一种膜厚均匀的溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种膜厚均匀的溅射镀膜机，包括：溅射镀膜机本体、马达和微型伺服电机，所述溅射镀膜机本体的左端固定安装有真空泵，所述溅射镀膜机本体的内端滑动安装有底座，所述底座的上端转动安装有靶材，所述靶材的内端设置有磁条，所述马达固定安装在溅射镀膜机本体的下端，所述马达的输出端固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上端固定安装有安装板，所述马达的输出端固定安装有齿轮，所述齿轮的外端啮合连接有链条，所述微型伺服电机固定安装在安装板的上端，所述微型伺服电机的输出端固定安装有螺纹丝杆。该膜厚均匀的溅射镀膜机，方便对镀膜零件进行限位，安拆方便快捷，方便均匀镀膜，材料可被均匀利用。材料可被均匀利用。材料可被均匀利用。

【技术实现步骤摘要】
一种膜厚均匀的溅射镀膜机


[0001]本技术涉及溅射镀膜机相关
，具体为一种膜厚均匀的溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]溅射镀膜机是真空镀膜设备的其中一种，磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术。
[0003]但现有的溅射镀膜机，镀膜厚度不够均匀，不方便对镀膜的产品进行限位，不方便对材料进行均匀利用，因此我们提出一种膜厚均匀的溅射镀膜机，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种膜厚均匀的溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的溅射镀膜机，镀膜厚度不够均匀，不方便对镀膜的产品进行限位，不方便对材料进行均匀利用的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种膜厚均匀的溅射镀膜机，包括：
[0006]溅射镀膜机本体，所述溅射镀膜机本体的左端固定安装有真空泵，所述溅射镀膜机本体的内端滑动安装有底座，所述底座的上端转动安装有靶材，所述靶材的内端设置有磁条；
[0007]马达，所述马达固定安装在溅射镀膜机本体的下端，所述马达的输出端固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上端固定安装有安装板，所述马达的输出端固定安装有齿轮，所述齿轮的外端啮合连接有链条；
[0008]微型伺服电机，所述微型伺服电机固定安装在安装板的上端，所述微型伺服电机的输出端固定安装有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的上端转动安装有连接环。
[0009]优选的，所述螺纹丝杆的外端螺纹连接有移动块，所述移动块的外端转动安装有伸缩机构，所述伸缩机构的顶端转动安装在连接环的外端。
[0010]优选的，所述伸缩机构的外端固定安装有置物杆，所述置物杆的内端固定安装有弹簧的上端。
[0011]优选的，所述弹簧的下端固定安装有拉杆，所述拉杆的外端固定安装有卡合条。
[0012]优选的，所述链条的前端转动安装有齿盘，所述齿盘的外端啮合连接有齿杆。
[0013]优选的，所述齿杆固定安装在底座的下端，所述齿杆卡合安装在溅射镀膜机本体的下端。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1.设置有置物杆、弹簧、拉杆和卡合条，当放置镀膜零件的时候，向下拉动拉杆，然后卡合条收缩，将零件套在置物杆的上端，然后松开拉杆，卡合条即可在弹簧的弹力作用下
卡合在镀膜零件的内部，方便对镀膜零件进行限位，安拆方便快捷；
[0016]2.设置有微型伺服电机、螺纹丝杆和伸缩机构，微型伺服电机的输出端在转动的时候带动螺纹丝杆转动，螺纹丝杆在转动的时候通过连接环和移动块带动伸缩机构进行伸缩，从而带动镀膜零件上下移动，使溅射更加均匀，方便均匀镀膜；
[0017]3.设置有链条、齿轮、齿盘和齿杆，马达的输出端通过齿轮带动链条转动，链条的前端通过齿轮嗲嗲齿盘转动，齿盘带动齿轮左右移动，从而带动底座和靶材左右移动，使材料被均匀利用。
附图说明
[0018]图1为本技术正视剖切结构示意图；
[0019]图2为本技术俯视剖切结构示意图；
[0020]图3为本技术齿杆俯视剖切结构示意图；
