一种石英舱体等离子清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石英舱体等离子清洗装置，涉及等离子清洗技术领域，该清洗装置包括石英舱体、等离子体激发电极板、顶盖体和显示操作控制板；还包括样品安装件、至少一个驱动杆体和悬吊盘体，所述悬吊盘体可拆卸安装在石英舱体端口处，样品安装件设在悬吊盘体上并延伸至石英舱体内部，所述驱动杆体竖向设在悬吊盘体上且驱动杆体上设有多个竖向等距排列的单向推动件，所述样品安装件安装处理样品处设有带凸条板的环套，单向推动件能够在带凸条板的环套上移时推动其旋转一定角度。本发明专利技术结构简单，能够对样品进行翻转清洗，提高清洗的全面性，等离子体激发强度、密度大而清洗效果明显，便于使用。便于使用。便于使用。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舱体等离子清洗装置


[0001]本专利技术涉及等离子清洗
，具体是一种石英舱体等离子清洗装置。

技术介绍

[0002]等离子体和固体、液体或气体一样，是物质存在的一种状态，也叫做物质的第四态。主要物质是太空中X射线、UV、离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗装置在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域得了广泛的应用，主要用于材料表面清洗、活化、沉积、去胶、刻蚀、接枝聚合、疏水、亲水、金属还原、去除有机物、镀膜前处理、器械消毒、生物育种等。
[0003]目前市场上实验室型等离子清洗装置普遍都是前开门舱体设计，存在取放样品不方便，操作不便利；真空腔体虽然很大，但利用率不高；等离子体激发板小，等离子体激发强度小而密度也小，自然等离子清洗效果不够好；而且置于清洗装置内的样品不易翻转，导致清洗不全面。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种石英舱体等离子清洗装置，以解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种石英舱体等离子清洗装置，包括石英舱体、等离子体激发电极板、顶盖体和显示操作控制板，石英舱体外壁上具有用于导入及排除石英舱体内部气流的导排气组件，所述等离子体激发电极板设在石英舱体底部并通过等离子激发电源与显示操作控制板相连接；顶盖体以翻盖的方式设在石英舱体顶端口；还包括样品安装件、至少一个驱动杆体和悬吊盘体，所述悬吊盘体可拆卸安装在石英舱体端口处，样品安装件设在悬吊盘体上并延伸至石英舱体内部，样品安装件能够伸缩并用于通过阻尼旋转的方式安装处理样品，所述驱动杆体竖向设在悬吊盘体上且驱动杆体上设有多个竖向等距排列的单向推动件，所述样品安装件安装处理样品处设有带凸条板的环套，单向推动件能够在带凸条板的环套上移时推动其旋转一定角度。
[0007]在上述技术方案的基础上，本专利技术还提供以下可选技术方案：
[0008]在一种可选方案中：所述样品安装件包括固定架、至少一对阻尼转杆和至少一个伸缩杆件，所述阻尼转杆为U型框体且顶端部通过伸缩杆件与悬吊盘体相连接，伸缩杆件能够伸缩并通过伸缩的方式调节阻尼转杆的伸入石英舱体内的位置，两个阻尼转杆对称设在阻尼转杆的两端部并能够阻尼旋转，两个阻尼转杆的端部均设有卡住处理样品的固定卡件，所述带凸条板的环套设在阻尼转杆的端部上。
[0009]在一种可选方案中：所述单向推动件包括推动支臂、容纳凹槽和弹性件，所述容纳凹槽开设在驱动杆体的侧壁上，推动支臂一端具有与之转动的杆轴且该杆轴端部与容纳凹槽内壁固定连接；所述弹性件一端与容纳凹槽内壁相连接且另一端与推动支臂远离杆轴的
端部相连接。
[0010]在一种可选方案中：所述石英舱体的顶端部具有扩环套且扩环套的内径大于石英舱体的内径，所述悬吊盘体置于扩环套内部并覆盖在石英舱体顶端口处；所述顶盖体以微倾斜的方式封盖在扩环套的端口处。
[0011]在一种可选方案中：所述顶盖体的一端具有连接支臂且连接支臂一端部与设在石英舱体侧壁上的翻盖支架相铰接，连接支臂另一端部通过紧固件与石英舱体侧部相连接，顶盖体朝向石英舱体的端面上具有至少一个弹压件，所述弹压件能够弹性抵持于悬吊盘体上。
[0012]在一种可选方案中：所述紧固件包括紧固螺杆和固定套，所述紧固螺杆一端与顶盖体侧部铰接且其上具有螺栓，所述固定套固定在扩环套侧壁上且一端开口设置。
[0013]在一种可选方案中：所述导排气组件包括抽气管道、真空检测孔、泄压孔和进气孔，所述抽气管道、真空检测孔、泄压孔和进气孔设在石英舱体底壁上，抽气管道处安装有真空泵且真空泵用于抽取石英舱体内部气流使其形成真空状态；所述真空检测孔处安装真空检测器，所述真空检测器用于检测石英舱体内部的真空度，所述泄压孔处安装有第一电磁阀，所述第一电磁阀并用启闭泄压孔以实现泄压；所述进气孔处安装有第二电磁阀，所述第二电磁阀用于启闭进气孔以实现通过进气孔向石英舱体内部导入气流。
