等离子体蚀刻机制造技术

本发明专利技术涉及电路印刷技术领域，提出了等离子体蚀刻机，包括开闭板，开闭板和机体可拆卸连接；进气系统，进气系统包括盖板、进气管和气体净化器，盖板通过多个进气孔和刻蚀腔体连通，气体净化器和进气管连通，气体净化器包括净化箱和多个吸附管，净化箱可拆卸连接有箱盖，吸附管安装在净化箱的内部，吸附管的内部放置有吸附条，气体净化器的内部安装有驱动机构；处理平台，处理平台安装在机体的顶部；抽真空系统，抽真空系统包括真空泵、副产物收集组件和抽气腔，真空泵和副产物收集组件连通，并且副产物收集组件通过快接头和抽气腔连通，本发明专利技术可对导入等离子体蚀刻机内部的气体进行净化，便于对抽真空管路进行更换或维修。便于对抽真空管路进行更换或维修。便于对抽真空管路进行更换或维修。

【技术实现步骤摘要】
等离子体蚀刻机


[0001]本专利技术涉及电路印刷
，具体涉及等离子体蚀刻机。

技术介绍

[0002]电路印刷采用照相制版技术，即把拍摄下来的图片底版蚀刻在铜版或锌版上，用这种铜版或锌版去进行印刷，等离子体蚀刻机是将图片底版蚀刻在铜版或锌版上的设备。等离子体刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
[0003]目前的等离子体蚀刻机通常包括反应室、电源、真空部分，铜版或锌版送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在铜版或锌版表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。在对铜版或锌版进行蚀刻时，需要将气体导入反应室的内部，现有的等离子体蚀刻机通常未设置净化装置对气体进行净化，气体中的杂质颗粒若进入反应室的内部会对气体的电离产生干涉，从而影响刻蚀质量；并且在进行电路印刷时，由于使用真空泵将挥发的副产物抽出，同时在蚀刻过程中反应室内部温度较高，高温挥发副产物在真空泵的作用下对抽真空系统的管路造成冲击，管路使用寿命有限，现有的等离子体蚀刻机管路结构较为复杂，在对其进行拆装时较为困难，不便于对其进行清理、更换或维修。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了等离子体蚀刻机，以解决
技术介绍
中提出的现有技术气体导入等离子体蚀刻机内部时容易掺杂杂质，对电路印刷质量造成影响，并且不便于对抽真空管路进行更换或维修的问题。
[0005]（二）技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：等离子体蚀刻机，包括机体和刻蚀腔体，还包括：开闭板，所述开闭板和所述机体可拆卸连接，用于对机体进行封闭；进气系统，所述进气系统包括盖板、进气管和气体净化器，所述盖板铰接在所述机体的顶端，所述进气管和所述盖板连通，所述盖板通过多个进气孔和所述刻蚀腔体连通，所述气体净化器和所述进气管连通，所述气体净化器包括净化箱和多个吸附管，所述净化箱可拆卸连接有箱盖，所述吸附管安装在所述净化箱的内部，所述吸附管的内部放置有用于对气体杂质进行吸附的吸附条，所述净化箱连通有送气管，所述吸附管和送气管以及进气管连通，所述气体净化器的内部安装有用于驱动多个吸附管转动的驱动机构；处理平台，所述处理平台安装在所述机体的顶部，并位于刻蚀腔体的内部，用于放置待印刷的电路板；
抽真空系统，所述抽真空系统包括真空泵、副产物收集组件和抽气腔，所述抽气腔安装在所述机体的内部，所述抽气腔和所述刻蚀腔体连通，所述真空泵和所述副产物收集组件连通，并且副产物收集组件通过快接头和所述抽气腔连通。
[0006]为驱动多个吸附管转动，对工作的吸附管进行更换，所述驱动机构包括电机和转动框，所述电机安装在所述净化箱的内部，所述转动框和所述电机的输出端连接，所述转动框和多个吸附管连接。
[0007]为对挥发的副产物进行收集，所述副产物收集组件包括抽气筒、防护网和收集布袋，所述抽气筒和所述真空泵的抽气端连通，所述抽气筒的顶端通过法兰盘可拆卸连接有顶盖，所述收集布袋的顶端连接有拆卸框，所述拆卸框位于两个法兰盘之间，所述所述防护网安装在所述顶盖的底部，所述收集布袋位于所述防护网的内部，所述顶盖通过连接管和所述快接头连通。
[0008]为对抽气腔进行限位，实现对抽气腔的拆装，所述抽气腔的顶端连通有多个抽气管，所述机体上开设有多个和所述抽气管适配的抽气口，所述机体的内部通过多个转轴转动连接有多个挡板，所述抽气腔的底端和所述挡板接触。
[0009]为实现盖板和机体的转动连接，所述机体的顶端固定连接有转座，所述盖板连接有多个转板，所述转板和所述转座转动连接，所述盖板的底端连接有密封环，所述密封环和所述机体接触。
[0010]为实现开闭板和机体的可拆卸连接，所述开闭板固定连接有多个连接片，所述机体上开设有多个和连接片匹配的连接槽，所述连接片通过螺栓和所述机体可拆卸连接。
