一种磁控溅射设备靶材的打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池制造领域，具体为一种磁控溅射设备靶材的打磨装置。包括打磨平台，打磨平台顶面一侧连接电机箱，电机箱内连接第一伺服电机，电机箱一侧连接第一支座，第一支座一侧转动连接第一卡盘，第一伺服电机的转轴穿过第一支座与第一卡盘连接，打磨平台顶面固定有滑轨，滑轨上滑动连接第二支座，第二支座面一侧转动连接第二卡盘，打磨平台顶面开设滑槽，滑槽内滑动连接第一滑块，第一滑块顶部连接滑板，滑板顶部滑动连接打磨机，第一滑块内套设丝杆，丝杆一端连接第二伺服电机，第二伺服电机与打磨平台内腔连接。本实用新型专利技术可以缩短打磨时间、提升打磨效率，消除打磨时存在的安全隐患，并能使靶材打磨得更加精确和均匀。均匀。均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射设备靶材的打磨装置


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，具体为一种磁控溅射设备靶材的打磨装置。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池的制备过程包括制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积和丝网印刷电极。因为异质结太阳能电池发射极较低，仅通过金属电极从发射极收集电流是不够的，因此需要在非晶硅薄膜上再沉积一层TCO薄膜来收集电流。在沉积TCO薄膜时，通过磁控溅射设备来实现。然而，在溅射沉积TCO薄膜时，磁控溅射设备本身的生产连续性很大程度上决定了整条产线的连续性，而磁控溅射设备的连续性主要取决于其靶材的使用寿命周期。具体的讲，靶材在工作较长时间后，由于放电时间较长，会在靶材表面形成如粗砂状的坚硬颗粒，称为“结瘤”。结瘤后会对磁控溅射设备的沉积均匀性造成很大影响，同时会降低沉积厚度，外观也会有明显的颜色差值。所以在常规生产过程中，会根据各方面管控，结合功率使用情况、膜厚监控等，推断判定靶材是否结瘤。当确定靶材结瘤后需要拆卸靶材进行打磨处理。
[0003]传统的靶材打磨方式基本都为人工打磨，即人员通过角磨机、砂纸等工具，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射设备靶材的打磨装置，其特征在于：包括打磨平台(1)，所述打磨平台(1)的顶面一侧固定连接有电机箱(2)，所述电机箱(2)内固定连接有第一伺服电机(3)，所述电机箱(2)的一侧固定连接有第一支座(4)，所述第一支座(4)的一侧转动连接有第一卡盘(5)，所述第一伺服电机(3)的转轴穿过第一支座(4)与第一卡盘(5)固定连接，所述打磨平台(1)的顶面固定有滑轨(22)，滑轨(22)上滑动连接有第二支座(11)，所述第二支座(11)面向第一支座(4)的一侧转动连接有第二卡盘(10)，所述打磨平台(1)的顶面开设有滑槽(9)，所述滑槽(9)内滑动连接有第一滑块(8)，所述第一滑块(8)的顶部固定连接有滑板(7)，所述滑板(7)的顶部滑动连接有打磨机(6)，所述第一滑块(8)内套设有丝杆(13)，所述丝杆(13)与第一滑块(8)通过第一螺纹孔(17)螺纹连接，所述丝杆(13)的一端固定连接有第二伺服电机(15)，所述第二伺服电机(15)与打磨平台(1)的内腔底部连接，所述第二支座(11)的前后两侧均开设有第二螺纹孔(23...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀杨洲，黄金，杨立友，王继磊，鲍少娟，师海峰，郝伟杰，杨泽奇，高英杰，许利群，李文敏，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：