一种方便辅助硅片电阻率测试的模具制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，尤其为一种方便辅助硅片电阻率测试的模具，包括电阻率测试仪、伸缩支撑架与模具本体，所述电阻率测试仪上端设置有模具本体，所述模具本体上侧内滑动连接有夹板，所述夹板底端中部固定连接有防滑夹垫，所述防滑夹垫四角均设置有检测夹片，所述检测夹片滑动连接在夹板底侧内，所述检测夹片上端固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧固定连接在夹板内，所述夹板左右两侧均穿过有限位杆，所述限位杆固定连接在模具本体左右两侧内，本实用新型专利技术使得在对硅片本体进行固定的同时，还能通过符合国际标准的五点测试法对其进行检测，既能准确对其进行检测，还能防止检测时因硅片本体移动影响检测效果。检测时因硅片本体移动影响检测效果。检测时因硅片本体移动影响检测效果。

【技术实现步骤摘要】
一种方便辅助硅片电阻率测试的模具


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种方便辅助硅片电阻率测试的模具。

技术介绍

[0002]硅片是属于微电子技术，一般用于航空、航天、工业、农业等领域，而电阻率是用来表示各种物质电阻特性的物理量，它反映物质对电流阻碍作用的属性，它不仅与物质的种类有关，还受温度、压力和磁场等外界因素影响。
[0003]市面上大多的硅片电阻率测试装置，在检测过程中，不能通过模具对其进行辅助固定限位，可能会出现在测试过程中，硅片晃动偏移的问题，导致影响到检测数据的准确性，并且不能方便对模具进行快速拆卸与安装，可能会在模具出现故障或者破损时，无法起到辅助效果的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种方便辅助硅片电阻率测试的模具，以解决上述
技术介绍
中提出无法对测试过程中的硅片，进行辅助固定的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种方便辅助硅片电阻率测试的模具，包括电阻率测试仪、伸缩支撑架与模具本体，所述电阻率测试仪上端设置有模具本体，所述模具本体上侧内滑动连接有夹板，所述夹板底端中部固定连接有防滑夹垫，所述防滑夹垫四角均设置有检测夹片，所述检测夹片滑动连接在夹板底侧内，所述检测夹片上端固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧固定连接在夹板内，所述夹板左右两侧均穿过有限位杆，所述限位杆固定连接在模具本体左右两侧内，所述限位杆上端套接有第一弹簧，且限位杆与第一弹簧固定连接，所述第一弹簧固定连接在夹板上端左右两侧。/>[0007]优选的，所述模具本体内固定连接有检测片，所述检测片上端贴合有硅片本体，所述硅片本体上端贴合有防滑夹垫，所述硅片本体四角均滑动有检测夹片。
[0008]优选的，所述夹板上端中部固定连接有拉环。
[0009]优选的，所述模具本体左右两端上侧均固定连接有固定板，所述固定板底端固定连接有导电块，所述导电块滑动在伸缩支撑架上侧内，所述伸缩支撑架上侧内固定连接有联电片，所述联电片上端贴合有导电块，所述固定板贴合在伸缩支撑架上端。
[0010]优选的，所述伸缩支撑架上侧套接有第二弹簧，所述第二弹簧与伸缩支撑架固定连接，所述伸缩支撑架固定连接在电阻率测试仪上端左右两侧。
[0011]优选的，所述模具本体底端中部转动连接有钩子，所述钩子设置在钩环内侧，所述钩环固定连接在电阻率测试仪上端中部。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术中，通过设置的第一弹簧、第三弹簧、检测夹片、检测片与夹板，使得
在对硅片本体进行固定的同时，还能通过符合国际标准的五点测试法对其进行检测，既能准确对其进行检测，还能防止检测时因硅片本体移动影响检测效果。
[0014]2、本技术中，通过设置的伸缩支撑架、第二弹簧、钩子与钩环，使得方便对模具本体进行快速安装与拆卸，方便在模具本体内部出现故障或者损伤时，能够及时对其进行维修与更换。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术图1的A处结构示意图；
[0017]图3为本技术伸缩支撑架安装结构示意图；
[0018]图4为本技术夹板俯视安装结构示意图。
[0019]图中：1
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电阻率测试仪、2
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伸缩支撑架、3
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模具本体、4
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拉环、5
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第一弹簧、6
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限位杆、7
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固定板、8
