本实用新型专利技术公开了一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳以及位于外壳内部的驱动模组，所述驱动模组包括机械臂驱动组件和轴驱动组件，所述机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，所述轴驱动组件通过所述机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；所述轴驱动组件位于外壳内部，所述机械臂位于外壳外部；还包括伸缩管，所述伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接所述外壳。本实用新型专利技术提供的一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，具有防飞溅水的功能，能够适用不同的晶圆搬运场合。够适用不同的晶圆搬运场合。够适用不同的晶圆搬运场合。
【技术实现步骤摘要】
一种用于搬运晶圆的防水驱动装置
[0001]本技术涉及用于机器人驱动装置领域，尤其涉及一种用于搬运晶圆的防水驱动装置。
技术介绍
[0002]在半导体领域，需要用到晶圆搬运机器人对其各个工位进行传送。一般的大气机器人不具有防水功能，只能用于一般环境；在防滴水的环境中，需对晶圆搬运机器人加装接水盘装置，使其具有部分防水功能，但是加装接水盘只能应付低速场合；在防飞溅水的场合，单纯的接水盘装置不足以满足要求。
[0003]传统的伺服传动方式为伺服电机加减速器，两个部品都为单独的个体，造成连接在一起时，存在长度过长或宽度过宽的问题，使得驱动装置体积过大，这对一般的场合可以满足要求，但是在空间有限时，很难达到要求。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本技术的目的在于提供一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，具有防飞溅水的功能，能够适用不同的晶圆搬运场合。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳以及位于外壳内部的驱动模组，所述驱动模组包括机械臂驱动组件和轴驱动组件，所述机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，所述轴驱动组件通过所述机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；所述轴驱动组件位于外壳内部，所述机械臂位于外壳外部；
[0006]还包括伸缩管，所述伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接所述外壳。
[0007]进一步的，所述外壳内部还设置有升降框架，所述轴驱动组件包括Z轴驱动件，所述Z轴驱动件的输出端连接升降框架，所述Z轴驱动件固定在外壳底部。
[0008]进一步的，所述外壳内部设置有固定框架，所述升降框架位于固定框架的内部，所述固定框架的内侧设置有竖直方向上的滑轨，所述升降框架通过下部转接件连接导轨滑块，所述导轨滑块位于滑轨内，且能够沿着滑轨移动。
[0009]进一步的，所述外壳内部还设置有拖链组件，所述外壳的侧壁设置有电气接口，所述拖链组件的一端固定在所述升降框架，另一端固定连接所述电气接口；所述拖链组件内部设置有拖链走线腔室。
[0010]进一步的，所述升降框架的底部设置有气路组件，所述气路组件包括固定钣金、气管结构、电磁阀和调速阀，所述拖链组件远离电器接口的一端与气路组件适配连接。
[0011]进一步的，所述升降框架内部设置有升降走线腔室，所述升降走线腔室中的线缆两端分别连接气路组件和机械臂驱动组件。
[0012]进一步的，所述轴驱动组件包括S轴驱动件，所述S轴驱动件的输出端连接机械臂驱动组件，所述S轴驱动件固定在升降框架中。
[0013]进一步的，所述机械臂驱动组件包括无框力矩电机。
[0014]本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，轴驱动组件通过机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；由于轴驱动组件位于外壳内部，机械臂位于外壳外部，本申请在机械臂驱动组件和外壳之间设置伸缩管，伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接外壳；当机械臂驱动组件相对于外壳升降的时候，伸缩管也能随之升降，这样可以确保无论机械臂驱动组件运动至哪个位置，飞溅水均无法进入外壳内部，本申请具有防水功能的驱动装置可以适用于包含飞溅水的晶圆搬运场合，进一步扩展了驱动装置的应用范围。
附图说明
[0015]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]附图中：
[0018]图1为本申请用于搬运晶圆的防水驱动装置的正视图；
[0019]图2为本申请用于搬运晶圆的防水驱动装置的侧视图；
[0020]图3为本申请用于搬运晶圆的防水驱动装置的俯视图；
[0021]图4为本申请固定框架的外观示意图；
[0022]图5为本申请外壳的外观示意图；
[0023]附图标记：1、拖链组件；2、电气接口；3、气路组件；4、升降框架；5、外壳；6、固定框架；7、S轴驱动件；8、机械臂驱动组件；9、伸缩管；10、Z轴驱动件；11、导轨滑块；12、外壳钣金一；13、外壳钣金二；14、防水油封；15、迷宫件；16、下部转接件；17、交叉滚子轴承；18、上部转接件。
具体实施方式
[0024]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两
个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本技术。在其它情况中，省略对众所周知的系统、机构、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本技术的描述。
[0027]请参阅图1
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图5，本申请提供的一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳5以及位于外壳5内部的驱动模组，驱动模组包括机械臂驱动组件8和轴驱动组件，机械臂驱动组件8的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，轴驱动组件通过机械臂驱动组件8带动机械臂运动；轴驱动组件位于外壳5内部，机械臂位于外壳5外部；还包括伸缩管9，伸缩管9的一端固定连接机械臂驱动组件8本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳以及位于外壳内部的驱动模组，其特征在于，所述驱动模组包括机械臂驱动组件和轴驱动组件，所述机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，所述轴驱动组件通过所述机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；所述轴驱动组件位于外壳内部，所述机械臂位于外壳外部；还包括伸缩管，所述伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接所述外壳。2.根据权利要求1所述的一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，其特征在于，所述外壳内部还设置有升降框架，所述轴驱动组件包括Z轴驱动件，所述Z轴驱动件的输出端连接升降框架，所述Z轴驱动件固定在外壳底部。3.根据权利要求2所述的一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，其特征在于，所述外壳内部设置有固定框架，所述升降框架位于固定框架的内部，所述固定框架的内侧设置有竖直方向上的滑轨，所述升降框架通过下部转接件连接导轨滑块，所述导轨滑块位于滑轨内，且能够沿着滑轨移动。4.根据权利要求2所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：曲泉铀，古市昌稔，刘洋，武一鸣，张平，王晨旭，苗义，朱骏驰，王贺明，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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