[0014]相较于现有技术，本专利技术的有益效果如下：
[0015]1、本专利技术通过设置等离子体激发电极板以板面激发等离子体而有效利用等离子体激发电源效率，等离子体激发强度、密度大，提高样品的清洗效果；
[0016]2、本专利技术通过通过带凸条板的环套和单向推动件的设置能够在样品上移时使其翻转，从而使得样品可转换表面朝向等离子体激发电极板，提高样品表面清洗的全面性；
[0017]3、本专利技术结构简单，能够对样品进行翻转清洗，提高清洗的全面性，等离子体激发强度、密度大而清洗效果明显，便于使用。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的一个实施例中的该装置内部整体结构示意图。
[0019]图2为本专利技术的一个实施例中的单向推动件结构示意图。
[0020]图3为本专利技术的图1中A处局部放大结构示意图。
[0021]附图标记注释：石英舱体1、等离子体激发电极板2、顶盖体3、样品安装件4、固定架41、阻尼转杆42、固定卡件43、伸缩杆件44、驱动杆体5、推动支臂52、容纳凹槽53、弹性件54、翻盖支架6、连接支臂7、扩环套8、悬吊盘体9、弹压件10、紧固螺杆11、固定套12、带凸条板的环套13、等离子激发电源21、显示操作控制板22、抽气管道23、真空泵231、真空检测孔24、真空检测器241、泄压孔25、第一电磁阀251、进气孔26、第二电磁阀261。
具体实施方式
[0022]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明；在附图或说明中，相似或相同的部分使用相同的标号，并且在实际应用中，各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本专利技术所列举的各实施例仅用以说明本专利技术，并非用以限制本专利技术的范围。对本专利技术所作的任何显而易知的修饰或变更都不
脱离本专利技术的精神与范围。
[0023]在一个实施例中，如图1和图2所示，一种石英舱体等离子清洗装置，包括石英舱体1、等离子体激发电极板2、顶盖体3和显示操作控制板22，石英舱体1外壁上具有用于导入及排除石英舱体1内部气流的导排气组件，所述等离子体激发电极板2设在石英舱体1底部并通过等离子激发电源21与显示操作控制板22相连接；顶盖体3以翻盖的方式设在石英舱体1顶端口；还包括样品安装件4、至少一个驱动杆体5和悬吊盘体9，所述悬吊盘体9可拆卸安装在石英舱体1端口处，样品安装件4设在悬吊盘体9上并延伸至石英舱体1内部，样品安装件4能够伸缩并用于通过阻尼旋转的方式安装处理样品，所述驱动杆体5竖向设在悬吊盘体9上且驱动杆体5上设有多个竖向等距排列的单向推动件，所述样品安装件4安装处理样品处设有带凸条板的环套13，单向推动件能够在带凸条板的环套13上移时推动其旋转一定角度；等离子激发电源21采用带凸条板的环套13.56MHz电源；
[0024]在本实施例的实施过程中，将处理样品旋转安装在样品安装件4上，并通过悬吊盘体9置于石英舱体1端口处使得处理样品本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舱体等离子清洗装置，其特征在于，包括石英舱体、等离子体激发电极板、顶盖体和显示操作控制板，石英舱体外壁上具有用于导入及排除石英舱体内部气流的导排气组件；所述等离子体激发电极板设在石英舱体底部并通过等离子激发电源与显示操作控制板相连接；顶盖体以翻盖的方式设在石英舱体顶端口；还包括样品安装件、至少一个驱动杆体和悬吊盘体，所述悬吊盘体可拆卸安装在石英舱体端口处；样品安装件设在悬吊盘体上并延伸至石英舱体内部，样品安装件能够伸缩并用于通过阻尼旋转的方式安装处理样品；所述驱动杆体竖向设在悬吊盘体上且驱动杆体上设有多个竖向等距排列的单向推动件，所述样品安装件安装处理样品处设有带凸条板的环套，单向推动件能够在带凸条板的环套上移时推动其旋转一定角度。2.根据权利要求1所述的石英舱体等离子清洗装置，其特征在于，所述样品安装件包括固定架、至少一对阻尼转杆和至少一个伸缩杆件，所述阻尼转杆为U型框体且顶端部通过伸缩杆件与悬吊盘体相连接，伸缩杆件能够伸缩并通过伸缩的方式调节阻尼转杆的伸入石英舱体内的位置，两个阻尼转杆对称设在阻尼转杆的两端部并能够阻尼旋转，两个阻尼转杆的端部均设有卡住处理样品的固定卡件，所述带凸条板的环套设在阻尼转杆的端部上。3.根据权利要求1所述的石英舱体等离子清洗装置，其特征在于，所述单向推动件包括推动支臂、容纳凹槽和弹性件，所述容纳凹槽开设在驱动杆体的侧壁上，推动支臂一端具有与之转动的杆轴且该杆轴端部与容纳凹槽内壁固定连接；所述弹性件一端与容纳凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建文，
申请(专利权)人：赛福仪器承德有限公司，
类型：发明
国别省市：