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本实用新型涉及太阳能电池制造领域，具体为一种磁控溅射设备靶材的打磨装置。包括打磨平台，打磨平台顶面一侧连接电机箱，电机箱内连接第一伺服电机，电机箱一侧连接第一支座，第一支座一侧转动连接第一卡盘，第一伺服电机的转轴穿过第一支座与第一卡盘连接，...
该专利属于晋能光伏技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能光伏技术有限责任公司授权不得商用。

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