[0021]图4为本技术置物杆使用结构示意图；
[0022]图5为本技术伸缩机构活动结构示意图。
[0023]图中：1、溅射镀膜机本体；2、马达；3、微型伺服电机；4、真空泵；5、靶材；6、磁条；7、链条；8、支撑杆；9、安装板；10、齿轮；11、齿盘；12、齿杆；13、底座；14、螺纹丝杆；15、连接环；16、移动块；17、置物杆；18、弹簧；19、拉杆；20、卡合条；21、伸缩机构。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种膜厚均匀的溅射镀膜机，包括溅射镀膜机本体1、马达2、微型伺服电机3、真空泵4、靶材5、磁条6、链条7、支撑杆8、安装板9、齿轮10、齿盘11、齿杆12、底座13、螺纹丝杆14、连接环15、移动块16、置物杆17、弹簧18、拉杆19、卡合条20和伸缩机构21，如图1和图4所示，当使用该膜厚均匀的溅射镀膜机时，打开溅射镀膜机本体1的门，将需要镀膜的零件放置在溅射镀膜机本体1的内部，置物杆17的设置更适合对圆筒形状的零件或者圆盖形状的零件进行镀膜，拿起需要镀膜的零件，向下拉动拉杆19，拉杆19在置物杆17的内部向下移动的时候，弹簧18拉伸，固定安装在拉杆19外端的卡合条20收缩，卡合条20为弹性材质，可发生弹性形变，然后将零件从上向下套在置物杆17的上端，然后松开拉杆19，在弹簧18的弹力作用下，拉杆19向上移动回到原位，卡合条20向上移动并张开，卡合条20卡合在镀膜零件的内壁上，对镀膜零件起到限位的作用，不对镀膜零件的外端产生遮挡，方便镀膜；
[0026]如图1和图5所示，当镀膜零件限位完成之后，因置物杆17固定安装在伸缩机构21的外端，即可打开微型伺服电机3的开关，微型伺服电机3固定安装在安装板9的上端，将微型伺服电机3设置为正反转动，当微型伺服电机3的输出端顺时针转动的时候，当微型伺服电机3的输出端在连接环15的内端转动，连接环15固定安装在安装板9的前端，微型伺服电机3的输出端带动移动块16在螺纹丝杆14的外端向下移动，从而带动伸缩机构21张开，当伸
缩机构21张开的时候，伸缩机构21带动置物杆17向下移动，当微型伺服电机3的输出端逆时针转动的时候，微型伺服电机3的输出端带动移动块16在螺纹丝杆14的外端向上移动，从而带动伸缩机构21合拢，当伸缩机构21合拢的时候，伸缩机构21带动置物杆17向上移动，从而使得卡合在置物杆17外端的镀膜零件上下移动；
[0027]如图1、图2和图3所示，在溅射沉积工艺开始的时候，打开马达2的开关，马达2的输出端在转动的时候带动支撑杆8进行转动，支撑杆8在转动的时候通过安装板9带动伸缩机构21进行正反向转动，从而当马达2的输出端在转动的时候通过齿轮10带动链条7转动，链条7在转动的时候，链条7的前端通过前端的齿轮10带动齿盘11转动，齿盘11与齿杆12啮合，使得齿杆12左右移动，当齿杆12左右移动的时候，齿杆12带动底座13左右移动，然后打开真空泵4的开关，溅射镀膜机本体1内部的空气不断的被真空泵4抽走，然后将氩气不断的引入到溅射镀膜机本体1的内部，产生一种低压氩气氛围，在圆柱形靶材5内部的磁条6形成磁场，底座13带动靶材5左右移动，以保证材料被均匀利用，高电压被施加到靶材5上，从而产生等离子体，并沿着磁场集中，即可进行镀膜，以上便完成该膜厚均匀的溅射镀膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种膜厚均匀的溅射镀膜机，其特征在于：包括：溅射镀膜机本体（1），所述溅射镀膜机本体（1）的左端固定安装有真空泵（4），所述溅射镀膜机本体（1）的内端滑动安装有底座（13），所述底座（13）的上端转动安装有靶材（5），所述靶材（5）的内端设置有磁条（6）；马达（2），所述马达（2）固定安装在溅射镀膜机本体（1）的下端，所述马达（2）的输出端固定安装有支撑杆（8），所述支撑杆（8）的上端固定安装有安装板（9），所述马达（2）的输出端固定安装有齿轮（10），所述齿轮（10）的外端啮合连接有链条（7）；微型伺服电机（3），所述微型伺服电机（3）固定安装在安装板（9）的上端，所述微型伺服电机（3）的输出端固定安装有螺纹丝杆（14），所述螺纹丝杆（14）的上端转动安装有连接环（15）。2.根据权利要求1所述的一种膜厚均匀的溅射镀膜机，其特征在于：所述螺纹丝杆（14）的外端螺纹连...

【专利技术属性】
技术研发人员：章斌铖，
申请(专利权)人：赛福仪器承德有限公司，
类型：新型
国别省市：