【技术实现步骤摘要】
一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构
[0001]本技术涉及半导体设备领域，具体公开一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构。
技术介绍
[0002]晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
[0003]现有的部分安装在单片式晶圆清洗装置上的喷淋机构在使用的过程中，由于喷淋管的数量较少，导致喷淋管需要采用伺服驱动系统进行往复移动，导致装置的喷淋机构成本较高，同喷淋机构对晶圆进行喷淋后，需要使用风管对对晶圆表面上的清洗液进行清理，由于风管与晶圆之间的夹角固定，导致装置不能快速对晶圆表面的清洗液进行清理。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构，包括固定安装在电机单片式晶圆清洗装置上的电机和固定安装在电机底端的固定座，所述固定座的内部分别固定套装有水管和气管，所述水管延伸出固定座外部的一端连通有第一软管，所述水管延伸出固定座外部的另一端底部固定连接有固...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构，包括安装在电机(1)单片式晶圆清洗装置上的电机(1)和安装在电机(1)底端的固定座(2)，其特征在于：所述固定座(2)的内部分别套装有水管(3)和气管(4)，所述水管(3)延伸出固定座(2)外部的一端连通有第一软管(5)，所述水管(3)延伸出固定座(2)外部的另一端底部连接有连接在气管(4)上的固定架(6)，所述固定架(6)的内部套装有安装在水管(3)和气管(4)上的调节机构(7)，所述水管(3)的外侧连通有多个底部设置有喷嘴(8)且位于晶圆上方的喷淋组件(9)，所述喷淋组件(9)的顶部通过第一导向架(10)与调节机构(7)之间进行传动连接，所述气管(4)延伸出固定座(2)外部的一端连通有第二软管(11)，所述气管(4)另一端的外侧连通有多个且位于晶圆上方的喷气机构(12)，所述喷气机构(12)的顶部通过第二导向架(13)与调节机构(7)之间进行传动连接。2.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构，其特征在于：所述调节机构(7)包括安装在水管(3)和气管(4)上方的电动伸缩杆(71)和套接在固定架(6)内部且与电动伸缩杆(71)的一端进行套接的拉杆(72)，所述拉杆(72)的两侧分别设置有套装在第二导向架(13)内部的第一导...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐竹林，
申请(专利权)人：华林科纳江苏半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。