内，保证钼片的位置准确的固定，然后再将螺钉通过安装孔安装到钼片与离子枪主体上，将钼片牢固的安装到离子枪主体上，然后再将初定位销与精准定位拔出，最后将定位盖拆卸下来，就完成了钼片的安装，可以有效地保证钼片安装时位置的准确，由于同一尺寸的钼片上需要安装螺丝的预留孔位置也会有所不同，所以初定位销可以适用于初定位孔不同的分布情况，精准定位销可以适用于精准定位孔不同的分布情况，同一尺寸的钼片与定位盖可以使用同一套初定位销与精准定位销。
[0005]作为优选，所述的初定位销与精准定位销均包括定位端与手持端，初定位销与精
准定位销的手持端直径大于定位端的直径。初定位销与精准定位销的手持端主要用于手持操作，初定位销与精准定位销的定位段主要用于插入到钼片内对钼片进行。
[0006]作为优选，所述的初定位孔与精准定位孔均为直径由上至下减小的阶梯孔。初定位孔与精准定位孔直径较大的孔作用是放置初定位销与精准定位销，避免初定位销与精准定位销在初定位孔、精准定位孔内晃动，初定位孔与精准定位孔直径较小的孔用于插入初定位销与精准定位销。
[0007]作为优选，所述的初定位孔的尺寸大于精准定位孔的尺寸，初定位销的尺寸大于精准定位销的尺寸。初定位销的作用是初步定位钼片的位置，所以初定位销与初定位孔的尺寸较大，可以更加牢固的将钼片固定在离子枪主体上，精准定位销的作用是精准的固定钼片位置，所以精准定位销的数量较多，尺寸较小。
[0008]作为优选，所述的定位盖的直径与离子枪主体的直径相同，定位盖的高度大于离子枪主体高度的二分之一。定位盖与离子枪主体的直径相同可以保证定位盖盖上后不会在离子枪主体上晃动，定位盖的高度大于离子枪主体高度的二分之一可以保证定位盖安装后的稳定，进一步保证钼片安装时位置的精准。
[0009]作为优选，所述的初定位孔的数量为2个，初定位销的数量为2个。初定位孔的作用是初步对钼片的位置进行固定，所以初定位孔的数量较少，初定位孔分布在定位盖的两侧，即可完成对钼片的初步定位。
[0010]作为优选，所述的精准定位孔的数量为6个，精准定位销的数量为6个。精准定位销的作用是准确的对钼片位置进行固定，所以精准定位孔与精准定位销的数量较多，且密集分布在定位盖的中心处，结构更加紧凑。
[0011]因此，本专利技术的一种离子枪用钼片安装时定位结构具备下述优点：有效增加钼片安装时定位的准确性，保证使用参数与产品质量，减少后期维护，便于操作。
附图说明
[0012]图1是本专利技术的一种离子枪用钼片安装时定位结构的立体结构示意图。
[0013]图2是图1中定位盖的立体结构示意图。
[0014]图3是图1的左视剖视结构示意图。
[0015]图中，离子枪主体1，钼片2，定位盖3，安装孔4，初定位孔5，初定位销6，精准定位孔7，精准定位销8，定位端9，手持端10。
具体实施方式
[0016]下面通过实施例，并结合附图，对专利技术的技术方案作进一步具体的说明。
[0017]实施例：
[0018]如图1和2和3所示，一种离子枪用钼片安装时定位结构，包括圆形的离子枪主体1，离子枪主体1的顶部放置有圆形的钼片2，钼片2上方盖有定位盖3，定位盖3的直径与离子枪主体1的直径相同，定位盖3的高度大于离子枪主体1高度的二分之一，定位盖3的上表面均匀开设有若干个安装孔4，定位盖3上对称开设有2个初定位孔5，每个初定位孔5内均安装有可拆卸的初定位销6，定位盖3的中部均匀开设有6个精准定位孔7，每个精准定位孔7内均安装有可拆卸的精准定位销8，初定位销6与精准定位销8均包括定位端9与手持端10，初定位
销6与精准定位销8的手持端10直径大于定位端9的直径，初定位孔5与精准定位孔7均为直径由上至下减小的阶梯孔，初定位孔5的尺寸大于精准定位孔7的尺寸，初定位销6的尺寸大于精准定位销8的尺寸。
[0019]安装时，先将钼片2放置在离子枪主体1的上表面，然后将定位盖3盖在钼片2上方，保证安装孔4与钼片2上螺钉安装的孔位对齐，然后将2个初定位销6安装在初定位孔5内，钼片2在离子枪主体1上位置被初步固定，保证钼片2位置准确无误后，将6个精准定位销8依次安装到精准定位孔7内，此时钼片2的位置完全固定，最后将螺钉依次通过安装孔4安装到钼片2上，钼片2就完全的固定安装到离子枪上了，再将初定位销6与精准定位销8拆下来，最后将定位盖3取下，就完成了钼片2的安装。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子枪用钼片安装时定位结构，包括圆形的离子枪主体，离子枪主体上设有圆形的钼片，其特征在于：所述的离子枪主体上盖有定位盖，定位盖上均匀开设有若干个安装孔，定位盖上还开设有若干个用于初步定位钼片的初定位孔，每个初定位孔内均设有可以适用于初定位孔不同分布情况的初定位销，定位盖中部均匀开设有若干个用于精准定位钼片的精准定位孔，每个精准定位孔内均设有可以适用于精准定位孔不同分布情况的精准定位销。2.根据权利要求1所述的一种离子枪用钼片安装时定位结构，其特征在于：所述的初定位销与精准定位销均包括定位端与手持端，初定位销与精准定位销的手持端直径大于定位端的直径。3.根据权利要求1所述的一种离子枪用钼片安装时定位结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：方健，王启胜，江涛，吴志军，
申请(专利权)人：宁波晶创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：