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本实用新型提供有一种单片式晶圆清洗装置的喷淋机构，包括固定安装在电机单片式晶圆清洗装置上的电机和固定安装在电机底端的固定座，所述固定座的内部分别固定套装有水管和气管，所述水管延伸出固定座外部的一端连通有第一软管。该单片式晶圆清洗装置的喷淋机...
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