[0011]为对进气的压力和速度进行控制，所述进气管连通有质量流量控制器和压力控制器，所述进气管连通有进气腔，所述进气腔和所述盖板连通。
[0012]为对转板和盖板进行支撑，保证盖板的稳定性，所述转座固定连接有限位块，所述转板和所述限位块接触。
[0013]（三）有益效果与已知公有技术相比，本专利技术提供了等离子体蚀刻机，具备以下有益效果：1、本专利技术中，将气体从送气管送入净化箱的内部，气体通过吸附管进入进气管并进入刻蚀腔体，在此过程中通过吸附条对气体中的杂质进行吸附，对气体进行过滤，对比上述的现有技术，该方案可对导入等离子体蚀刻机内部的气体进行净化，不容易有杂质颗粒进入影响蚀刻质量。
[0014]2、本专利技术中，将开闭板从机体上拆卸下来，可对机体内部的元件，包括抽气腔进行维修或拆卸，通过快接头可实现副产物收集组件和抽气腔的快速拆装，通过顶盖和抽气筒的可拆卸连接可将收集布袋从抽气筒的内部取出，对其内部的挥发副产物进行进一步处理，对比上述的现有技术，该方案便于对机体进行拆卸，便于对抽真空管路进行更换或维修。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以
根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本专利技术盖板开启状态下局部剖视的立体结构示意图；图2为本专利技术图1中A处的局部放大结构示意图；图3为本专利技术的立体结构示意图；图4为本专利技术另一角度的立体结构示意图；图5为本专利技术盖板开启状态下的立体结构示意图；图6为本专利技术抽气筒、防护网、收集布袋和放置座等配合的分解的立体结构示意图；图7为本专利技术气体净化器和驱动机构等配合的局部剖视的立体结构示意图；图8为本专利技术气体净化器和驱动机构等配合的分解的立体结构示意图。
[0017]图中的标号分别代表：1、机体；2、刻蚀腔体；3、开闭板；4、连接片；5、支撑板；6、处理平台；100、进气系统；101、盖板；102、进气管；103、转座；104、转板；105、限位块；106、密封环；107、质量流量控制器；108、压力控制器；109、进气腔；200、气体净化器；201、吸附管；202、箱盖；203、送气管；204、净化箱300、驱动机构；301、电机；302、转动框；400、抽真空系统；401、真空泵；402、抽气腔；403、抽气管；404、挡板；405、快接头；500、副产物收集组件；501、抽气筒；502、防护网；503、收集布袋；504、放置座；505、顶盖；506、拆卸框。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.等离子体蚀刻机，包括机体（1）和刻蚀腔体（2），其特征在于，还包括：开闭板（3），所述开闭板（3）和所述机体（1）可拆卸连接，用于对机体（1）进行封闭；进气系统（100），所述进气系统（100）包括盖板（101）、进气管（102）和气体净化器（200），所述盖板（101）铰接在所述机体（1）的顶端，所述进气管（102）和所述盖板（101）连通，所述盖板（101）通过多个进气孔和所述刻蚀腔体（2）连通，所述气体净化器（200）和所述进气管（102）连通，所述气体净化器（200）包括净化箱（204）和多个吸附管（201），所述净化箱（204）可拆卸连接有箱盖（202），所述吸附管（201）安装在所述净化箱（204）的内部，所述吸附管（201）的内部放置有用于对气体杂质进行吸附的吸附条，所述净化箱（204）连通有送气管（203），所述吸附管（201）和送气管（203）以及进气管（102）连通，所述气体净化器（200）的内部安装有用于驱动多个吸附管（201）转动的驱动机构（300）；处理平台（6），所述处理平台（6）安装在所述机体（1）的顶部，并位于刻蚀腔体（2）的内部，用于放置待印刷的电路板；抽真空系统（400），所述抽真空系统（400）包括真空泵（401）、副产物收集组件（500）和抽气腔（402），所述抽气腔（402）安装在所述机体（1）的内部，所述抽气腔（402）和所述刻蚀腔体（2）连通，所述真空泵（401）和所述副产物收集组件（500）连通，并且副产物收集组件（500）通过快接头（405）和所述抽气腔（402）连通。2.根据权利要求1所述的等离子体蚀刻机，其特征在于，所述驱动机构（300）包括电机（301）和转动框（302），所述电机（301）安装在所述净化箱（204）的内部，所述转动框（302）和所述电机（301）的输出端连接，所述转动框（302）和多个吸附管（201）连接。3.根据权利要求1所述的等离...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建文，
申请(专利权)人：赛福仪器承德有限公司，
类型：发明
国别省市：