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第二弹簧、9
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防滑夹垫、10
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夹板、11
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检测夹片、12
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钩子、13
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钩环、14
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检测片、15
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硅片本体、16
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导电块、17
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联电片、18
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第三弹簧。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0022]一种方便辅助硅片电阻率测试的模具，包括电阻率测试仪1、伸缩支撑架2与模具本体3，电阻率测试仪1上端设置有模具本体3，模具本体3上侧内滑动连接有夹板10，夹板10底端中部固定连接有防滑夹垫9，防滑夹垫9四角均设置有检测夹片11，检测夹片11滑动连接在夹板10底侧内，检测夹片11上端固定连接有第三弹簧18，第三弹簧18固定连接在夹板10内，夹板10左右两侧均穿过有限位杆6，限位杆6固定连接在模具本体3左右两侧内，限位杆6上端套接有第一弹簧5，且限位杆6与第一弹簧5固定连接，第一弹簧5固定连接在夹板10上端左右两侧，使得检测夹片11对硅片本体15进行检测与固定；模具本体3内固定连接有检测片14，检测片14上端贴合有硅片本体15，硅片本体15上端贴合有防滑夹垫9，硅片本体15四角均滑动有检测夹片11，通过防滑夹垫9，可以避免硅片本体15在检测过程中出现晃动；夹板10上端中部固定连接有拉环4，通过拉环4，可以对夹板10进行拉动。
[0023]具体的如图1、图2与图3中，模具本体3左右两端上侧均固定连接有固定板7，固定板7底端固定连接有导电块16，导电块16滑动在伸缩支撑架2上侧内，伸缩支撑架2上侧内固定连接有联电片17，联电片17上端贴合有导电块16，固定板7贴合在伸缩支撑架2上端，通过导电块16与联电片17，可以对模具本体3与电阻率测试仪1进行电路连接；伸缩支撑架2上侧套接有第二弹簧8，第二弹簧8与伸缩支撑架2固定连接，伸缩支撑架2固定连接在电阻率测试仪1上端左右两侧，通过伸缩支撑架2，可以对模具本体3进行支撑；模具本体3底端中部转动连接有钩子12，钩子12设置在钩环13内侧，钩环13固定连接在电阻率测试仪1上端中部，通过钩子12与钩环13，可以对模具本体3进行固定。
[0024]工作流程：本技术在使用时通过外接电源进行供电，当需要对装置进行使用时，先拉动拉环4，使拉环4带动夹板10上升，之后将硅片本体15放置在检测片14上，此时缓慢松开拉环4，通过第一弹簧5与限位杆6可以使夹板10缓慢下降，夹板10上的检测夹片11会配合第三弹簧18与硅片本体15四角进行接触，再通过防滑夹垫9，对夹紧后的硅片本体15稳定性进行增加，此时就可以通过检测夹片11与检测片14，对硅片本体15进行五点测试，当需要对模具本体3进行维修清理时，可以先按压模具本体3，再转动钩子12，使钩子12与钩环13分离，之后拉动模具本体3，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便辅助硅片电阻率测试的模具，包括电阻率测试仪(1)、伸缩支撑架(2)与模具本体(3)，其特征在于：所述电阻率测试仪(1)上端设置有模具本体(3)，所述模具本体(3)上侧内滑动连接有夹板(10)，所述夹板(10)底端中部固定连接有防滑夹垫(9)，所述防滑夹垫(9)四角均设置有检测夹片(11)，所述检测夹片(11)滑动连接在夹板(10)底侧内，所述检测夹片(11)上端固定连接有第三弹簧(18)，所述第三弹簧(18)固定连接在夹板(10)内，所述夹板(10)左右两侧均穿过有限位杆(6)，所述限位杆(6)固定连接在模具本体(3)左右两侧内，所述限位杆(6)上端套接有第一弹簧(5)，且限位杆(6)与第一弹簧(5)固定连接，所述第一弹簧(5)固定连接在夹板(10)上端左右两侧。2.根据权利要求1所述的一种方便辅助硅片电阻率测试的模具，其特征在于：所述模具本体(3)内固定连接有检测片(14)，所述检测片(14)上端贴合有硅片本体(15)，所述硅片本体(15)上端贴合有防滑夹垫(9)，所述硅片本体(15)四角均滑动有检测夹片(...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾国旗，
申请(专利权)人：天津美芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：