【技术实现步骤摘要】
本技术涉及甩干机，具体公开一种双腔甩干机。
技术介绍
1、半导体晶片清洗方法有湿法清洗、干法清洗及干湿结合清洗，其中又以湿法清洗为主流清洗方法，该清洗工艺完成后需要对晶圆进行干燥，晶圆甩干机用于将潮湿的晶圆通过旋转及干燥使晶圆表面干燥，为了提高干燥洁净效果，业内采用往密封的甩干机筒体内通入洁净氮气，使设备具有强制干燥功能，晶圆在甩干的同时，附加氮气干燥作用，彻底去除晶圆表面的尘粒，让晶圆表面干燥。
2、现有的甩干机在运行时，可能会因为地面不平或者其他等问题，会使机器在运行过程中出现晃动响动，可能还会出现机器内部某部件松动的问题，从而降低了机器的使用寿命，同时也会使工作环境产生噪音污染，给工作人员带来一定的影响。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种双腔甩干机，包括机体，所述机体的前表面安装有舱门，所述机体的外侧安装有安装座，所述安装座的内部安装有地栓，所述机体的底面安装有底板，所述底板的上表面安装有固定板，所述固定板的上表面安装有减震垫，所述固定...
【技术保护点】
1.一种双腔甩干机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的前表面安装有舱门（5），所述机体（1）的外侧安装有安装座（3），所述安装座（3）的内部安装有地栓（2），所述机体（1）的底面安装有底板（4），所述底板（4）的上表面安装有固定板（8），所述固定板（8）的上表面安装有减震垫（9），所述固定板（8）的下表面安装有弹性柱（10），所述底板（4）靠近所述固定板（8）的外侧安装有紧固螺栓（6），所述底板（4）的表面开设有安装孔（7）。
2.根据权利要求1所述的一种双腔甩干机，其特征在于：所述底板（4）的形状为U形，所述固定板（8）的长度与所述底板（4）的...
【技术特征摘要】
1.一种双腔甩干机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的前表面安装有舱门（5），所述机体（1）的外侧安装有安装座（3），所述安装座（3）的内部安装有地栓（2），所述机体（1）的底面安装有底板（4），所述底板（4）的上表面安装有固定板（8），所述固定板（8）的上表面安装有减震垫（9），所述固定板（8）的下表面安装有弹性柱（10），所述底板（4）靠近所述固定板（8）的外侧安装有紧固螺栓（6），所述底板（4）的表面开设有安装孔（7）。
2.根据权利要求1所述的一种双腔甩干机，其特征在于：所述底板（4）的形状为u形，所述固定板（8）的长度与所述底板（4）的内径长度相同，所述减震垫（9）的长度与所述机体（1）的底面长度相同，所述固定板（8）大于所述减震垫（9）的长度。
3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐竹林，
申请(专利权)人：华林科纳江苏半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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